一种太阳能外延结构及太阳能电池的制作方法

文档序号:17503726发布日期:2019-04-23 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能外延结构,其特征在于,所述太阳能外延结构包括依次重叠设置的背场层、基层、发射层、窗口层和接触层,所述基层和所述发射层分别包括至少一个V型槽,所述基层的V型槽的开口朝向所述发射层,所述发射层的V型槽的开口方向朝向所述窗口层。

2.根据权利要求1所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述基层、所述发射层的V型槽相互重叠。

3.根据权利要求2所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述窗口层还包括至少一个所述V型槽。

4.根据权利要求3所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述窗口层的V型槽与所述基层和所述发射层的V型槽相互重叠。

5.根据权利要求4所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述接触层还包括至少一个所述V型槽。

6.根据权利要求5所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述接触层的V型槽与所述基层、所述发射层和所述窗口层的V型槽相互重叠。

7.根据权利要求1-6任一项所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述基层的V型槽开口的尺寸为0-1μm,V型槽的深度为0-3μm。

8.根据权利要求1所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述背场层上生长有至少一条穿透所述背场层的位错,所述基层的V型槽的顶点与穿透所述背场层的位错相对应。

9.根据权利要求8所述的太阳能外延结构,其特征在于,所述太阳能外延结构还包括衬底,所述衬底设置在所述背场层远离基层的一侧。

10.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池包括太阳能外延结构、正面电极、减反射膜和背面电极,所述背面电极设置在背场层上远离基层的一侧,所述减反射膜设置在接触层远离窗口层的一侧,所述正面电极设置在减反射膜远离接触层一侧,所述太阳能外延结构如权利要求1-9任一项所述。

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