1.一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，包括：激光发射装置、分束镜(9)、分光镜(12)和光电探测器(14)；所述分束镜(9)设置在所述激光发射装置的激光射出的方向上，所述分光镜(12)设置在所述分束镜(9)反射光射出的方向上，所述光电探测器(14)设置在所述分光镜(12)反射光射出的方向上。
2.根据权利要求1所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，还包括密闭箱体(1)，所述密闭箱体(1)内设置有容纳腔，所述容纳腔内设置有分隔板(15)将所述容纳腔分隔为激光谐振腔(10)和出光反馈腔(16)，所述激光发射装置和所述分束镜(9)均设置在所述激光谐振腔(10)内，所述分光镜(12)和所述光电探测器(14)均设置在所述出光反馈腔(16)内，所述分隔板(15)上设置有透光孔(11)，所述透光孔(11)设置在所述分束镜(9)和所述分光镜(12)之间。
3.根据权利要求2所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述激光发射装置包括均设置在所述激光谐振腔(10)内的半导体光源(4)、晶体模块(5)、声光Q开关(3)、倍频组件、反射镜(2)和输出耦合镜(8)；所述晶体模块(5)设置有分别与激光发射方向垂直的第一端面和第二端面，所述晶体模块(5)上还设置有与激光发射方向平行的第三端面；所述半导体光源(4)设置在所述第三端面的外侧；所述反射镜(2)设置在所述第一端面的外侧，所述反射镜(2)和所述第一端面之间设置有所述声光Q开关(3)；所述输出耦合镜(8)设置在所述第二端面的外侧，所述输出耦合镜(8)和所述第二端面之间设置有所述倍频组件。
4.根据权利要求3所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述倍频组件包括设置在所述第二端面和所述输出耦合镜(8)之间的二倍频晶体(6)和三倍频晶体(7)，所述三倍频晶体(7)设置在所述二倍频晶体(6)和所述输出耦合镜(8)之间。
5.根据权利要求2所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，还包括保护窗(13)，所述保护窗(13)设置在所述密闭箱体(1)上，所述保护窗(13)位于所述分光镜(12)透射光射出的方向上。
6.根据权利要求1至5任一项所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述分束镜(9)和所述激光发射装置激光射出方向之间的夹角为45°，所述分光镜(12)和所述分束镜(9)反射光射出的方向之间的夹角为45°。
7.根据权利要求1至5任一项所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述分束镜(9)的材质为熔融石英，且其靠近所述分光镜(12)的一侧镀有用于反射波长为355nm紫外光的膜层。
8.根据权利要求7所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述分光镜(12)的材质熔融石英，且其靠近所述分束镜(9)的一侧镀有用于透射波长为355nm紫外光的膜层。
9.根据权利要求8所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述分光镜(12)靠近所述分束镜(9)的一侧还镀有用于将532nm波长激光全部反射的膜层。
10.根据权利要求2至5任一项所述的一种输出自反馈的紫外激光器，其特征在于，所述密闭箱体(1)和分隔板(15)均为不锈钢材料制成。