1.一种稀有气体回收装置，其特征在于：包括依次连接的稀有气体进气口(1)、真空筒(2)、吸气泵(5)、储气罐(7)、真空开关(8)、增压泵(9)、高压针阀(11)和储气瓶(13)，所述稀有气体进气口(1)与冷阴极放电管排气机充气系统连接，收集排气机工位剩余的稀有气体。
2.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：所述真空筒(2)内的状态为负压。
3.根据权利要求1或2所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述真空筒上设置有高精度真空压力表(3)，所述高精度真空压力表(3)的量程为0～760毫乇。
4.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述吸气泵(5)的进口和出口均设置有止回阀(4)，在所述增压泵(9)的进口和出口均设置有止回阀(4)。
5.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述储气罐(7)的前端设置有第一高精度压力表(6)，在所述高压针阀(11)的前端设置有第二高精度压力表(10)。
6.根据权利要求5所述的稀有气体回收装置，其特征在于：所述第一高精度压力表(6)的量程为0～1.5MPa，所述第二高精度压力表(10)量程为0～10MPa。
7.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：在所述增压泵(9)的出口设置有两路，一路连接高压针阀(11)，另一路设置有卸荷阀(12)。
8.根据权利要求1所述的稀有气体回收装置，其特征在于：所述吸气泵(5)输出压力为1MPa，所述增压泵(9)输出压力为8MPa。