微电子封装及其制造方法与流程

文档序号:15740231发布日期:2018-10-23 22:10阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微电子封装的制造方法,其特征在于,包括:

提供封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

在该芯片上形成重分布层结构,该重分布层结构包括:n层金属互连,其中n为大于或等于2的整数,其中多个凸块垫以及多个表面安装器件SMD垫设置在该n层金属互连的最顶层中;

形成覆盖该重分布层结构的钝化层;

对该钝化层执行光刻工艺以在该钝化层中形成SMD开口和多个凸块垫开口,其中该多个凸块垫分别通过该多个凸块垫开口露出,该多个SMD垫通过该SMD开口露出;

分别通过该多个凸块垫开口在该多个凸块垫上形成凸块;以及

将被动元件安装在该多个SMD垫上。

2.如权利要求1所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,每个该凸块包括:金属立杆和该金属立杆上的焊料层。

3.如权利要求1所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,在将该被动元件安装在该多个SMD垫上之前,该方法进一步包括:

执行预清洗工艺以从该多个SMD垫的露出的顶面移除不期望的物质。

4.如权利要求1所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,该被动元件的厚度介于20~30微米之间,或者,该被动元件的顶面低于每个该凸块的顶面。

5.一种微电子封装的制造方法,其特征在于,包括:

提供封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

在该芯片上形成重分布层结构,该重分布层结构包括:n层金属互连,其中n为大于或等于2的整数,其中多个凸块垫设置在该n层金属互连的最顶层中;

形成覆盖该重分布层结构的钝化层;

对该钝化层执行光刻工艺以在该钝化层中形成多个凸块垫开口,其中该多个凸块垫分别通过该多个凸块垫开口露出;

在该钝化层上形成多个凸块下金属UBM垫和多个表面安装器件SMD垫;

分别在该多个UBM垫上形成焊料球或凸块;以及

将被动元件安装在该多个SMD垫上。

6.如权利要求5所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,在该钝化层上形成该多个UBM垫和该多个SMD垫包括:

在该钝化层上形成遮罩层;

对该遮罩层执行光刻工艺以在该遮罩层中形成多个开口;以及

执行电镀工艺以分别在该多个开口中形成该多个UBM垫以及该多个SMD垫。

7.如权利要求6所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,在该钝化层上形成该多个UBM垫和该多个SMD垫之后,移除该遮罩层。

8.一种微电子封装的制造方法,其特征在于,包括:

提供封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

在该芯片上形成重分布层结构,该重分布层结构包括:介电层以及n层金属互连,其中至少该n层金属互连的最顶层位于该介电层上而其余层位于该介电层中,其中n为大于或等于2的整数,其中多个凸块垫设置在该n层金属互连的该最顶层中,以及多个表面安装器件SMD垫设置在该n层金属互连的该其余层中;

形成覆盖该重分布层结构的钝化层;

对该钝化层执行光刻工艺以在该钝化层中形成多个凸块垫开口,以及在该钝化层和该介电层中形成SMD开口,其中该多个凸块垫分别通过该多个凸块垫开口露出,以及该多个SMD垫通过该SMD开口露出;

分别通过该多个凸块垫开口在该多个凸块垫上形成多个凸块;以及

将被动元件安装在该SMD开口内的该多个SMD垫上。

9.如权利要求8所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,在将该被动元件安装在该多个SMD垫上之前,该方法进一步包括:

执行预清洗工艺以从该多个SMD垫的露出的顶面移除不期望的物质。

10.如权利要求8所述的微电子封装的制造方法,其特征在于,该钝化层包括:聚酰亚胺层;或者,该凸块包括:C4凸块;或者,该被动元件包括:解耦电容、电阻、电感或集成被动元件。

11.一种微电子封装,其特征在于,包括:

封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

重分布层结构,形成于该芯片上,该重分布层结构包括:n层金属互连,其中n为大于或等于2的整数,其中多个凸块垫以及多个表面安装器件SMD垫设置在该n层金属互连的最顶层中;

钝化层,覆盖该重分布层结构并且具有SMD开口和多个凸块垫开口,其中该SMD开口露出该多个SMD垫,该多个凸块垫开口分别露出该多个凸块垫;

多个凸块,分别通过该多个凸块垫开口而形成于该多个凸块垫上;以及

被动元件,安装在该多个SMD垫上。

12.如权利要求11所述的微电子封装,其特征在于,每个该凸块包括:金属立杆和该金属立杆上的焊料层。

13.一种微电子封装,其特征在于,包括:

封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

重分布层结构,形成于该芯片上,该重分布层结构包括:介电层以及n层金属互连,其中至少该n层金属互连的最顶层位于该介电层上而其余层位于该介电层中,其中n为大于或等于2的整数,其中多个凸块垫设置在该n层金属互连的该最顶层中,以及多个表面安装器件SMD垫设置在该n层金属互连的该其余层中;

钝化层,覆盖该重分布层结构并且具有多个凸块垫开口,分别露出该多个凸块垫,该钝化层与该介电层具有SMD开口,露出该多个SMD垫;

多个凸块,分别通过该多个凸块垫开口而形成于该多个凸块垫上;以及

被动元件,安装在该多个SMD垫上。

14.一种微电子封装,其特征在于,包括:

封装基板,具有至少一个由模塑料围绕的芯片;

重分布层结构,形成于该芯片上,该重分布层结构包括:n层金属互连,其中n为大于或等于2的整数;

钝化层,覆盖该重分布层结构;

多个凸块下金属UBM垫和多个SMD垫,形成于该钝化层上;

多个焊料球或凸块,分别形成于该多个UBM垫上;以及

被动元件,安装在该多个SMD垫上;

其中,该多个UBM垫与该多个表面安装器件SMD垫具有相同的结构和组成。

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