技术总结
一种集成光电振荡器，包括：一光电子芯片和一电子芯片，其中光电子芯片中的电光转换器的输入端与电子芯片中的第二偏置器的输出端连接；该光电子芯片中的光电探测器的输出端与电子芯片中的第一偏置器的输入端连接；该光电子芯片和电子芯片制作在一导热基底上。本发明是用于为微波系统提供高频率，高频普纯度，低相位噪声，小尺寸，低成本的稳定微波信号源。该集成光电振荡器，通过将光电子器件集成于磷化铟基光电子芯片上，将电子器件集成于硅基或者印制电路板上，最后通过金丝键合的方式将两者结合起来形成回路，并固定于同一导热基地上，从而实现了光电振荡器的集成化，小型化，降低了微波信号源的成本。
技术研发人员：李明;唐健;郝腾飞;祝宁华;
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所;
技术研发日：2018.01.05
技术公布日：2018.06.19