一种固定装置和加工设备的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体地，涉及一种固定装置和加工设备。

背景技术：

太阳能薄膜电池具有柔性，轻薄等优点，目前薄膜电池生产工序中，利用真空吸盘对其进行吸平、固定。在阵列叠片工序中，需要将单片cell(即电池基片)依次布置在载板上，而载板就是一个面积较大的开放式真空吸盘。目前，载板无法牢固地对多个放置在其上的电池基片都进行一定程度的真空吸附；如果将载板设置为一个真空腔室，为满足一定真空度，真空泄露量会非常大，真空源功率和真空管道规格会非常大，导致无法设计施工。

如何实现载板对多个电池基片的一定牢固程度的吸附固定已成为目前亟待解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种固定装置和加工设备。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

本实用新型提供一种固定装置，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；

所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。

优选地，所述轴体为阀杆，所述环体为阀体；

所述第一抽真空通道包括开设在所述阀杆内且沿所述阀杆中心轴延伸的第一孔道以及开设在所述阀杆中的第二孔道，所述第二孔道与所述第一孔道贯通，所述第二孔道与所述第一孔道成设定夹角，且所述第二孔道从所述第一孔道延伸至所述阀杆表面并在所述阀杆表面形成开口；

所述第一抽真空通道还包括开设在所述阀体中的第三孔道，所述第三孔道从所述阀体的与所述阀杆接触的面延伸至所述阀体的表面并在所述阀体表面形成开口，且所述第三孔道能与所述第二孔道贯通；

所述第一孔道的一端连接抽真空器件，另一端封闭。

优选地，所述阀杆的一端连接驱动部件，所述驱动部件能驱动所述阀杆以其中心轴为轴在所述阀体内自转；所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上开设有第一凹槽，所述第一凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，且所述第一凹槽与所述第三孔道贯通；

所述阀体的与所述阀杆相接触的壁上还设置有凸起块，所述凸起块位于所述第一凹槽的一端，且所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸；

所述第二孔道在所述阀杆表面的开口能随着所述阀杆的自转被所述凸起块封闭或者与所述第一凹槽贯通。

优选地，所述阀杆的与所述阀体接触的壁上开设有第二凹槽，所述第二凹槽的延伸方向沿所述阀杆的自转方向，所述第二孔道在所述阀杆表面的开口位于所述第二凹槽内；

所述抽真空结构还包括第一密封件，所述第一密封件设置于所述第二凹槽中，且所述第一密封件与所述第二凹槽的大小形状相适配；

所述第一抽真空通道还包括开设在所述第一密封件中的第四孔道，所述第四孔道的一端开口与所述第二孔道在所述阀杆表面的开口对接，所述第四孔道能与所述第三孔道贯通。

优选地，所述承载部包括第一载板，所述第一载板设置在所述阀体的开设有所述第三孔道的一侧；

所述第二抽真空通道包括开设在所述第一载板中的第五孔道，所述第五孔道贯穿所述第一载板的厚度，且所述第五孔道与所述第三孔道贯通；

所述承载部还包括第二载板，所述第二载板设置在所述第一载板的背离所述阀体的一侧，所述第二载板上用于放置所述基片；

所述第二抽真空通道还包括开设在所述第二载板中的多个第六孔道，所述第六孔道贯穿所述第二载板的厚度，且多个所述第六孔道均匀分布于所述第二载板的对应所述第五孔道的区域；

所述第一载板的背离所述阀体的一面在对应所述第五孔道的区域开设有第三凹槽；

所述承载部还包括密封板，所述密封板设置于所述第一载板和所述第二载板之间，所述密封板上设置有镂空区，所述镂空区与所述第三凹槽位置相对应，且所述镂空区与所述第三凹槽大小形状相同。

优选地，一根所述阀杆上贯穿有多个所述阀体，所述承载部还延伸至覆盖各个所述阀体的开设有所述第三孔道的一侧，以构成一组所述真空吸附单元。

优选地，沿所述阀杆的延伸方向，所述阀杆上各个所述阀体的所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸的长度依次增大。

优选地，所述真空吸附单元包括多组，多组所述真空吸附单元沿垂直于所述阀杆延伸方向的方向依次排布，构成所述真空吸附单元阵列。

优选地，所述阀杆的延伸方向为所述真空吸附单元阵列的列方向，排布在所述真空吸附单元阵列的同一行中的所述阀体的所述凸起块沿所述阀杆的自转方向延伸的长度相同；

所述真空吸附单元阵列中，任意相邻两列所述真空吸附单元之间的间距相等，任意相邻两行所述真空吸附单元之间的间距相等。

本实用新型还提供一种加工设备，用于对基片进行加工，包括上述固定装置，所述固定装置能对所述基片进行吸附固定。

本实用新型的有益效果：本实用新型所提供的固定装置，通过使真空吸附单元的抽真空结构中的第一抽真空通道独立开启和关闭，能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

本实用新型所提供的加工设备，通过采用上述固定装置，确保了该加工设备对基片的加工精度，从而提升了该加工设备对基片的加工质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例1中固定装置的结构示意图；

图2为图1中阀杆的结构剖视图；

图3为图1中阀杆的结构示意图；

图4为图1中阀体的结构示意图；

图5为图4中阀体的局部结构剖视图；

图6为第一抽真空通道关闭的结构示意图；

图7为第一抽真空通道开启的结构示意图；

图8为图1抽真空结构中第一密封件的结构示意图；

图9为图1中承载部第一载板的结构俯视图；

图10为图1中承载部第一载板的结构仰视图；

图11为图1中承载部第二载板的结构示意图；

图12为图1中承载部密封板的结构示意图；

图13为由多组真空吸附单元构成的真空吸附单元阵列的示意图；

图14为真空吸附单元阵列中各真空吸附单元开启与关闭的示意图；

图15为多个真空吸附单元阵列排布呈阵列的示意图。

其中的附图标记说明：

1.真空吸附单元；2.阀杆；21.第二凹槽；3.阀体；31.第一凹槽；32.凸起块；33.第一环形槽；41.第一孔道；42.第二孔道；43.第三孔道；44.第四孔道；5.抽真空器件；6.第一密封件；7.第一载板；71.第三凹槽；72.第二环形槽；81.第五孔道；82.第六孔道；9.第二载板；10.密封板；101.镂空区；11.真空吸附单元阵列；12.驱动部件；L.阀杆的自转方向。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型所提供的一种固定装置和加工设备作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种固定装置，如图1所示，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元1，真空吸附单元1包括抽真空结构和设置在抽真空结构上的承载部，承载部用于承载基片；抽真空结构包括轴体和套设在轴体上的环体，抽真空结构中开设有第一抽真空通道，轴体能绕其轴线在环体内自转，以开启或关闭第一抽真空通道；承载部中开设有第二抽真空通道，第一抽真空通道和第二抽真空通道贯通，能对基片进行吸附固定。

通过使真空吸附单元1的抽真空结构中的第一抽真空通道独立开启和关闭，能实现一个真空吸附单元1独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元1对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元1都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

如图2-5所示，轴体为阀杆2，环体为阀体3；第一抽真空通道包括开设在阀杆2内且沿阀杆2中心轴延伸的第一孔道41以及开设在阀杆2中的第二孔道42，第二孔道42与第一孔道41贯通，第二孔道42与第一孔道41成设定夹角，且第二孔道42从第一孔道41延伸至阀杆2表面并在阀杆2表面形成开口。第一抽真空通道还包括开设在阀体3中的第三孔道43，第三孔道43从阀体3的与阀杆2接触的面延伸至阀体3的表面并在阀体3表面形成开口，且第三孔道43能与第二孔道42贯通；第一孔道41的一端连接抽真空器件5，另一端封闭。通过使抽真空器件5从第一抽真空通道内进行抽气，能使第三孔道43在阀体3表面的开口形成向其内部抽真空的开口，以便后续该开口与第二抽真空通道的对接。

其中，阀杆2的一端连接驱动部件12，驱动部件12能驱动阀杆2以其中心轴为轴在阀体3内自转；阀体3的与阀杆2相接触的壁上开设有第一凹槽31，第一凹槽31的延伸方向沿阀杆2的自转方向，且第一凹槽31与第三孔道43贯通；阀体3的与阀杆2相接触的壁上还设置有凸起块32，凸起块32位于第一凹槽31的一端，且凸起块32沿阀杆2的自转方向延伸；第二孔道42在阀杆2表面的开口能随着阀杆2的自转被凸起块32封闭(如图6所示，此时第一抽真空通道关闭)或者与第一凹槽31贯通(如图7所示，此时第一抽真空通道开启)。从而实现该抽真空结构中第一抽真空通道的开启与关闭。

其中，驱动部件12为电机，如步进电机。

本实施例中，阀杆2的与阀体3接触的壁上开设有第二凹槽21，第二凹槽21的延伸方向沿阀杆2的自转方向，第二孔道42在阀杆2表面的开口位于第二凹槽21内；如图8所示，抽真空结构还包括第一密封件6，第一密封件6设置于第二凹槽21中，且第一密封件6与第二凹槽21的大小形状相适配；第一抽真空通道还包括开设在第一密封件6中的第四孔道44，第四孔道44的一端开口与第二孔道42在阀杆2表面的开口对接，第四孔道44能与第三孔道43贯通。第一密封件6的设置能够对阀杆2中的第二孔道42形成密封，防止第二孔道42内的真空泄漏。

优选的，第二凹槽21环绕阀杆2一圈。由于第一密封件6与第二凹槽21的大小形状相适配，所以第一密封件6也环绕阀杆2一圈，如此设置，能使第一密封件6对阀杆2中的第二孔道42形成更好的密封。

另外，本实施例中，沿阀杆2的延伸方向，阀体3在平行于第一凹槽31所在面的两侧还设置有第一环形槽33，抽真空结构还包括第二密封件，第二密封件设置于第一环形槽33中，且第二密封件与第一环形槽33的大小形状相适配，第二密封件能对第一凹槽31的两侧形成密封，防止第一凹槽31内的真空泄漏。

其中，第一密封件6和第二密封件均采用弹性密封材料如橡胶制成，能够起到很好的密封作用。

本实施例中，如图9-11所示，承载部包括第一载板7，第一载板7设置在阀体3的开设有第三孔道43的一侧；第二抽真空通道包括开设在第一载板7中的第五孔道81，第五孔道81贯穿第一载板7的厚度，且第五孔道81与第三孔道43贯通，从而实现了第一抽真空通道与第二抽真空通道的贯通，以便实现固定装置对基片的吸附固定。

承载部还包括第二载板9，第二载板9设置在第一载板7的背离阀体3的一侧，第二载板9上用于放置基片；第二抽真空通道还包括开设在第二载板9中的多个第六孔道82，第六孔道82贯穿第二载板9的厚度，且多个第六孔道82均匀分布于第二载板9的对应第五孔道81的区域。第二载板9中多个第六孔道82的均匀分布，有利于第六孔道82对基片的均匀吸附，从而确保基片能被牢固且可靠地吸附固定。

其中，第一载板7的背离阀体3的一面在对应第五孔道81的区域开设有第三凹槽71；如图12所示，承载部还包括密封板10，密封板10设置于第一载板7和第二载板9之间，密封板10上设置有镂空区101，镂空区101与第三凹槽71位置相对应，且镂空区101与第三凹槽71大小形状相同。密封板10的设置，能够对第一载板7中的第五孔道81形成良好的密封，防止第五孔道81的真空泄漏。

另外，第一载板7的与阀体3接触的一面上在第五孔道81的开口周围形成有第二环形槽72，第二环形槽72内用于设置密封圈，密封圈能对第五孔道81在该面上的开口形成密封，防止第五孔道81中的真空泄漏。

需要说明的是，承载部与抽真空结构之间通过连接件如螺钉固定连接，以实现固定装置对基片的固定更加稳定。

本实施例中，如图1所示，一根阀杆2上贯穿有多个阀体3，承载部还延伸至覆盖各个阀体3的开设有第三孔道43的一侧，以构成一组真空吸附单元1。

沿阀杆2的延伸方向，阀杆2上各个阀体3的凸起块32沿阀杆2的自转方向延伸的长度依次增大。如此设置，使一组真空吸附单元1中的各个真空吸附单元1均能够先后独立开启，从而实现依次独立开启一组真空吸附单元1中的各个真空吸附单元1，进而能够根据基片的数量相应开启相同数量的真空吸附单元1，节约固定装置的能耗。

需要说明的是，一组真空吸附单元1中的各个真空吸附单元1通过连接件如螺钉固定连接，以实现固定装置对基片的固定更加稳定。

本实施例中，如图13所示，真空吸附单元1包括多组，多组真空吸附单元1沿垂直于阀杆2延伸方向的方向依次排布，构成真空吸附单元阵列。真空吸附单元阵列能够对大量的基片进行一一对应吸附固定。

其中，如图14所示，阀杆2的延伸方向为真空吸附单元阵列的列方向，排布在真空吸附单元阵列的同一行中的阀体3的凸起块32沿阀杆2的自转方向L延伸的长度相同。

真空吸附单元阵列中，任意相邻两列真空吸附单元1之间的间距相等，任意相邻两行真空吸附单元1之间的间距相等。其中，任意相邻两列真空吸附单元1之间的间距为相邻两阀杆2之间的间距，任意相邻两行真空吸附单元1之间的间距为相邻两阀体中第三孔道之间的间距。真空吸附单元阵列中的真空吸附单元1如此排布，能够使该固定装置的结构更加紧凑，节约整个固定装置的占用空间。

需要说明的是，真空吸附单元阵列中的各组真空吸附单元1之间通过连接件如螺钉固定连接，以实现固定装置对基片的固定更加稳定。

另外，如图15所示，真空吸附单元阵列11的数量可以为多个，多个真空吸附单元阵列11排布呈阵列，多个真空吸附单元阵列11之间通过连接件如螺钉固定连接，如此实现对更多的基片进行稳定的吸附固定。

本实施例中，基片指太阳能电池基片，太阳能电池基片在进入各种加工工序中进行加工时，需要通过上述固定装置进行吸附固定。当然，基片也可以是其他的待加工基片，如显示用基片或者其他功能的电子基片等。

基于固定装置的上述结构，本实施例还提供一种该固定装置对基片的固定方法，包括开启固定装置中的真空吸附单元；将基片放置到开启的真空吸附单元上。

本实施例中，逐行开启真空吸附单元阵列中的真空吸附单元；每行真空吸附单元开启时，依次逐个开启一行中的真空吸附单元，或者，同时开启一行中的真空吸附单元。如此能够根据基片的实际数量适当开启相同数量的真空吸附单元，从而避免额外开启真空吸附单元所导致的固定装置耗损，节约了固定装置能耗。

如真空吸附单元阵列中，一组(即一列)真空吸附单元中的各个真空吸附单元在步进电机的驱动下依次开启，一行中的各个真空吸附单元可以在步进电机的驱动下依次开启或者同时开启。

实施例1的有益效果：实施例1中所提供的固定装置，通过使真空吸附单元的抽真空结构中的第一抽真空通道独立开启和关闭，能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，相对于现有的一个真空腔室对应吸附多个基片的方案，能使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，从而增强了真空吸附单元对其吸附固定的基片的吸附力，确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，最终实现该固定装置对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

实施例2：

本实施例提供一种加工设备，用于对基片进行加工，包括实施例1中的固定装置，固定装置能对基片进行吸附固定。

通过采用实施例1中的固定装置，确保了该加工设备对基片的加工精度，从而提升了该加工设备对基片的加工质量。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。