1.一种晶圆移动机械手，其特征在于，包括：
固定支架(1)；
升降驱动机构(2)，所述升降驱动机构(2)安装在所述固定支架(1)上；
手臂驱动机构(3)，所述手臂驱动机构(3)与所述固定支架(1)滑动连接，并与所述升降驱动机构(2)传动连接；
旋转驱动机构(4)，所述旋转驱动机构(4)设在所述固定支架(1)中，且与所述手臂驱动机构(3)传动连接；
执行机构(5)，所述执行机构(5)包括移动主臂(51)和移动副臂(52)；所述移动主臂(51)一端与所述手臂驱动机构(3)的输出端传动连接，所述移动主臂(51)的另一端与所述移动副臂(52)的连接端传动连接，所述移动副臂(52)上靠近其自由端的位置上安装晶圆吸盘组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述手臂驱动机构(3)包括：壳体(31)、传动轴(35)、电机固定架(32)和旋转电机(36)；
所述升降驱动机构(2)和所述旋转驱动机构(4)分别与所述壳体(31)的底部传动连接；
所述传动轴(35)垂直贯穿所述壳体(31)的顶面且通过轴承与所述壳体(31)连接；
所述电机固定架(32)安装在所述壳体(31)内部，所述旋转电机(36)与所述电机固定架(32)连接，所述旋转电机(36)的输出端与所述传动轴(35)一端传动连接；所述移动主臂(51)的一端与所述传动轴(35)的另一端传动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括小带轮(33)和大带轮(34)，所述小带轮(33)固定在所述旋转电机(36)的输出轴上；所述大带轮(34)固定在所述传动轴(35)的一端，所述小带轮(33)和所述大带轮(34)传动连接。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括连接轴(54)，所述移动主臂(51)的另一端与所述移动副臂(52)的连接端通过所述连接轴(54)传动连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括晶圆吸盘组件旋转驱动机构，所述圆吸盘组件旋转驱动机构与所述传动轴(35)的另一端传动连接。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述圆吸盘组件旋转驱动机构包括第一从动轮(53)、第二从动轮(55)、第三从动轮(56)、旋转轴(58)及第四从动轮(57)，所述移动主臂(51)和所述移动副臂(52)均为中空结构；
所述第一从动轮(53)套设固定在所述传动轴(35)另一端且位于所述移动主臂(51)一端内部；
所述连接轴(54)两端分别通过轴承对应安装在移动主臂(51)另一端和移动副臂(52)的连接端内；所述第二从动轮(55)、第三从动轮(56)分别固定在所述连接轴(54)的两端，且分别位于所述移动主臂(51)一端内部和所述移动副臂(52)的连接端内部；
所述旋转轴(58)一端通过轴承安装所述移动副臂(52)靠近自由端的内部；所述晶圆吸盘组件安装在所述旋转轴(58)的另一端；
所述第四从动轮(57)固定在所述旋转轴(58)上且位于所述移动副臂(52)的自由端内部；所述第一从动轮(53)和第二从动轮(55)，第三从动轮(56)和第四从动轮(57)均通过皮带传动连接；
所述传动轴(35)、所述连接轴(54)及所述旋转轴(58)的中心轴线平行布置。
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述升降驱动机构(2)包括滚珠丝杠、电机a(21)、第一传动轮(22)和第二传动轮(23)；
所述电机a(21)固定在所述固定支架(1)的底部，所述电机a(21)的动力输出轴连接有第一传动轮(22)；
所述第一传动轮(22)与所述第二传动轮(23)传动连接；
所述第二传动轮(23)与所述滚珠丝杠传动连接；
所述滚珠丝杠与所述手臂驱动机构(3)固定连接。
8.根据权利要求1至6任一项所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述旋转驱动机构(4)包括电机b(41)、第三传动轮(42)、第四传动轮(43)、安装轴、轴承和轴承固定座；
所述电机b(41)安装在所述固定支架(1)的底部，所述电机b(41)的动力输出轴连接有第三传动轮(42)；
所述轴承固定座与所述手臂驱动机构(3)固定连接；所述轴承安装在所述轴承固定座中，且所述轴承内套设所述安装轴；
所述安装轴一端固定连接所述第四传动轮(43)，所述第四传动轮(43)与所述第三传动轮(42)通过皮带传动连接；
所述安装轴的另一端与所述手臂驱动机构(3)固定连接。
9.根据权利要求3所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，所述固定支架(1)的内壁上竖直设有一组导轨(24)，所述导轨(24)对称安装；所述壳体(31)外侧与所述导轨(24)一一对应设有滑动组件，所述导轨(24)与所述滑动组件滑动连接。
10.根据权利要求9所述的一种晶圆移动机械手，其特征在于，还包括控制器、第一位移传感器(6)和第二位移传感器(7)，所述导轨(24)和所述大带轮(34)一侧均设有传感器安装板；
所述第一位移传感器(6)和所述第二位移传感器(7)对应安装在所述传感器安装板上，并与所述控制器通讯连接；所述滑动组件上设有第一传感器挡片，所述大带轮(34)上设有第二传感器挡片，所述第一传感器挡片与所述第一位移传感器(6)位置对应且可滑动接触，所述第二传感器挡片与所述第二位移传感器(7)位置对应且可旋转接触；所述控制器与升降驱动机构(2)和手臂驱动机构(3)驱动机构通信连接。