一种稀有气体回收装置的制作方法

本实用新型属于放电管生产技术领域，具体涉及一种稀有气体回收装置。

背景技术：

冷阴极放电管的充填气体是稀有气体，稀有气体产量少，价格贵，且当市场紧缺时气体价格就会猛涨，最高涨幅曾经达到20倍。稀有气体的回收再利用具有很现实的意义，冷阴极放电管体积小，填充的稀有气体所需量较少，在排气工序剩余有稀有气体，且回收比较困难，浪费资源，增加生产升本，急需一种能将冷阴极放电管生产过程中剩余的稀有气体回收再利用的装置。

技术实现要素：

发明目的：针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种冷阴极放电管生产中稀有气体回收再利用的稀有气体回收装置。

技术方案：为了实现上述发明目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种稀有气体回收装置，包括依次连接的稀有气体进气口、真空筒、吸气泵、储气罐、真空开关、增压泵、高压针阀和储气瓶，所述稀有气体进气口与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。

作为优选，所述真空筒内的状态为负压。

作为优选，在所述真空筒上设置有高精度真空压力表，所述高精度真空压力表的量程为0～760毫乇。

作为优选，在所述吸气泵的进口和出口均设置有止回阀，在所述增压泵的进口和出口均设置有止回阀。

作为优选，在所述储气罐的前端设置有第一高精度压力表，在所述高压针阀的前端设置有第二高精度压力表。

作为优选，所述第一高精度压力表的量程为0～1.5MPa，所述第二高精度压力表量程为0～10MPa。

作为优选，在所述增压泵的出口设置有两路，一路连接高压针阀，另一路设置有卸荷阀。

作为优选，所述吸气泵输出压力为1MPa，所述增压泵输出压力为8MPa。有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的稀有气体回收装置能将冷阴极放电管排气机工作后剩余的气体大部分回收，回收气体生产的产品和原气体光电参数一致，质量无差异。稀有气体回收装置大幅度减少稀有气体的使用量，气体回收利用率80％以上，显著降低了材料成本，增强企业竞争力。

附图说明

图1是稀有气体回收装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

如图1所示，本申请的稀有气体回收装置，包括依次连接的稀有气体进气口1、真空筒2、吸气泵5、储气罐7、真空开关8、增压泵9、高压针阀11和储气瓶13，稀有气体进气口1与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。

真空筒2内的状态为负压，小于50毫乇。由于稀有气体的量少，吸气泵5不是连续工作，而是间断性工作，在吸气泵5的前端设置真空筒2，由于真空筒内压力低，从稀有气体进气口1流出的气体会聚集在真空筒2内，当真空筒2内的稀有气体聚集到一定量时，便于吸气泵5集中吸走。

高精度真空压力表3设置在真空筒2上，用于监测真空筒2内的空气压力，高精度真空压力表3的测量环境是负压，量程为0～760毫乇。

在吸气泵5的进口和出口均设置有止回阀4，在增压泵9的进口和出口均设置有止回阀4，防止气体倒流。

在储气罐7的前端设置有第一高精度压力表6，测量并显示储气罐7的压力，在高压针阀11的前端设置有第二高精度压力表10，测量并显示储气瓶13的压力。第一高精度压力表6的量程为0～1.5MPa，第二高精度压力表10量程为0～10MPa。

在增压泵9的出口设置有两路，一路连接高压针阀11，高压针阀11与储气瓶13连接，开启和切断进入储气瓶13的气体；另一路设置有卸荷阀12，自动控制泵的卸荷或加载。

吸气泵5输出压力为1MPa，增压泵9输出压力为8MPa。

本实用新型的工作流程：稀有气体进气口1连接冷阴极放电管排气机工位，吸气泵5工作将剩余稀有气体吸入储气罐7，达到一定压力后开启真空开关8，增压泵9工作将储气罐7内气体从约1MPa增压到约8MPa装入储气瓶13储存。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。