一种硅片夹爪及硅片夹持机构的制作方法

文档序号:14881985发布日期:2018-07-07 09:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片夹爪,其特征在于,该硅片夹爪包括横梁、两个连接杆(1)和承载横梁(2),所述横梁的两端分别与两个连接杆(1)的上端连接,所述承载横梁(2)的两端分别与两个连接杆(1)的下端连接,所述承载横梁(2)上设有一组以上硅片夹持槽(3),每组硅片夹持槽(3)均包括多个硅片夹持槽(3),且同一组内相邻的两个硅片夹持槽(3)之间的距离相等,所述硅片夹持槽(3)为开设在横梁侧面的凹槽,且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪,其特征在于,所述硅片夹持槽(3)有两组。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪,其特征在于,所述横梁包括第一横梁(4)和第二横梁(5),所述第一横梁(4)的两端和第二横梁(5)的两端均与两个连接杆(1)的上端连接,且第一横梁(4)处于第二横梁(5)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪,其特征在于,所述横梁呈圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪,其特征在于,所述两个连接杆(1)的上端均经过圆角处理。

6.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪,其特征在于,所述两个连接杆(1)的下端均呈尖角状,所述承载横梁(2)的下表面设有横截面为倒三角形的凸条。

7.一种硅片夹持机构,其特征在于,该夹持机构包括两个驱动杆(6)和两个权利要求1至6中任一项所述的硅片夹爪,所述两个硅片夹爪相对设置,所述两个驱动杆(6)相平行,所述两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆(6)通过固定夹具连接,所述两个固定夹具均包括固定座(21),所述固定座(21)的上端设有第一夹持槽(22),所述固定座(21)的另一端设有夹爪夹持机构,所述夹爪夹持机构包括滑动座(23)和盖板(24),所述盖板(24)与滑动座(23)连接,所述滑动座(23)与盖板(24)相对的一面设有第一凹槽,所述盖板(24)与滑动座(23)相对的一面设有第二凹槽,所述第一凹槽和第二凹槽均与第一夹持槽(22)相平行,所述第一凹槽和第二凹槽相对设置,所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的夹持部(25),所述固定座(21)上设有条形孔(26),紧固螺栓的上端穿过条形孔(26)与滑动座(23)螺纹连接,所述固定座(21)的上表面设有调节机构,所述调节机构包括固定块(27)和调节螺栓(28),所述固定块(27)与固定座(21)的上表面固定连接,所述固定块(27)上设有水平螺栓孔,所述调节螺栓(28)的首端穿过水平螺栓孔与夹爪夹持机构连接。

8.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构,其特征在于,所述第一凹槽和第二凹槽的纵剖面均为半圆形。

9.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构,其特征在于,所述第一夹持槽(22)的槽底的纵剖面呈圆形,所述第一夹持槽(22)的槽口处设有用于调节第一夹持槽(22)大小的锁紧机构。

10.根据权利要求9所述的一种硅片夹持机构,其特征在于,所述锁紧机构包括一个以上锁紧螺栓(29),所述第一夹持槽(22)的槽口两侧设有一组以上对穿螺栓孔,所述锁紧螺栓(29)穿设于对穿螺栓孔内。

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