具有浮岛的片上电容器的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及具有浮岛的片上电容器，揭露用于片上电容器的结构以及形成片上电容器的方法。形成金属端子，其具有侧边。形成金属指，其具有平行布置。形成由金属组成的浮岛并使该浮岛与该金属指电性隔离。各该金属指具有端部并自该金属端子的该侧边向该端部延伸。各该浮岛与该金属指的其中相应一个的该端部呈间隔关系布置。

技术研发人员：荻野淳;夫拉特·察哈恩;叶广闻;艾哈迈德·哈森
受保护的技术使用者：格芯公司
技术研发日：2018.03.20
技术公布日：2018.10.09