滤波盒组件及反应腔室的制作方法

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种滤波盒组件及反应腔室。

背景技术：

在半导体刻蚀设备中，通常将射频电源提供的射频能量传输到腔室中，电离高真空状态下的特殊气体(如氩气Ar、氦气He、氮气N2、氢气H2、等)，产生含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子的等离子体，这些活性粒子和置于腔体内并曝露在等离子体环境下的晶圆之间发生复杂的相互作用，使晶圆材料表面发生各种物理和化学反应，从而使材料表面性能发生变化，完成晶圆的刻蚀工艺。

在半导体器件的制造过程中，为了在半导体晶片上进行淀积、蚀刻等工艺处理，一般通过静电吸盘(Electrostatic chuck，简称ESC)产生静电引力来吸附固定和支撑晶片。因为需要对等离子体进行吸引，所以下电极连接至射频功率源。为了防止射频功率通过ESC回流入静电卡盘电压源从而损坏电压源，需要滤波器滤除射频信号。

滤波盒用于容纳滤波器。图1为现有的一种滤波盒的结构图。如图1所示，滤波盒包括壳体2，在壳体2上设置有引入插座1和引出插座4，滤波器3设置在壳体2中。在使用时，将从射频环境中引出的需要滤波的线缆通过引入插座1引入滤波器3，通过滤波器3将射频波滤掉，并通过引出插座4引出，达到滤波效果。

在上述滤波盒中，壳体2在对应引入插座1的位置处设置有开口，该开口的尺寸与引入插座1的尺寸相适配，引入插座1在该开口处通过卡扣固定在壳体2中，但是，由于该开口直径过大(14mm*24mm)，引入插座1在延伸至开口后通过卡扣固定在壳体中时，会导致部分射频波泄漏至壳体中，影响电气信号控制，从而影响滤波效果。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种滤波盒组件及反应腔室，以解决现有技术中壳体上开口过大而导致的滤波效果差的问题。

本实用新型提供了一种滤波盒组件，包括壳体和引入插座，引入插座用于向壳体引入待滤波线缆，其特征在于，滤波盒组件还包括插座转接件，插座转接件固定在壳体上；

插接转接件上设置有第一转接口和第二转接口，壳体上设置有线缆开口，其中，第一转接口与引入插座插接，第二转接口与线缆开口相对应；

待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中；并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配。

其中，插座转接件包括第一分体和第二分体，且对应地分别在第一分体和第二分体上设置有第一凹部和第二凹部，第一凹部与第二凹部对接能形成第二转接口。

其中，第一分体与第二分体通过螺钉固定连接。

其中，在第一分体上形成有凹槽，第二分体在与第一分体对接时位于凹槽中，且凹槽的槽底处设有第一凹部。

其中，插座转接件包括相对设置的第一转接板和第二转接板，其中，

第一转接口为贯穿第一转接板厚度的第一通孔，第二转接口为贯穿第二转接板厚度的第二通孔。

其中，插座转接件具有空腔，第一转接口经由空腔与第二转接口接通。

其中，第二转接板上还设置有贯穿其厚度的固定孔，插接转接件通过螺钉与壳体固定连接。

其中，线缆开口和/或第二转接口的尺寸小于等于4mm。

其中，滤波盒组件还包括引出插座，引出插座用于将壳体中的滤波线缆引出，在壳体上还设置有引出插座开口，引出插座与引出插座开口插接。

本实用新型还提供了一种反应腔室，包括滤波盒组件和设置在滤波盒组件中的滤波器，其中，滤波盒组件为本实用新型提供的滤波盒组件。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的滤波盒组件，其包括引入插座、插座转接件和壳体，插座转接件上设置有第一转接口和第二转接口，其中，第一转接口与引入插座插接，第二转接口与壳体上的线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，本实用新型通过插座转接件使引入插座和壳体连接，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。

本实用新型提供的反应腔室，其采用本实用新型实施例提供的上述滤波盒组件，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。

附图说明

图1为现有的一种滤波盒的结构图；

图2为本实用新型实施例提供的一种滤波盒组件的结构图；

图3A为本实用新型实施例提供的第一分体的结构图；

图3B为本实用新型实施例提供的第二分体的结构图；

图3C为本实用新型实施例提供的第一分体的另一视角的结构图。

其中，

1-引入插座；2-壳体；3-滤波器；4-引出插座；20-壳体；30-插座转接件；301-第一转接口；310-第一分体；311-第一凹部；312-固定孔；320-第二分体；321-第二凹部。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的滤波盒体组件及反应腔室进行详细描述。

图2为本实用新型实施例提供的一种滤波盒组件的结构图。如图2所示，本实用新型实施例提供了一种滤波盒组件，包括壳体20、引入插座1和插座转接件30，其中，引入插座1用于向壳体20引入待滤波线缆(图中未示出)。插座转接件30固定在壳体20上，插接转接件30上设置有第一转接口301和第二转接口，在壳体20上设置有线缆开口，其中，第一转接口301与引入插座1插接，第二转接口与线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体20中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配。

本实用新型提供的滤波盒组件，其包括引入插座、插座转接件30和壳体20，插座转接件上设置有第一转接口301和第二转接口，其中，第一转接口301与引入插座插接，第二转接口与壳体上的线缆开口相对应，待滤波线缆依次通过第二转接口和线缆开口引入至壳体中，并且，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，本实用新型通过插座转接件30使引入插座和壳体20连接，避免引入插座直接插接在壳体20上而致使必须在壳体20上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体20中，从而提高滤波效果。

需要说明的是，线缆开口和第二转接口中的一者与待滤波线缆的尺寸相适配即可。优选地，线缆开口和第二转接口均与待滤波线缆的尺寸相适配，所谓相适配指的是尺寸相近或尺寸一致。

其中，线缆开口和/或第二转接口尺寸小于等于4mm，当满足该尺寸条件时，能够有效防止射频泄漏至壳体20中，达到射频防护的目的，保证电气信号的稳定性。

下面对插座转接件的结构进行详细描述。图3A为本实用新型实施例提供的第一分体的结构图，图3B为本实用新型实施例提供的第二分体的结构图。请一并参阅图3A和图3B，插座转接件30包括第一分体310和第二分体320，且分别在第一分体310和第二分体320上设置有第一凹部311和第二凹部321，第一凹部311与第二凹部321对接能形成第二转接口。为了便于安装，本实用新型通过第一凹部311与第二凹部321的对接形成第二转接口，在使用过程中，先使待滤波线缆卡在第一凹部311内，再将第二凹部321与第一凹部311对接，从而实现待滤波线缆的固定。

在第一分体310上形成有凹槽，第二分体320为与该凹槽相对应的矩形结构，在与第一分体310对接时第二分体320位于该凹槽中，并且凹槽的槽底处设有第一凹部311。

需要说明的是，在本实施例中，但本实用新型并不局限于此，在实际应用中，第一分体和第二分体也可以为对称结构，只要当第一分体与第二分体对接能形成第二转接口即可。

需要说明的是，在本实施例中，插座转接件包括第一分体和第二分体，但本实用新型并不局限于此，在实际应用中，插座转接件还可以是一体式结构，例如，插座转接件为实心矩形块，插座转接件中设置有连通第一转接口与第二转接口的通道，此时，将待滤波线缆从通道的第一转接口的一端插入，并延通道从第二转接口进入壳体20。

在本实施例中，插座转接件30包括相对设置的第一转接板和第二转接板，其中，第一转接口301为贯穿第一转接板厚度的第一通孔，第二转接口为贯穿第二转接板厚度的第二通孔。

在本实施例中，插座转接件30具有空腔，第一转接口经由该空腔与第二转接口连通。

其中，在第二转接板上还设置有贯穿其厚度的固定孔，插接转接件30通过螺钉与壳体固定连接。由于插座转接件30具有空腔，在将待滤波线缆插入第二转接口时，使用者可以看到插座转接件30内部的待滤波线缆的情况，避免第二分体320与第一分体310对接时夹到待滤波线缆进而导致第二分体320与第一分体310没有紧密对接，也可以避免待滤波线缆被夹到而导致待滤波线缆损坏。

其中，第一分体310与第二分体320通过螺钉固定连接。如图3A和图3B所示，在第一分体310凹槽底部的未设置第一凹部311的区域上形成螺纹孔，在第二分体320的与螺纹孔相对应的位置上设置有通孔，第二分体320通过螺钉与螺纹孔相配合而固定在第一分体310上。

滤波盒组件还包括引出插座4，引出插座4用于将壳体中的滤波线缆引出，在壳体20上还设置有引出插座开口(图中未示出)，引出插座4与引出插座开口插接。

在通过本实施例提供的滤波盒组件对线缆进行固定时，先将引入插座1插接在第一分体310的第一转接口301上，并将待滤波线缆通过第二分体320固定在第二转接口中，再将第一分体310与第二分体320的整体通过螺钉固定在壳体20上，以使待滤波线缆由线缆开口引入壳体20。此外，通过本实施例提供的滤波盒组件，在拆卸引入插座1时，仅需使固定待滤波线缆的第二分体320与第一分体310分离即可，从而降低维护难度。

其中，第一分体310和第二分体320采用铝机加工而成，且表面采用导电氧化处理，确保与壳体20接触后起到良好射频防护作用。

第一分体310的尺寸应当既可以使引入插座1具有足够的安装空间，还可以为待滤波线缆预留一定的折弯空间。优选地，如图3C所示，第一分体310的尺寸为35mm×30mm×20mm。

作为另一个技术方案，本实用新型实施例还提供了一种反应腔室，包括滤波盒组件和设置在滤波盒组件中的滤波器，其中，滤波盒组件采用本实用新型实施例提供的滤波盒组件。

本实用新型提供的反应腔室，其采用本实用新型实施例提供的上述滤波盒组件，线缆开口和/或第二转接口的尺寸与待滤波线缆的尺寸相适配，避免引入插座直接插接在壳体上而致使必须在壳体上设置直径过大的开口，进而避免射频波泄漏至壳体中，从而提高滤波效果。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。