技术总结
本实用新型实施例公开了一种用于承载衬底基片的石墨基座，所述用于承载衬底基片的石墨基座的底部设有用于正好伸入石墨支撑环的顶沿内的环形接驳部，环形接驳部与所述石墨基座一体形成，环形接驳部上设有多个梯形卡头，梯形卡头伸入石墨支撑环的顶沿上的与梯形卡头相适配的卡口内。由于梯形卡头的上底边与石墨基座的连接面积增大，卡头侧面为斜面应力小，实现了增强梯形卡头的强度的效果，在高温恶劣的环境中旋转不易破损或断裂，达到了旋转稳定，使用寿命长。
技术研发人员：李西维;黄建明;詹国彬
受保护的技术使用者：上海东洋炭素有限公司
技术研发日：2018.12.21
技术公布日：2019.07.05