一种太阳能电池片的加工生产线的制作方法

本发明涉及一种太阳能电池片的加工生产线。

背景技术：

光伏发电是根据光生伏特效应原理，利用太阳电池将太阳光能直接转化为电能。不论是独立使用还是并网发电，光伏发电系统主要由太阳电池板(组件)、控制器和逆变器三大部分组成，而太阳电池板主要部分是太阳能电池片。

经检索，如中国专利文献公开了一种太阳能电池丝印二合一生产线【申请号：201711023545.4；公开号：cn107665936a】。这种太阳能电池丝印二合一生产线，其特征在于：包括第一电池片输送带、第二电池片输送带以及两条丝印生产线；所述丝印生产线包括第一丝印机、第一烘箱、输送轨道、电池片翻面装置以及电池片转运装置；所述第一丝印机与第一烘箱之间设置将电池片由第一丝印机输送到第一烘箱的第一电池片输送装置；所述第一烘箱与输送轨道之间设置将电池片由第一烘箱输送到输送轨道上的第二电池片输送装置；所述电池片翻面装置设置在输送轨道的中段上；其中一条丝印生产线的电池片转运装置将输送轨道上的电池片转运到第一电池片输送带；另一条丝印生产线的电池片转运装置将输送轨道上的电池片转运到第二电池片输送带；所述第一电池片输送带、第二电池片输送带之间设置有电池片搬运装置；所述第一电池片输送带与第二电池片输送带平行设置；所述电池片搬运装置包括安装支座、悬臂、吸盘以及水平驱动装置；所述悬臂安装在安装支座上端，所述吸盘滑动安装在悬臂的下方，且通过水平驱动装置驱动；所述第一电池片输送带与第二电池片输送带均位于悬臂的下方，且悬臂与第一电池片输送带垂直；所述第一电池片输送带或第二电池片输送带的一端设置有第二丝印机。

该专利中公开的生产线虽然可降低生产成本，但是，该生产线的结构过于简单，无法实现连续不间断生产，生产繁琐，因此，设计出一种太阳能电池片的加工生产线是很有必要的。

技术实现要素：

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种太阳能电池片的加工生产线，该加工生产线具有生产方便的特点。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种太阳能电池片的加工生产线，包括基座，其特征在于，所述基座上依次设置有检验设备、制绒设备、扩散设备、刻蚀设备、去除磷硅玻璃设备、镀膜设备、丝网印刷设备和烧结设备。

所述丝网印刷设备包括第一机架，第一机架固定在基座上，第一机架上设置输送机构、多个印刷机构、浆料搅拌机构和翻片机构，输送机构包括输送带。

采用以上结构，通过印刷机构将浆料搅拌机构配制好的浆料印刷在硅片上，使其形成背电极、背电场和正电极，在印刷过程中，通过翻片机构对硅片进行翻面。

所述浆料搅拌机构包括搅拌箱，搅拌箱固定在第一机架上，搅拌箱上部具有进料口，进料口处设置有电磁阀一，搅拌箱下部具有出料口，出料口处设置有电磁阀二，第一机架上固定有立柱，立柱上设置有升降座，且升降座位于搅拌箱的正上方，升降座和联动杆上端相连，联动杆下端伸入到搅拌箱内和定位架相连，定位架上设置有搅拌结构，升降座还与一能使其上下移动的驱动结构相连；搅拌结构包括呈l形的从动条、呈直角三角形的主动板、安装盘一、安装盘二、弹簧、动力电机一、驱动轮、导块一和导块二，导块一滑动设置在从动条一端上，导块一还与定位架一端相连，导块二滑动设置在从动条另一端上，导块二通过联杆和主动板相连，主动板包括长直边、短直边和斜边，主动板的斜边上还具有齿牙部，动力电机一固定在定位架另一端上，动力电机一的输出轴竖直设置，驱动轮固定在动力电机一的输出轴端部，且驱动轮与齿牙部相啮合，弹簧一端和从动条中部相连，弹簧另一端和定位架另一端相连，安装盘一通过转轴一连接在从动条中部，且安装盘一的侧部能与主动板的长直边相抵靠，安装盘一上固定有转动电机一，转动电机一的输出轴竖直向下，转动电机一的输出轴端部和搅拌轴一相连，搅拌轴一上具有螺旋搅拌片一，安装盘二通过转轴二连接在联杆上，且安装盘二的侧部能与从动条另一端相抵靠，安装盘二上固定有转动电机二，转动电机二的输出轴竖直向下，转动电机二的输出轴端部和搅拌轴二相连，搅拌轴二上具有螺旋搅拌片二，且螺旋搅拌片一与螺旋搅拌片二的旋向相反。

采用以上结构，将各类原料放入到搅拌箱内，控制转动电机一带动搅拌轴一转动，搅拌轴一带动螺旋搅拌片一转动，控制转动电机二带动搅拌轴二转动，搅拌轴二带动螺旋搅拌片二转动，同时，控制动力电机一带动驱动轮转动，驱动轮与齿牙部相啮合，使主动板来回移动，主动板通过联杆使从动条左右移动，随着主动板和从动条的移动，主动板可使安装盘一转动，而从动条可使安装盘二转动；同样，也可以通过驱动结构带动升降座上下移动，升降座通过联动杆带动定位架上下移动，从而螺旋搅拌片一和螺旋搅拌片二可将搅拌箱中的原料快速搅拌均匀，搅拌快速。

所述从动条一端还固定有横向推送板，主动板的短直边上还固定有竖向推送板。

采用以上结构，通过横向推送板可对搅拌箱内的原料左右推送，通过竖向推送板可对搅拌箱内的原料来回推送，推送效果好。

所述驱动结构包括导轨一、滑块一、齿条一、齿轮一和驱动电机一，导轨一竖直固定在立柱上，滑块一设置在导轨一上，齿条一竖直固定在立柱上，且齿条一与导轨一相互平行，驱动电机一固定在滑块一上，驱动电机一的输出轴水平设置，齿轮一固定在驱动电机一的输出轴端部，且齿轮一与齿条一相啮合，升降座固定在滑块一上。

当需要使升降座上下移动时，控制驱动电机一的输出轴转动，驱动电机一的输出轴带动齿轮一转动，齿轮一与齿条一相啮合，使滑块一沿着导轨一上下移动，滑块一带动升降座上下移动，从而可使升降座上下移动。

所述导轨一两端还固定有限位块。

采用以上结构，通过限位块可对滑块一上下移动时进行有效限位。

所述出料口处还连接有输送管，输送管上设置有输送泵。

采用以上结构，通过输送管可将搅拌箱中搅拌好的浆料输送到印刷机构处。

所述搅拌箱侧部还具有观察口，观察口处设置有透明的观察板。

所述安装盘一上还竖直固定有若干辅助杆一，辅助杆一上具有呈倾斜布置的若干辅助片一，且辅助片一的尺寸由上至下依次递减，安装盘二上还竖直固定有若干辅助杆二，辅助杆二上具有呈倾斜布置的若干辅助片二，且辅助片二的尺寸由上至下依次递增。

采用以上结构，由于安装盘一和安装盘二可相对搅拌箱来回转动，螺旋搅拌片一可将原料由下向上输送，螺旋搅拌片二可将原料由上向下输送，配合尺寸由上至下依次递减的辅助片一和尺寸由上至下依次递增的辅助片二，可减少各原料搅拌所需的时间，辅助方便。

所述翻片机构包括安装架、驱动轴和翻转盘，安装架固定在第一机架上，驱动轴水平设置在安装架中部，驱动轴一端与一能带动其转动的动力结构相连，驱动轴另一端和翻转盘相连，翻转盘上开设有若干定位槽，且定位槽呈均匀布置，安装架两端还分别设置有一个清理结构，清理结构包括支撑杆、限位导条、活动块一、活动块二、调节杆一、调节杆二、气泵和可伸缩的吹气软管，支撑杆固定在安装架两端，限位导条水平固定在支撑杆上，活动块一和活动块二分别设置在限位导条两端，调节杆一的上端和活动块一转动连接，调节杆一的下端和联动板一端转动连接，调节杆二的上端和活动块二转动连接，调节杆二的下端和联动板另一端转动连接，且调节杆二与调节杆一形成倒八字形结构，吹气软管一端和调节杆一相连，吹气软管另一端和调节杆二相连，吹气软管侧部开设在有若干出气孔，且出气孔倾斜朝下，吹气软管中部通过连管和气泵相连通，气泵固定在支撑杆上，联动板还与一能使其上下移动的驱动组件一相连。

采用以上结构，通过输送带将硅片逐个输送到翻转盘的定位槽内，通过动力结构带动驱动轴转动，驱动轴带动翻转盘转动，翻转盘将硅片逐步翻转，使其翻转180°，再通过输送带将硅片从翻转盘上逐个输出，通过翻转盘角度的变化，减少了硅片的破损率，提高了产品质量，翻片效果好；由于在安装架两端分别设置有清理结构，可对硅片的正面和反面进行除尘，通过驱动组件一带动联动板上下移动，联动板带动调节杆一和调节杆二摆动，从而可调节吹气软管形成的角度，吹气软管将硅片上的粉尘由中间向两侧吹扫，清理可靠。

所述连管上还设置有气流调节阀。

采用以上结构，通过气流调节阀可对连管内的气流大小进行调节。

所述动力结构包括安装板、动力电机二和减速箱，安装板固定在安装架上，减速箱固定在安装板上，减速箱的输入端和动力电机二的输出轴相连，减速箱的输出端通过联轴器和驱动轴一端相连。

当需要使驱动轴逐步转动时，控制动力电机二的输出轴逐步转动，动力电机二通过减速箱带动驱动轴逐步转动，从而可使驱动轴逐步转动。

所述驱动组件一包括安装条、导轨二、滑块二、齿轮二、齿条二和驱动电机二，安装条固定在支撑杆上，导轨二竖直固定在安装条上，滑块二设置在导轨二上，齿条二竖直固定在安装条上，驱动电机二固定在滑块二上，驱动电机二的输出轴水平设置，齿轮二固定在驱动电机二的输出轴端部，且齿轮二与齿条二相啮合，联动板和滑块二相连。

当需要使联动板上下移动时，控制驱动电机二的输出轴转动，驱动电机二的输出轴带动齿轮二转动，齿轮二与齿条二相啮合，使滑块二沿着导轨二上下移动，滑块二带动联动板上下移动，从而可使联动板上下移动。

所述翻转盘的数量为两个。

所述定位槽底部具有橡胶防护垫。

采用以上结构，通过橡胶防护垫的缓冲作用，在硅片与翻转盘接触时，可避免硅片损伤。

所述刻蚀设备包括第二机架，第二机架固定在基座上，第二机架上固定有工作槽，工作槽内水平转动设置有用于输送硅片的若干输送辊，第二机架上还设置有传输矫正机构，传输矫正机构包括支架，支架固定在第二机架上，且支架位于工作槽上方，支架上水平设置有两个安装基条，且安装基条与输送辊相互垂直，安装基条上均具有能对输送辊上的硅片进行矫正的矫正辊轮组，且两个矫正辊轮组之间形成一矫正通道，矫正辊轮组包括若干矫正辊轮，若干矫正辊轮转动设置在安装基条上，且矫正辊轮呈一字型排列，矫正辊轮的直径由安装基条一端向安装基条另一端依次递增，安装基条上还设置有能驱动矫正辊轮转动的驱动组件二。

采用以上结构，通过矫正辊轮形成一个连续渐变收紧的矫正通道，矫正通道一端放大，矫正通道另一端收紧，使输送辊上方向偏移的硅片能顺利进入到矫正通道内，受到两侧矫正辊轮的限位作用，逐渐将硅片矫正为正常方向传输，通过驱动组件二带动矫正辊轮转动，矫正辊轮的转动与硅片的运动方向平行，实现与硅片同步运动，可避免因互相摩擦引起硅片接触边缘损伤，矫正可靠。

所述矫正辊轮为耐腐蚀橡胶辊轮。

采用以上材料，可使矫正辊轮具有较好的耐腐蚀性能，同时，可使其与硅片接触时具有较好的缓冲性能。

所述驱动组件二包括伺服电机、主同步轮、若干定位转轴、若干从同步轮和同步带，伺服电机固定在安装基条上，且伺服电机的输出轴竖直向上，主同步轮固定在伺服电机的输出轴端部，定位转轴下端和矫正辊轮相连，定位转轴中部和支架转动连接，定位转轴上端和从同步轮相连，同步带套设在主同步轮与从同步轮外。

当需要使矫正辊轮转动时，控制伺服电机的输出轴转动，伺服电机的输出轴带动主同步轮转动，主同步轮通过同步轮带动从同步轮转动，从同步轮带动定位转轴转动，定位转轴带动矫正辊轮转动，从而可使矫正辊轮转动。

所述安装基条与支架之间还具有调节结构。

采用以上结构，通过调节结构可对两安装基条之间的距离进行调节，从而可对矫正通道的大小进行调节。

所述调节结构包括调节块、锁定螺栓、指示杆、指针和开设在支架上的滑槽，调节块滑动设置在滑槽内，调节块和安装基条相连，锁定螺栓螺纹连接在调节块上，且锁定螺栓能与支架相抵靠，指示杆水平固定在支架上，指示杆上具有刻度线，指针固定在调节块，且指针朝向指示杆。

采用以上结构，通过调节块在滑槽内滑动，调节块带动安装基条来回移动，从而可对两安装基条之间的距离进行调节，并通过指针和指示杆的作用，可获知两安装基条之间的距离，调节直观。

所述锁定螺栓上还固定有旋转手轮。

采用以上结构，通过旋转手轮可方便对锁定螺栓进行转动，操作方便。

与现有技术相比，本太阳能电池片的加工生产线具有该优点：本发明中可实现太阳能电池片的连续不间断生产，可减少等待所需的时间，生产方便。

附图说明

图1是丝网印刷设备中浆料搅拌机构的平面结构示意图。

图2是丝网印刷设备中浆料搅拌机构拆去部分的平面结构示意图。

图3是丝网印刷设备中浆料搅拌机构拆去部分的立体结构示意图。

图4是丝网印刷设备中翻片机构的立体结构示意图。

图5是丝网印刷设备中翻片机构拆去部分的平面结构示意图。

图6是刻蚀设备的立体结构示意图。

图7是刻蚀设备中拆去部分的立体结构示意图。

图中，1、第一机架；2、搅拌箱；2a、进料口；2b、出料口；3、输送管；4、输送泵；5、电磁阀二；6、观察板；7、电磁阀一；8、联动杆；9、升降座；10、滑块一；11、导轨一；12、限位块；13、驱动电机一；14、齿轮一；15、齿条一；16、立柱；17、从动条；18、导块二；19、导块一；20、安装盘一；21、动力电机一；22、驱动轮；24、主动板；24a、齿牙部；25、联杆；26、安装盘二；27、竖向推送板；28、螺旋搅拌片二；29、搅拌轴二；30、转动电机二；31、螺旋搅拌片一；32、搅拌轴一；33、转动电机一；34、横向推送板；35、定位架；36、弹簧；37、辅助片二；38、辅助杆二；39、辅助片一；40、辅助杆一；42、安装架；43、输送带；44、支撑杆；45、翻转盘；45a、定位槽；47、动力电机二；48、减速箱；49、安装板；50、联轴器；51、驱动轴；52、气泵；53、滑块二；54、驱动电机二；55、导轨二；56、调节杆二；57、活动块二；58、安装条；59、限位导条；60、活动块一；61、调节杆一；62、齿条二；63、齿轮二；64、吹气软管；65、联动板；66、连管；67、气流调节阀；71、第二机架；72、工作槽；73、输送辊；74、支架；74a、滑槽；75、安装基条；76、矫正辊轮；77、定位转轴；78、伺服电机；79、主同步轮；80、同步带；81、从同步轮；82、锁定螺栓；83、指针；84、指示杆；85、调节块。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1-图7所示，本太阳能电池片的加工生产线，包括基座，基座上依次设置有检验设备、制绒设备、扩散设备、刻蚀设备、去除磷硅玻璃设备、镀膜设备、丝网印刷设备和烧结设备；在本实施例中，检验设备、制绒设备、扩散设备和烧结设备采用的是现有结构。

丝网印刷设备包括第一机架1，第一机架1固定在基座上，第一机架1上设置输送机构、多个印刷机构、浆料搅拌机构和翻片机构，输送机构包括输送带43；在本实施例中，印刷机构的数量为三个，印刷机构和输送带43采用的是现有技术，印刷机构可采用如专利号中的201721778032x中现有结构；通过印刷机构将浆料搅拌机构配制好的浆料印刷在硅片上，依次形成背电极、背电场和正电极，在印刷过程中，通过翻片机构对硅片进行翻面。

浆料搅拌机构包括搅拌箱2，搅拌箱2固定在第一机架1上，搅拌箱2上部具有进料口2a，进料口2a处设置有电磁阀一7，搅拌箱2下部具有出料口2b，出料口2b处设置有电磁阀二5，第一机架1上固定有立柱16，在本实施例中，第一机架1上通过焊接的方式固定有立柱16；立柱16上设置有升降座9，且升降座9位于搅拌箱2的正上方，升降座9和联动杆8上端相连，联动杆8下端伸入到搅拌箱2内和定位架35相连，定位架35上设置有搅拌结构，升降座9还与一能使其上下移动的驱动结构相连；搅拌结构包括呈l形的从动条17、呈直角三角形的主动板24、安装盘一20、安装盘二26、弹簧36、动力电机一21、驱动轮22、导块一19和导块二18，导块一19滑动设置在从动条17一端上，导块一19还与定位架35一端相连，在本实施例中，导块一19通过螺栓连接的方式还与定位架35一端相连；导块二18滑动设置在从动条17另一端上，导块二18通过联杆25和主动板24相连，主动板24包括长直边、短直边和斜边，主动板24的斜边上还具有齿牙部24a，动力电机一21固定在定位架35另一端上，在本实施例中，动力电机一21通过螺栓连接的方式固定在定位架35另一端上；动力电机一21的输出轴竖直设置，驱动轮22固定在动力电机一21的输出轴端部，在本实施例中，驱动轮22通过键连接的方式固定在动力电机一21的输出轴端部；且驱动轮22与齿牙部24a相啮合，弹簧36一端和从动条17中部相连，弹簧36另一端和定位架35另一端相连，安装盘一20通过转轴一连接在从动条17中部，且安装盘一20的侧部能与主动板24的长直边相抵靠，安装盘一20上固定有转动电机一33，在本实施例中，安装盘一20上通过螺栓连接的方式固定有转动电机一33；转动电机一33的输出轴竖直向下，转动电机一33的输出轴端部和搅拌轴一32相连，搅拌轴一32上具有螺旋搅拌片一31，安装盘二26通过转轴二连接在联杆25上，且安装盘二26的侧部能与从动条17另一端相抵靠，安装盘二26上固定有转动电机二30，在本实施例中，安装盘二26上通过螺栓连接的方式固定有转动电机二30；转动电机二30的输出轴竖直向下，转动电机二30的输出轴端部和搅拌轴二29相连，搅拌轴二29上具有螺旋搅拌片二28，且螺旋搅拌片一31与螺旋搅拌片二28的旋向相反。

从动条17一端还固定有横向推送板34，主动板24的短直边上还固定有竖向推送板27；采用该结构，通过横向推送板34可对搅拌箱2内的原料左右推送，通过竖向推送板27可对搅拌箱2内的原料来回推送，推送效果好。

驱动结构包括导轨一11、滑块一10、齿条一15、齿轮一14和驱动电机一13，导轨一11竖直固定在立柱16上，滑块一10设置在导轨一11上，齿条一15竖直固定在立柱16上，且齿条一15与导轨一11相互平行，驱动电机一13固定在滑块一10上，在本实施例中，驱动电机一13通过螺栓连接的方式固定在滑块一10上；驱动电机一13的输出轴水平设置，齿轮一14固定在驱动电机一13的输出轴端部，在本实施例中，齿轮一14通过键连接的方式固定在驱动电机一13的输出轴端部；且齿轮一14与齿条一15相啮合，升降座9固定在滑块一10上；在本实施例中，升降座9通过螺栓连接的方式固定在滑块一10上。

导轨一11两端还固定有限位块12；在本实施例中，导轨一11两端通过螺栓连接的方式还固定有限位块12；采用该结构，通过限位块12可对滑块一10上下移动时进行有效限位。

出料口2b处还连接有输送管3，输送管3上设置有输送泵4；采用该结构，通过输送管3可将搅拌箱2中搅拌好的浆料输送到印刷机构处。

搅拌箱2侧部还具有观察口，观察口处设置有透明的观察板6。

安装盘一20上还竖直固定有若干辅助杆一40，在本实施例中，辅助杆一40的数量为三根；辅助杆一40上具有呈倾斜布置的若干辅助片一39，在本实施例中，每根辅助杆一40上具有辅助片一39的数量为三片；且辅助片一39的尺寸由上至下依次递减，安装盘二26上还竖直固定有若干辅助杆二38，在本实施例中，辅助杆二38的数量为三根；辅助杆二38上具有呈倾斜布置的若干辅助片二37，在本实施例中，每根辅助杆二38上具有辅助片二37的数量为三片；且辅助片二37的尺寸由上至下依次递增；采用该结构，由于安装盘一20和安装盘二26可相对搅拌箱2来回转动，螺旋搅拌片一31可将原料由下向上输送，螺旋搅拌片二28可将原料由上向下输送，配合尺寸由上至下依次递减的辅助片一39和尺寸由上至下依次递增的辅助片二37，可减少各原料搅拌所需的时间，辅助方便。

采用该结构，将各类原料放入到搅拌箱2内，控制转动电机一33带动搅拌轴一32转动，搅拌轴一32带动螺旋搅拌片一31转动，控制转动电机二30带动搅拌轴二29转动，搅拌轴二29带动螺旋搅拌片二28转动，同时，控制动力电机一21带动驱动轮22转动，驱动轮22与齿牙部24a相啮合，使主动板24来回移动，主动板24通过联杆25使从动条17左右移动，随着主动板24和从动条17的移动，主动板24可使安装盘一20转动，而从动条17可使安装盘二26转动；同样，也可以控制驱动电机一13带动齿轮一14转动，齿轮一14与齿条一15相啮合，使滑块一10沿着导轨一11上下移动，滑块一10带动升降座9上下移动，升降座9通过联动杆8带动定位架35上下移动，从而螺旋搅拌片一31和螺旋搅拌片二28可将搅拌箱2中的原料快速搅拌均匀。

翻片机构包括安装架42、驱动轴51和翻转盘45，翻转盘45的数量为两个；安装架42固定在第一机架1上，在本实施例中，安装架42通过螺栓连接的方式固定在第一机架1上；驱动轴51水平设置在安装架42中部，驱动轴51一端与一能带动其转动的动力结构相连，驱动轴51另一端和翻转盘45相连，翻转盘45上开设有若干定位槽45a，在本实施例中，定位槽45a的数量为十个，单次翻转角度为36°；且定位槽45a呈均匀布置，安装架42两端还分别设置有一个清理结构，在本实施例中，清理结构的数量为两个；清理结构包括支撑杆44、限位导条59、活动块一60、活动块二57、调节杆一61、调节杆二56、气泵52和可伸缩的吹气软管64，在本实施例中，吹气软管64采用市场上可以买到的现有产品；支撑杆44固定在安装架42两端，限位导条59水平固定在支撑杆44上，活动块一60和活动块二57分别设置在限位导条59两端，调节杆一61的上端和活动块一60转动连接，调节杆一61的下端和联动板65一端转动连接，调节杆二56的上端和活动块二57转动连接，调节杆二56的下端和联动板65另一端转动连接，且调节杆二56与调节杆一61形成倒八字形结构，吹气软管64一端和调节杆一61相连，吹气软管64另一端和调节杆二56相连，吹气软管64侧部开设在有若干出气孔，在本实施例中，出气孔的数量为二十个；且出气孔倾斜朝下，吹气软管64中部通过连管66和气泵52相连通，气泵52固定在支撑杆44上，联动板65还与一能使其上下移动的驱动组件一相连。

连管66上还设置有气流调节阀67；采用该结构，通过气流调节阀67可对连管66内的气流大小进行调节。

动力结构包括安装板49、动力电机二47和减速箱48，在本实施例中，减速箱48的型号为：ple-060-5-s2-p2，此型号减速箱48可保证单次翻片角度为36°；安装板49固定在安装架42上，在本实施例中，安装板49通过螺栓连接的方式固定在安装架42上；减速箱48固定在安装板49上，减速箱48的输入端和动力电机二47的输出轴相连，减速箱48的输出端通过联轴器50和驱动轴51一端相连。

驱动组件一包括安装条58、导轨二55、滑块二53、齿轮二63、齿条二62和驱动电机二54，安装条58固定在支撑杆44上，在本实施例中，安装条58通过螺栓连接的方式固定在支撑杆44上；导轨二55竖直固定在安装条58上，滑块二53设置在导轨二55上，齿条二62竖直固定在安装条58上，驱动电机二54固定在滑块二53上，驱动电机二54的输出轴水平设置，齿轮二63固定在驱动电机二54的输出轴端部，且齿轮二63与齿条二62相啮合，联动板65和滑块二53相连。

定位槽45a底部具有橡胶防护垫；采用该结构，通过橡胶防护垫的缓冲作用，在硅片与翻转盘45接触时，可避免硅片损伤。

采用该结构，通过输送带43将硅片逐个输送到翻转盘45的定位槽45a内，控制动力电机二47通过减速箱48带动驱动轴51逐步转动，驱动轴51带动翻转盘45逐步转动，翻转盘45将硅片逐步翻转，使其翻转180°，通过输送带43将硅片从翻转盘45上逐个输出，通过翻转盘45角度的变化，减少了硅片的破损率，提高了产品质量，翻片效果好；由于在安装架42两端分别设置有清理结构，可对硅片的正面和反面进行除尘，控制驱动电机二54带动齿轮二63转动，齿轮二63与齿条二62相啮合，使滑块二53沿着导轨二55上下移动，滑块二53带动联动板65上下移动，联动板65带动调节杆一61和调节杆二56摆动，从而可调节吹气软管64形成的角度，吹气软管64将硅片上的粉尘由中间向两侧吹扫。

刻蚀设备包括第二机架71，第二机架71固定在基座上，第二机架7上1固定有工作槽72，在本实施例中，工作槽72采用的是现有技术；工作槽72内水平转动设置有用于输送硅片的若干输送辊73，在本实施例中，输送辊73的数量为十根；第二机架71上还设置有传输矫正机构，传输矫正机构包括支架74，支架74固定在第二机架71上，在本实施例中，支架74通过螺栓连接的方式固定在第二机架71上；且支架74位于工作槽72上方，支架74上水平设置有两个安装基条75，且安装基条75与输送辊73相互垂直，安装基条75上均具有能对输送辊73上的硅片进行矫正的矫正辊轮组，且两个矫正辊轮组之间形成一矫正通道，矫正辊轮组包括若干矫正辊轮76，若干矫正辊轮76转动设置在安装基条75上，且矫正辊轮76呈一字型排列，矫正辊轮76的直径由安装基条75一端向安装基条75另一端依次递增，在本实施例中，每根安装基条75上具有五个矫正辊轮76；安装基条75上还设置有能驱动矫正辊轮76转动的驱动组件二。

采用该结构，通过矫正辊轮76形成一个连续渐变收紧的矫正通道，矫正通道一端放大，矫正通道另一端收紧，使输送辊73上方向偏移的硅片能顺利进入到矫正通道内，受到两侧矫正辊轮76的限位作用，逐渐将硅片矫正为正常方向传输，控制伺服电机78带动主同步轮79转动，主同步轮79通过同步轮带动从同步轮81转动，从同步轮81带动定位转轴77转动，定位转轴77带动矫正辊轮76转动，矫正辊轮76的转动与硅片的运动方向平行，实现与硅片同步运动，可避免因互相摩擦引起硅片接触边缘损伤，矫正可靠。

矫正辊轮76为耐腐蚀橡胶辊轮；在本实施例中，耐腐蚀橡胶辊轮采用市场上可以买到的现有产品；采用该材料，可使矫正辊轮76具有较好的耐腐蚀性能，同时，可使其与硅片接触时具有较好的缓冲性能。

驱动组件二包括伺服电机78、主同步轮79、若干定位转轴77、若干从同步轮81和同步带80，在本实施例中，每根安装基条75上的定位转轴77和从同轮的数量均为五个；伺服电机78固定在安装基条75上，在本实施例中，伺服电机78通过螺栓连接的方式固定在安装基条75上；且伺服电机78的输出轴竖直向上，主同步轮79固定在伺服电机78的输出轴端部，定位转轴77下端和矫正辊轮76相连，定位转轴77中部和支架74转动连接，定位转轴77上端和从同步轮81相连，同步带80套设在主同步轮79与从同步轮81外。

安装基条75与支架74之间还具有调节结构；采用该结构，通过调节结构可对两安装基条75之间的距离进行调节，从而可对矫正通道的大小进行调节。

调节结构包括调节块85、锁定螺栓82、指示杆84、指针83和开设在支架74上的滑槽74a，调节块85滑动设置在滑槽74a内，调节块85和安装基条75相连，锁定螺栓82螺纹连接在调节块85上，且锁定螺栓82能与支架74相抵靠，指示杆84水平固定在支架74上，指示杆84上具有刻度线，指针83固定在调节块85，且指针83朝向指示杆84；采用该结构，通过调节块85在滑槽74a内滑动，调节块85带动安装基条75来回移动，从而可对两安装基条75之间的距离进行调节，并通过指针83和指示杆84的作用，可获知两安装基条75之间的距离，调节直观。

锁定螺栓82上还固定有旋转手轮；采用该结构，通过旋转手轮可方便对锁定螺栓82进行转动，操作方便。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。