1.一种用于承载衬底基片的石墨基座,其特征在于,所述用于承载衬底基片的石墨基座的底部设有用于正好伸入石墨支撑环的顶沿内的环形接驳部(1),环形接驳部(1)与所述石墨基座一体形成,环形接驳部(1)上设有多个梯形卡头(11),梯形卡头(11)伸入石墨支撑环的顶沿上的与梯形卡头(11)相适配的卡口内。
2.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的石墨基座,其特征在于,所述多个梯形卡头(11)间隔均匀地设置在环形接驳部(1)上。
3.根据权利要求2所述的一种用于承载衬底基片的石墨基座,其特征在于,所述环形接驳部(1)设有三个梯形卡头(11)。
4.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的石墨基座,其特征在于,所述梯形卡头(11)为等腰梯形状。
5.根据权利要求4所述的一种用于承载衬底基片的石墨基座,其特征在于,所述梯形卡头(11)的上底边长16-25mm,所述梯形卡头(11)的下底边长8-14mm。