技术总结
本实用新型公开了一种晶圆移动机械手，由软件和控制器控制其移动轨迹，包括：固定支架；升降驱动机构，升降驱动机构安装在述固定支架上；手臂驱动机构，手臂驱动机构与固定支架滑动连接，并与升降驱动机构传动连接；旋转驱动机构，旋转驱动机构设在固定支架中，与手臂驱动机构转动连接；执行机构，执行机构包括移动主臂和移动副臂；移动主臂一端可枢转的连接在手臂驱动机构的上端，移动主臂的另一端与移动副臂的连接端旋转连接，移动副臂的自由端安装有晶圆吸盘组件。本实用新型动力直接从驱动电机发出，只经过一级同步带的减速，减少了中间动力传递的过程，降低了整体结构的复杂程度与整体重量，提高机械手的定位精度，传递效率。
技术研发人员：张琦;马荣花;马俊涛
受保护的技术使用者：张琦;马俊涛
技术研发日：2018.07.20
技术公布日：2019.07.05