酰亚胺系树脂膜制造系统、酰亚胺系树脂膜制造方法、及隔膜与流程

本发明涉及酰亚胺系树脂膜制造系统、酰亚胺系树脂膜制造方法、及隔膜。

背景技术：

锂离子电池是一种二次电池，其形成为下述结构：在浸渍于电解液中的正极与负极之间配置有隔膜，通过隔膜来防止正极与负极之间的直接电接触。充电时，锂离子从正极通过隔膜向负极移动，放电时，锂离子从负极通过隔膜向正极移动。作为这样的隔膜，近年来使用由耐热性高且安全性高的多孔性聚酰亚胺膜形成的隔膜是已知的。

制造上述的多孔性聚酰亚胺膜时，提出了下述方案：首先，形成包含微粒的聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺的膜，从该膜中除去微粒，然后使用化学浸蚀液将膜的一部分溶解(例如，参见专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际公开第2015/020101号

技术实现要素：

[发明要解决的课题]

上述的聚酰亚胺膜的制造过程中，有时包括下述工序：使用化学浸蚀液将除去了微粒的膜的一部分溶解，将在膜厚方向上贯通的多个连续孔扩大。此时，若膜排斥化学浸蚀液，则化学浸蚀液难以渗透至膜中，存在无法适当地将膜化学浸蚀这样的问题。针对该问题，也考虑了下述方法：预先将甲醇等醇混合于化学浸蚀液中，提高化学浸蚀液与膜的亲和性，使得化学浸蚀液容易渗透至膜中。然而，就该方法而言，随着处理时间的经过，混合液中的甲醇挥发，化学浸蚀液的浓度升高。因此，存在下述情况：即使以相同时间进行膜的浸渍，进行浸渍的时间点(timing)越往后，膜越被过度溶解，膜的品质降低。另外，就混合有作为有机物的醇的混合液而言，bod值升高，为了不以废液的形式直接流入下水道，废液处理的负担增大。

本发明的目的在于提供能够有效地制造高品质的酰亚胺系树脂膜、能够减轻制造过程中的废液处理的负担的酰亚胺系树脂膜制造系统、酰亚胺系树脂膜制造方法、及隔膜。

[用于解决课题的手段]

本发明的第1方式为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的制造系统，所述制造系统具备下述单元：膜形成单元，所述膜形成单元通过将包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、以及微粒的膜浸渍于能够将上述微粒溶解或分解的第一浸蚀液中，或者通过加热至能够将上述微粒分解的温度，从而将上述微粒除去，形成上述多孔性酰亚胺系树脂膜，上述多孔性酰亚胺系树脂膜中形成有大量在膜厚方向上贯通的连续孔；预湿单元，所述预湿单元向利用上述膜形成单元形成的上述多孔性酰亚胺系树脂膜供给不溶解上述多孔性酰亚胺系树脂膜的预湿液；和化学浸蚀单元，所述化学浸蚀单元使用与上述第一浸蚀液不同的第二浸蚀液，将被供给有上述预湿液的上述多孔性酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

本发明的第2方式为制造多孔性酰亚胺系树脂膜的方法，所述方法包括下述步骤：通过将包含聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺、以及微粒的膜浸渍于能够将上述微粒溶解或分解的第一浸蚀液中，或者通过加热至能够将上述微粒分解的温度，从而将上述微粒除去，形成上述多孔性酰亚胺系树脂膜，上述多孔性酰亚胺系树脂膜中形成有大量在膜厚方向上贯通的连续孔；向上述多孔性酰亚胺系树脂膜供给不溶解上述多孔性酰亚胺系树脂膜的预湿液；以及，使用与上述第一浸蚀液不同的第二浸蚀液，将被供给有上述预湿液的上述多孔性酰亚胺系树脂膜的一部分溶解。

本发明的第3方式涉及的隔膜由利用第2方式涉及的酰亚胺系树脂膜制造方法制造的多孔性酰亚胺系树脂膜形成。

[发明效果]

根据本发明的方式，可提供能够有效地制造高品质的酰亚胺系树脂膜、能够减轻制造过程中的废液处理的负担的酰亚胺系树脂膜制造系统、酰亚胺系树脂膜制造方法、及隔膜。

附图说明

[图1]为示出实施方式涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图2]为示出膜形成单元的一例的图。

[图3]为示出膜形成单元的详细结构的图。

[图4]为示出预湿单元的一例的图。

[图5]为示出化学浸蚀单元的一例的图。

[图6](a)～(e)为示出膜形成单元中的多孔性树脂膜的制造过程的一例的图。

[图7]为示出预湿单元中的预湿处理的一例的图。

[图8](a)及(b)为示出化学浸蚀单元中的化学浸蚀处理的一例的图。

[图9]为示出变形例涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图10]为示出变形例涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图11]为示出变形例涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图12]为示出变形例涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图13]为示出变形例涉及的预湿单元的一例的图。

[图14]为示出变形例涉及的酰亚胺系树脂膜制造系统的一例的图。

[图15]为示出锂离子电池的一例的示意图。

[附图标记说明]

a4···多孔部，f···多孔性树脂膜，fa···未烧成膜，fb···烧成膜，q1···第一浸蚀液，q2···第二浸蚀液，u1···膜形成单元，u2、u2a、u2b···预湿单元，u3···化学浸蚀单元，u4···卷绕单元，pw···预湿液，sys1、sys2、sys3、sys4、sys5、sys6···酰亚胺系树脂膜制造系统，10···涂布单元，35、43、47、53···输送部，20···烧成单元，30、30b···除去单元，45、52a···供给部，60、80、82、85、87···卷绕部，51···化学浸蚀部，51a···贮存槽，52b···废液回收槽，70···送出部，100···隔膜，200···锂离子电池

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。以下，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将与水平面平行的平面作为xy平面。将与该xy平面平行的一个方向标示为x方向，将与x方向正交的方向标示为y方向。另外，将与xy平面正交的方向标示为z方向。在此说明：对x方向、y方向及z方向各自而言，图中的箭头所指方向为+方向，与箭头所指方向相反的方向为-方向。

图1为示出酰亚胺系树脂膜制造系统(以下，称为制造系统)sys1的一例的图。图1中示出的制造系统sys1为制造多孔性树脂膜f(多孔性酰亚胺系树脂膜)的系统。制造系统sys1具备膜形成单元u1、预湿单元u2、和化学浸蚀单元u3。

[膜形成单元]

图2为示出膜形成单元u1的一例的图。图3为示出膜形成单元u1的详细结构的图。膜形成单元u1形成多孔性树脂膜f，所述多孔性树脂膜f中形成有大量在膜厚方向上贯通的连续孔。如图2所示，膜形成单元u1具有涂布单元10、烧成单元20及除去单元30。涂布单元10涂布规定的涂布液而形成未烧成膜fa。关于涂布液，如后文所述。烧成单元20对未烧成膜fa进行烧成而形成烧成膜fb。除去单元30通过将烧成膜fb浸渍于第一浸蚀液中从而从烧成膜fb中除去微粒，形成多孔性树脂膜f。第一浸蚀液使用能够将微粒溶解或分解的液体。

如图2所示，膜形成单元u1例如构成为上下2个阶层，涂布单元10配置在第2层部分，烧成单元20及除去单元30配置在第1层部分。配置在同一层中的烧成单元20及除去单元30例如在y方向上并列地配置，但并不限定于该构成，例如也可以在x方向或者x方向与y方向的合成方向上并列地配置。

关于膜形成单元u1的阶层结构及各层中的各单元的配置等，并不限定于上述方式，例如也可以将涂布单元10及烧成单元20配置在第2层部分，将除去单元30配置在第1层部分。另外，也可以将所有的单元配置在同一层中。该情况下，可以将各单元配置为一列，也可以以多列进行配置。另外，还可以将所有的单元配置在不同的阶层中。

膜形成单元u1中，未烧成膜fa形成为带状。在涂布单元10的+y侧(未烧成膜fa的输送方向的前方)，设置有将带状的未烧成膜fa卷绕成卷状的卷绕部60。在烧成单元20的-y侧(未烧成膜fa的输送方向的后方)，设置有将卷状的未烧成膜fa向烧成单元20送出的送出部70。

[涂布单元]

如图3所示，涂布单元10具有输送部11、第一喷嘴12、第二喷嘴13、干燥部14、和剥离部15。输送部11具有输送基材(基材)s、基材送出辊11a、支承辊11b～11d、基材卷绕辊11e、和输出辊11f。

输送基材s形成为带状。输送基材s从基材送出辊11a送出，以具有张力的方式架设于支承辊11b～11d，并通过基材卷绕辊11e进行卷绕。作为输送基材s的材质，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)等，但并不限定于该构成，也可以为不锈钢等金属材料。

各辊11a～11f例如形成为圆筒状，各自沿x方向平行地配置。需要说明的是，各辊11a～11f并不限定于沿x方向平行的配置，也可以将至少1个辊以相对于x方向倾斜的方式配置。例如，也可以将各辊11a～11f沿z方向平行地配置，以z方向上的高度位置相同的方式配置。该情况下，输送基材s将以相对于水平面(xy平面)竖立的状态沿着水平面移动。

基材送出辊11a以卷绕有输送基材s的状态而配置。支承辊11b被配置于基材送出辊11a的+z侧，并且被配置于比基材送出辊11a更靠-y侧。另外，支承辊11c被配置于支承辊11b的+z侧，并且被配置于比支承辊11b更靠+y侧。通过这3个辊(基材送出辊11a，支承辊11b、11c)的配置，使得输送基材s由包含支承辊11b的-y侧端部的面所支承。

另外，支承辊11d被配置于支承辊11c的+y侧，并且被配置于支承辊11c的-z侧。该情况下，通过支承辊11b～11d这三个辊的配置，使得输送基材s由包含支承辊11c的+z侧端部的面所支承。需要说明的是，支承辊11d也可以被配置于与支承辊11c的高度位置(z方向的位置)大致相等的高度位置。该情况下，输送基材s是以与xy平面大致平行的状态沿+y方向从支承辊11c朝向支承辊11d输送的。

基材卷绕辊11e被配置于支承辊11d的-z侧。输送基材s沿-z方向从支承辊11d朝向基材卷绕辊11e输送。输出辊11f被配置于支承辊11d的+y侧且-z侧。输出辊11f将利用干燥部14形成的未烧成膜fa沿+y方向输送。该未烧成膜fa被输出辊11f输出至涂布单元10的外部。

需要说明的是，上述的各辊11a～11f并不限于圆筒形，也可以形成有锥型的冠顶(crown)。该情况下，对于各辊11a～11f的挠性校正而言是有效的，输送基材s或后文所述的未烧成膜fa能够与各辊11a～11f均等地接触。另外，在各辊11a～11f上可以形成有辐射型的冠顶。该情况下，对于防止输送基材s或未烧成膜fa的曲折而言是有效的。另外，在各辊11a～11f上也可以形成有凹型的冠顶(x方向上的中央部以凹形弯曲的部分)。该情况下，能够在沿x方向赋予张力的同时对输送基材s或未烧成膜fa加以输送，因此对于防止褶皱的产生而言是有效的。就以下的辊而言，也可以与上述同样地为具有圆锥型、辐射型、凹型等的冠顶的构成。

第一喷嘴12在输送基材s上形成第一涂布液的涂布膜(以下，记为第一涂布膜f1)。第一喷嘴12具有喷出第一涂布液的喷出口12a。喷出口12a以例如长度方向上的尺寸与输送基材s的x方向上的尺寸大致相同的方式形成。第一喷嘴12被配置于喷出位置p1。喷出位置p1为相对于支承辊11b的-y方向上的位置。第一喷嘴12以喷出口12a朝向+y方向的方式倾斜地配置。因此，喷出口12a朝向输送基材s中的被支承辊11b的-y侧端部支承的部分。第一喷嘴12针对该输送基材s，沿水平方向从喷出口12a喷出第一涂布液。

第二喷嘴13在输送基材s上以与第一涂布膜f1重叠方式形成第二涂布液的涂布膜(以下，记为第二涂布膜f2)。第二喷嘴13具有喷出第二涂布液的喷出口13a。喷出口13a以例如长度方向上的尺寸与输送基材s的x方向上的尺寸大致相同的方式形成。第二喷嘴13被配置于喷出位置p2。喷出位置p2为相对于支承辊11c的+z方向上的位置。第二喷嘴13以喷出口13a朝向-z方向的方式配置。因此，喷出口13a朝向输送基材s中的被支承辊11c的+z侧端部支承的部分。第二喷嘴13针对该输送基材s，沿重力方向从喷出口13a喷出第二涂布液。

需要说明的是，第一喷嘴12及第二喷嘴13可以是能够在x方向、y方向及z方向中的至少一个方向上移动。另外，也可以将第一喷嘴12及第二喷嘴13设置为能够绕与x方向平行的轴线旋转。另外，第一喷嘴12及第二喷嘴13也可按下述方式设置：在不喷出涂布液时，被配置于未图示的待机位置，在喷出涂布液时，从待机位置分别移动至上述的喷出位置p1、p2。另外，也可以设置实施第一喷嘴12及第二喷嘴13的预喷出动作的部分。

第一喷嘴12及第二喷嘴13分别介由连接配管(未图示)等而与涂布液供给源(未图示)连接。对于第一喷嘴12及第二喷嘴13而言，例如可在内部设置有保持规定量的涂布液的保持部(未图示)。该情况下，第一喷嘴12及第二喷嘴13还可以具有对保持在上述保持部中的液状体的温度进行调节的调温部。对于从第一喷嘴12或第二喷嘴13喷出的各涂布液的喷出量、或者第一涂布膜f1或第二涂布膜f2的膜厚而言，可以通过各喷嘴、各连接配管(未图示)、或与涂布液供给源(未图示)连接的泵(未图示)的压力、输送速度、各喷嘴位置或输送基材s与喷嘴的距离等来进行调节。

干燥部14被配置在第二喷嘴13的+y侧的、位于支承辊11c与支承辊11d之间的位置。干燥部14使涂布于输送基材s上的两层涂布膜(第一涂布膜f1及第二涂布膜f2)干燥，从而形成未烧成膜fa。干燥部14具有腔室14a、和加热部14b。腔室14a收容输送基材s及加热部14b。加热部14b对在输送基材s上形成的第一涂布膜f1及第二涂布膜f2进行加热。作为加热部14b，可使用例如红外线加热器等。加热部14b以50℃～100℃左右的温度对涂布膜进行加热。

剥离部15是将未烧成膜fa从输送基材s剥离的部分。本实施方式中，通过操作者的手工操作来进行未烧成膜fa的剥离，但并不限定于该构成，也可以使用机械手(manipulator)等自动地进行。将从输送基材s剥离的未烧成膜fa利用输出辊11f输出至涂布单元10的外部，并输送至卷绕部60。另外，将剥离未烧成膜fa后的输送基材s用基材卷绕辊11e进行卷绕。

在涂布单元10的+y侧，设置有输出未烧成膜fa的输出口10b。从输出口10b输出的未烧成膜fa被卷绕部60卷绕。卷绕部60构成为在轴承61中安装有轴构件sf。轴构件sf将从输出口10b输出的未烧成膜fa进行卷绕而形成卷状体r。轴构件sf设置为能相对于轴承61进行装卸。轴构件sf被安装于轴承61时，其以能够绕与x方向平行的轴线旋转的方式而被支承。卷绕部60具有使安装于轴承61中的轴构件sf旋转的驱动机构(未图示)。

卷绕部60中，以未烧成膜fa中的第一涂布膜f1侧的面被配置于外侧的方式对未烧成膜fa进行卷绕。例如，通过利用驱动机构使轴构件sf沿图1的逆时针方向旋转，从而使得未烧成膜fa被卷绕。通过以形成了卷状体r的状态将轴构件sf从轴承61卸下，从而能够使卷状体r移动至其他的单元。本实施方式中，卷绕部60以与涂布单元10独立的方式配置，但并不限定于该构成。例如，也可将卷绕部60配置于涂布单元10的内部。该情况下，可以不在涂布单元10中配置输出口10b，而从输出辊11f(或从支承辊11d)开始对未烧成膜fa进行卷绕从而形成卷状体r。

[涂布液]

对作为多孔性树脂膜f的原料的涂布液进行说明。涂布液包含规定的树脂材料、微粒、和溶剂。作为规定的树脂材料，可举出例如聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、或聚酰胺。作为溶剂，可使用能够将这些树脂材料溶解的有机溶剂。

本实施方式中，作为涂布液，可使用两种微粒含有率不同的涂布液(第一涂布液及第二涂布液)。具体而言，以第一涂布液的微粒含有率比第二涂布液高的方式进行制备。结果，可以保证未烧成膜fa、烧成膜fb及多孔性树脂膜f的强度及柔软性。另外，通过设置微粒含有率低的层，能够实现多孔性树脂膜f的制造成本的降低。

例如，在第一涂布液中，树脂材料和微粒以体积比成为19∶81～45∶65的方式被含有。另外，在第二涂布液中，树脂材料和微粒以体积比成为20∶80～50∶50的方式被含有。但是，以使得第一涂布液的微粒含有率高于第二涂布液的微粒含有率的方式设定体积比。需要说明的是，关于各树脂材料的体积，可使用各树脂材料的质量乘以其比重而求得的值。

在上述情况下，例如，将第一涂布液的总体积作为100时，若微粒的体积为65以上，则粒子均匀地分散，另外，若微粒的体积为81以内，则粒子彼此也不发生凝集地分散。因此，能够在多孔性树脂膜f中均匀地形成孔。另外，若微粒的体积比率在该范围内，则能够确保对未烧成膜fa进行成膜时的剥离性。

例如，将第二涂布液的总体积作为100时，若微粒的体积为50以上，则微粒单体均匀地分散，另外，若微粒的体积为80以内，则微粒既不会彼此凝集，并且也不会在表面产生裂纹等，因此能够稳定地形成电特性良好的多孔性树脂膜f。

上述的两种涂布液例如可通过将预先分散有微粒的溶剂和聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺以任意的比率进行混合而制备。另外，也可以在预先分散有微粒的溶剂中将聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺进行聚合而制备。例如，可通过下述方式制造：在预先分散有微粒的有机溶剂中将四羧酸二酐及二胺进行聚合而形成聚酰胺酸，或者进一步进行酰亚胺化而形成聚酰亚胺。

关于涂布液的粘度，优选使其最终为300～2000cp，更优选为400～1500cp的范围，进一步优选为600～1200cp的范围。若涂布液的粘度在该范围内，则能够均匀地成膜。

对于上述涂布液而言，在对微粒和聚酰胺酸或聚酰亚胺进行干燥而制成未烧成膜fa的情况下，当微粒的材质为下文所述的无机材料时，优选以微粒/聚酰亚胺的比率成为2～6(质量比)的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为3～5(质量比)。当微粒的材质为下文所述的有机材料时，优选以微粒/聚酰亚胺的比率成为1～3.5(质量比)的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为1.2～3(质量比)。另外，在制成未烧成膜fa时，优选以微粒/聚酰亚胺的体积比率成为1.5～4.5的方式将微粒与聚酰胺酸或聚酰亚胺混合。进一步优选为1.8～3(体积比)。在制成未烧成膜fa时，若微粒/聚酰亚胺的质量比或体积比为下限值以上，则作为隔膜能够得到适合的密度的孔，若为上限值以下，则能够在不发生粘度增加及膜中裂纹等问题的情况下稳定地成膜。在代替聚酰胺酸或聚酰亚胺而使树脂材料为聚酰胺酰亚胺或聚酰胺的情况下，质量比也与上文所述相同。

以下，对各树脂材料具体地进行说明。

<聚酰胺酸>

对于本实施方式中使用的聚酰胺酸而言，可以不受特别限定地使用将任意的四羧酸二酐与二胺聚合而得到的聚酰胺酸。四羧酸二酐及二胺的使用量没有特别限定，但相对于1摩尔四羧酸二酐，优选使用0.50～1.50摩尔的二胺，更优选使用0.60～1.30摩尔，特别优选使用0.70～1.20摩尔。

四羧酸二酐可以从一直以来作为聚酰胺酸的合成原料而使用的四羧酸二酐中适当选择。四羧酸二酐可以为芳香族四羧酸二酐，也可以为脂肪族四羧酸二酐，但从得到的聚酰亚胺树脂的耐热性的观点考虑，优选使用芳香族四羧酸二酐。四羧酸二酐可以组合两种以上而使用。

作为芳香族四羧酸二酐的合适的具体例，可举出均苯四甲酸二酐、1，1-双(2，3-二羧基苯基)乙烷二酐、双(2，3-二羧基苯基)甲烷二酐、双(3，4-二羧基苯基)甲烷二酐、3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐、2，3，3’，4’-联苯四甲酸二酐、2，2，6，6-联苯四甲酸二酐、2，2-双(3，4-二羧基苯基)丙烷二酐、2，2-双(2，3-二羧基苯基)丙烷二酐、2，2-双(3，4-二羧基苯基)-1，1，1，3，3，3-六氟丙烷二酐、2，2-双(2，3-二羧基苯基)-1，1，1，3，3，3-六氟丙烷二酐、3，3’，4，4’-二苯甲酮四甲酸二酐、双(3，4-二羧基苯基)醚二酐、双(2，3-二羧基苯基)醚二酐、2，2’，3，3’-二苯甲酮四甲酸二酐、4，4-(对亚苯基二氧基)二邻苯二甲酸二酐、4，4-(间亚苯基二氧基)二邻苯二甲酸二酐、1，2，5，6-萘四甲酸二酐、1，4，5，8-萘四甲酸二酐、2，3，6，7-萘四甲酸二酐、1，2，3，4-苯四甲酸二酐、3，4，9，10-苝四甲酸二酐、2，3，6，7-蒽四甲酸二酐、1，2，7，8-菲四甲酸二酐、9，9-双邻苯二甲酸酐芴、3，3’，4，4’-二苯基砜四甲酸二酐等。作为脂肪族四羧酸二酐，可举出例如乙烯四甲酸二酐、丁烷四甲酸二酐、环戊烷四甲酸二酐、环己烷四甲酸二酐、1，2，4，5-环己烷四甲酸二酐、1，2，3，4-环己烷四甲酸二酐等。它们中，从价格、获得的容易性等观点考虑，优选3，3’，4，4’-联苯四甲酸二酐及均苯四甲酸二酐。另外，这些四羧酸二酐既可以单独使用或者混合两种以上而使用。

二胺可以从一直以来作为聚酰胺酸的合成原料而使用的二胺中适当选择。二胺可以为芳香族二胺，也可以为脂肪族二胺，但从得到的聚酰亚胺树脂的耐热性的观点考虑，优选芳香族二胺。这些二胺可以组合两种以上而使用。

作为芳香族二胺，可举出键合有1个或2～10个左右的苯基的二氨基化合物。具体而言，为苯二胺及其衍生物、二氨基联苯化合物及其衍生物、二氨基二苯基化合物及其衍生物、二氨基三苯基化合物及其衍生物、二氨基萘及其衍生物、氨基苯基氨基茚满及其衍生物、二氨基四苯基化合物及其衍生物、二氨基六苯基化合物及其衍生物、cardo型芴二胺衍生物。

苯二胺为间苯二胺、对苯二胺等，作为苯二胺衍生物，为键合有甲基、乙基等烷基的二胺，例如2，4-二氨基甲苯、2，4-三亚苯基二胺(2，4-triphenylenediamine)等。

二氨基联苯化合物为2个氨基苯基以彼此的苯基键合而成的化合物。例如，为4，4’-二氨基联苯、4，4’-二氨基-2，2’-双(三氟甲基)联苯等。

二氨基二苯基化合物为2个氨基苯基中彼此的苯基介由其他基团键合而成的化合物。键为醚键、磺酰键、硫醚键、基于亚烷基或其衍生基团的键、亚氨基键、偶氮键、氧膦(phosphineoxide)键、酰胺键、脲撑(ureylene)键等。亚烷基键是碳原子数为1～6左右的亚烷基键，其衍生基团为亚烷基中的1个以上的氢原子被卤素原子等取代而成的基团。

作为二氨基二苯基化合物的例子，可举出3，3’-二氨基二苯基醚、3，4’-二氨基二苯基醚、4，4’-二氨基二苯基醚、3，3’-二氨基二苯基砜、3，4’-二氨基二苯基砜、4，4’-二氨基二苯基砜、3，3’-二氨基二苯基甲烷、3，4’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯基硫醚、3，3’-二氨基二苯基酮、3，4’-二氨基二苯基酮、2，2-双(对氨基苯基)丙烷、2，2’-双(对氨基苯基)六氟丙烷、4-甲基-2，4-双(对氨基苯基)-1-戊烯、4-甲基-2，4-双(对氨基苯基)-2-戊烯、亚氨基二苯胺、4-甲基-2，4-双(对氨基苯基)戊烷、双(对氨基苯基)氧化膦、4，4’-二氨基偶氮苯、4，4’-二氨基二苯基脲、4，4’-二氨基二苯基酰胺、1，4-双(4-氨基苯氧基)苯、1，3-双(4-氨基苯氧基)苯、1，3-双(3-氨基苯氧基)苯、4，4’-双(4-氨基苯氧基)联苯、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、双[4-(3-氨基苯氧基)苯基]砜、2，2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2，2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]六氟丙烷等。

它们中，从价格、获得的容易性等观点考虑，优选对苯二胺、间苯二胺、2，4-二氨基甲苯、及4，4’-二氨基二苯基醚。

二氨基三苯基化合物为2个氨基苯基与1个亚苯基均介由其他的基团键合而成的化合物，其他的基团可选择与针对二氨基二苯基化合物所述的同样的基团。作为二氨基三苯基化合物的例子，可举出1，3-双(间氨基苯氧基)苯、1，3-双(对氨基苯氧基)苯、1，4-双(对氨基苯氧基)苯等。

作为二氨基萘的例子，可举出1，5-二氨基萘及2，6-二氨基萘。

作为氨基苯基氨基茚满的例子，可举出5-氨基-1-(对氨基苯基)-1，3，3-三甲基茚满或6-氨基-1-(对氨基苯基)-1，3，3-三甲基茚满。

作为二氨基四苯基化合物的例子，可举出4，4’-双(对氨基苯氧基)联苯、2，2’-双[4-(4’-氨基苯氧基)苯基]丙烷、2，2’-双[4-(4’-氨基苯氧基)联苯基]丙烷、2，2’-双[对(间氨基苯氧基)苯基]二苯甲酮等。

关于cardo型芴二胺衍生物，可举出9，9-双苯胺芴等。

脂肪族二胺例如可以是碳原子数为2～15左右的脂肪族二胺，具体而言，可举出五亚甲基二胺、六亚甲基二胺、七亚甲基二胺等。

需要说明的是，也可以为这些二胺的氢原子被选自卤素原子、甲基、甲氧基、氰基、苯基等的组中的至少1种取代基取代而成的化合物。

制造本实施方式中使用的聚酰胺酸的手段没有特别限制，例如，可以使用在有机溶剂中使酸、二胺成分进行反应的方法等已知的方法。

四羧酸二酐与二胺的反应通常在有机溶剂中进行。对于四羧酸二酐与二胺的反应中使用的有机溶剂而言，只要是能够使四羧酸二酐及二胺溶解、且不与四羧酸二酐及二胺反应的有机溶剂即可，没有特别限定。有机溶剂可以单独使用或混合两种以上而使用。

作为四羧酸二酐与二胺的反应中使用的有机溶剂的例子，可举出n-甲基-2-吡咯烷酮、n，n-二甲基乙酰胺、n，n-二乙基乙酰胺、n，n-二甲基甲酰胺、n，n-二乙基甲酰胺、n-甲基己内酰胺、n，n，n’，n’-四甲基脲等含氮极性溶剂；β-丙内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯、γ-己内酯、ε-己内酯等内酯系极性溶剂；二甲基亚砜；乙腈；乳酸乙酯、乳酸丁酯等脂肪酸酯类；二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、二氧杂环己烷、四氢呋喃、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯等醚类；甲酚类等酚系溶剂。这些有机溶剂可以单独使用或混合2种以上而使用。有机溶剂的使用量没有特别限制，但优选使生成的聚酰胺酸的含量为5～50质量％。

这些有机溶剂中，从生成的聚酰胺酸的溶解性的观点考虑，优选n-甲基-2-吡咯烷酮、n，n-二甲基乙酰胺、n，n-二乙基乙酰胺、n，n-二甲基甲酰胺、n，n-二乙基甲酰胺、n-甲基己内酰胺、n，n，n’，n’-四甲基脲等含氮极性溶剂。

聚合温度一般为-10～120℃，优选为5～30℃。聚合时间根据使用的原料组成的不同而不同，但通常为3～24hr(小时)。另外，在这样的条件下得到的聚酰胺酸的有机溶剂溶液的固有粘度优选为1000～10万cp(厘泊)的范围，进一步优选为5000～7万cp的范围。

<聚酰亚胺>

对于本实施方式中使用的聚酰亚胺而言，只要是能够溶解在用于涂布液的有机溶剂中的可溶性聚酰亚胺，则对其结构或分子量没有限定，可以使用已知的聚酰亚胺。关于聚酰亚胺，可以在侧链上具有羧基等能够缩合的官能团或在烧成时能促进交联反应等的官能团。

为了形成可溶于有机溶剂的聚酰亚胺，使用用于在主链上导入柔软的弯曲结构的单体，例如使用乙二胺、六亚甲基二胺、1，4-二氨基环己烷、1，3-二氨基环己烷、4，4’-二氨基二环己基甲烷等脂肪族二胺；2-甲基-1，4-苯二胺、邻联甲苯胺、间联甲苯胺、3，3’-二甲氧基联苯胺、4，4’-二氨基苯甲酰苯胺等芳香族二胺；聚氧乙烯二胺、聚氧丙烯二胺、聚氧丁烯二胺等聚氧化烯二胺；聚硅氧烷二胺；2，3，3’，4’-氧双邻苯二甲酸酐、3，4，3’，4’-氧双邻苯二甲酸酐、2，2-双(4-羟基苯基)丙烷二苯甲酸酯基-3，3’，4，4’-四甲酸二酐等是有效的。另外，使用具有提高在有机溶剂中的溶解性的官能团的单体、例如使用2，2’-双(三氟甲基)-4，4’-二氨基联苯、2-三氟甲基-1，4-苯二胺等氟化二胺也是有效的。此外，除了上述用于提高聚酰亚胺的溶解性的单体以外，还可以在不妨碍溶解性的范围内，并用与上述<聚酰胺酸>栏中记载的单体相同的单体。

对本发明中使用的、制造能够溶解于有机溶剂中的聚酰亚胺的手段没有特别限制，例如可以使用下述已知的方法：针对聚酰胺酸进行化学酰亚胺化或加热酰亚胺化，并使其溶解于有机溶剂中的方法等。作为这样的聚酰亚胺，可举出脂肪族聚酰亚胺(全脂肪族聚酰亚胺)、芳香族聚酰亚胺等，优选芳香族聚酰亚胺。作为芳香族聚酰亚胺，可以为将具有式(1)表示的重复单元的聚酰胺酸经热或化学性闭环反应而获得的物质、或者将具有式(2)表示的重复单元的聚酰亚胺溶解于溶剂中而得到的物质。式中，ar表示芳基。

[化学式1]

[化学式2]

<聚酰胺酰亚胺>

对于本实施方式中使用的聚酰胺酰亚胺而言，只要是能够溶解在用于涂布液的有机溶剂中的可溶性聚酰胺酰亚胺，则对其结构或分子量没有限定，可以使用已知的聚酰胺酰亚胺。关于聚酰胺酰亚胺，可以在侧链上具有羧基等能够缩合的官能团或在烧成时能促进交联反应等的官能团。

本实施方式中使用的聚酰胺酰亚胺可以不受特别限定地使用下述物质：使任意的偏苯三酸酐与二异氰酸酯反应而得到的物质、或者将通过任意的偏苯三酸酐的反应性衍生物与二胺的反应而得到的前体聚合物进行酰亚胺化而得到的物质。

作为上述任意的偏苯三酸酐或其反应性衍生物，可举出例如偏苯三酸酐、偏苯三酸酐氯化物等偏苯三酸酐卤化物、偏苯三酸酐酯等。

作为二异氰酸酯，可举出例如间苯二异氰酸酯、对苯二异氰酸酯、4，4’-氧化双(苯基异氰酸酯)、4，4’-二异氰酸酯二苯基甲烷、双[4-(4-异氰酸酯苯氧基)苯基]砜、2，2’-双[4-(4-异氰酸酯苯氧基)苯基]丙烷等。

作为二胺，可举出与在上述聚酰胺酸的说明中例示的二胺相同的二胺。

<聚酰胺>

作为本实施方式中使用的聚酰胺，优选由二羧酸和二胺得到的聚酰胺，特别优选芳香族聚酰胺。

作为二羧酸，可举出马来酸、富马酸、衣康酸、甲基马来酸、二甲基马来酸、苯基马来酸、氯代马来酸、二氯代马来酸、氟代马来酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、及联苯甲酸等。

作为二胺，可举出与在上述聚酰胺酸的说明中例示的二胺相同的二胺。

<微粒>

本实施方式中使用的微粒可使用例如圆球率高、粒径分布指数小的微粒。这样的微粒在液体中的分散性优异，成为不彼此凝集的状态。作为微粒的粒径(平均直径)，例如，可设定为100～2000nm左右。通过使用如上所述的微粒，能够使通过在后续的工序中除去微粒而得到的多孔性树脂膜f的孔径一致。因此，能够使向利用多孔性树脂膜f形成的隔膜施加的电场均匀。

需要说明的是，作为微粒的材质，只要是在涂布液所含有的溶剂中不溶、且在后续的工序中能够从多孔性树脂膜f中除去的材质，则可以不受特别限定地采用已知的材质。例如，无机材料中，可举出二氧化硅(silica)、氧化钛、氧化铝(al2o3)等金属氧化物。另外，有机材料中，可举出高分子量烯烃(聚丙烯、聚乙烯等)、聚苯乙烯、环氧树脂、纤维素、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚醚等有机高分子微粒。另外，作为微粒的一个例子，可举出(单分散)球形二氧化硅粒子等胶体二氧化硅、碳酸钙等。该情况下，能够使多孔性树脂膜f的孔径更均匀。

另外，对于第一涂布液中包含的微粒和第二涂布液中包含的微粒而言，圆球率、粒径、材料等各种规格可以相同，也可以彼此不同。优选地，第一涂布液中包含的微粒的粒径分布指数比第二涂布液中包含的微粒小或者与之相同。或者，优选地，第一涂布液中包含的微粒的圆球率比第二涂布液中包含的微粒小或者与之相同。另外，优选地，第一涂布液中包含的微粒与第二涂布液中包含的微粒相比微粒的粒径(平均直径)更小，特别优选地，第一涂布液中包含的微粒为100～1000nm(更优选为100～600nm)，第二涂布液中包含的微粒为500～2000nm(更优选为700～2000nm)。通过采用比第二涂布液中包含的微粒的粒径小的粒径作为第一涂布膜中包含的微粒的粒径，能够使多孔性树脂膜f表面的孔的开口比例高且均匀。另外，与使多孔性树脂膜f整体为第一涂布液中包含的微粒的粒径的情况相比，还能够提高膜的强度。

需要说明的是，对于上述涂布液而言，除了包含规定的树脂材料、微粒和溶剂之外，还可以根据需要包含脱模剂、分散剂、缩合剂、酰亚胺化剂、表面活性剂等各种添加剂。

[烧成单元]

在本实施方式中，烧成单元20为对未烧成膜fa进行高温处理的单元。烧成单元20对未烧成膜fa进行烧成，从而形成包含微粒的烧成膜fb。烧成单元20具有腔室21、加热部22和输送部23。腔室21具有将未烧成膜fa输入的输入口20a、和将烧成膜fb输出的输出口20b。腔室21收容加热部22及输送部23。

在烧成单元20的-y侧设置有输入口20a。送出部70针对输入口20a送出未烧成膜fa。送出部70构成为能够在轴承71中安装轴构件sf。轴构件sf能够与安装于涂布单元10的卷绕部60的轴承61中的轴构件sf通用。因此，能够将从卷绕部60卸下的轴构件sf安装于送出部70的轴承71中。通过该构成，能够将利用卷绕部60而形成的卷状体r配置于送出部70。需要说明的是，对于轴承71及卷绕部60的轴承61而言，可以设定为各自距离台面的高度相等，也可以设定在高度不同的位置。

轴构件sf被安装于轴承71时，其以能够绕与x方向平行的轴线旋转的方式而被支承。送出部70具有使安装于轴承71中的轴构件sf旋转的驱动机构(未图示)。通过利用驱动机构使轴构件sf沿图3的顺时针方向旋转，从而使得构成卷状体r的未烧成膜fa朝向输入口20a送出。需要说明的是，由于在上述的卷绕部60中，以未烧成膜fa中的第一涂布膜f1侧的面配置于外侧的方式对未烧成膜fa进行卷绕，因此，在从卷状体r中将未烧成膜fa拉出时，第一涂布膜f1侧将被配置于上方。

加热部22对输入至腔室21内的未烧成膜fa进行加热。加热部22具有在y方向上并列配置的多个加热器22a。作为该加热器22a，可以使用例如红外线加热器等。加热部22以遍及从腔室21的内部的-y侧端部至+y侧端部的范围的方式而配置。加热部22能够在y方向的大致整体范围内对未烧成膜fa进行加热。加热部22可以于120℃～450℃左右对未烧成膜fa进行加热。利用加热部22进行加热的加热温度根据未烧成膜fa的输送速度或未烧成膜fa的构成成分等来进行适当调节。

输送部23具有输送带23a、驱动辊23b、从动辊23c和张力辊23d、23e。输送带23a形成为无端状，且沿y方向配置。输送带23a是使用对未烧成膜fa的烧成温度具有耐久性的材料而形成的。输送带23a在具有张力的状态下以与xy平面大致平行的方式架设于驱动辊23b与从动辊23c之间。将未烧成膜fa及烧成膜fb以载置于输送带23a上的状态沿+y方向输送。

驱动辊23b被配置于腔室21的内部的+y侧端部。驱动辊23b例如形成为圆筒状，与x方向平行地配置。在驱动辊23b中设置有例如马达(motor)等旋转驱动装置。驱动辊23b设置为：通过该旋转驱动装置，能够绕与x方向平行的轴线旋转。驱动辊23b旋转，从而使得输送带23a沿图1的顺时针方向旋转。输送带23a旋转，从而将载置于输送带23a上的未烧成膜fa及烧成膜fb沿+y方向输送。

从动辊23c被配置于腔室21的内部的-y侧端部。从动辊23c例如形成为圆筒状，与x方向平行地配置。从动辊23c以与驱动辊23b相同的直径而形成，以z方向上的位置(高度位置)与驱动辊23b大致相等的方式配置。从动辊23c设置为能够绕与x方向平行的轴线旋转。从动辊23c追随输送带23a的旋转而旋转。

张力辊23d被配置于从动辊23c的+z侧。张力辊23d与x方向平行地配置，且设置为能够绕x轴旋转。张力辊23d设置为能够沿z方向进行上下移动。张力辊23d能够在其与从动辊23c之间夹住未烧成膜fa。张力辊23d能够以夹持未烧成膜fa的状态而旋转。

张力辊23e被配置于驱动辊23b的+z侧。张力辊23e与x方向平行地配置，且设置为能够绕x轴旋转。张力辊23e设置为能够沿z方向进行上下移动。张力辊23e能够在其与驱动辊23b之间夹住烧成膜fb。张力辊23e能够以夹持烧成膜fb的状态而旋转。

通过形成为张力辊23d、23e在各自与从动辊23c及驱动辊23b之间分别夹住未烧成膜fa及烧成膜fb的状态，从而在不间断的未烧成膜fa及烧成膜fb中的被夹住的2个位置之间的部分中，来自外部的张力将被削弱。通过该动作，能够防止对未烧成膜fa及烧成膜fb施加过度的负荷。可以对张力辊23d、23e进行调节以使得不向配置于腔室21内的未烧成膜fa及烧成膜fb施加张力。

需要说明的是，上述的烧成单元20的构成为一例，并不限定于该构成。例如，作为烧成单元20，也可以为未用输送带23a输送未烧成膜fa及烧成膜fb的形态。就没有输送带23a的烧成单元20而言，可以为例如下述构成：在腔室21内，于未烧成膜fa及烧成膜fb的下表面侧配置有多个辊(或棒状体)。

[除去单元]

除去单元30具有腔室31、浸蚀部32、清洗部33、排液部34、和输送部35。腔室31具有将烧成膜fb输入的输入口30a、和将多孔性树脂膜f输出的输出口30b。腔室31收容浸蚀部32、清洗部33、排液部34及输送部35。

浸蚀部32对烧成膜fb进行浸蚀，将烧成膜fb中包含的微粒除去，形成多孔性树脂膜f。浸蚀部32中，通过将烧成膜fb浸渍于能够将微粒溶解或分解的第一浸蚀液q1中，从而除去微粒。浸蚀部32中设置有供给这样的第一浸蚀液q1的供给部(未图示)、及能够贮存第一浸蚀液q1的贮存部。浸蚀部32的内部和清洗部33的内部中包含的液体不同，因此，可以在从浸蚀部32输出的近前的位置设置后述的吸水辊。吸水辊被配置于相对于多孔性树脂膜f而言的+z侧及-z侧中的至少一者，优选被配置于两者。

清洗部33对浸蚀后的多孔性树脂膜f进行清洗。清洗部33被配置于浸蚀部32的+y侧(多孔性树脂膜f的输送方向的前方)。清洗部33具有供给清洗液的供给部(未图示)。另外，还可以具有对清洗多孔性树脂膜f后的废液进行回收的回收部(未图示)等。

排液部34将附着于清洗后的多孔性树脂膜f上的液体除去。可以进行预干燥等。排液部34被配置于清洗部33的+y侧(多孔性树脂膜f的输送方向的前方)。排液部34中设置有吸水辊等。通过使吸水辊与多孔性树脂膜f接触，从而能够一边输送多孔性树脂膜f，一边吸收附着于多孔性树脂膜f上的液体。就吸水辊相对于输送方向的配置而言，只要在从排液部34输出的近前即可，没有特别限制。另外，吸水辊被配置于相对于多孔性树脂膜f而言的+z侧及-z侧中的至少一者，优选被配置于两者。

输送部35经过浸蚀部32、清洗部33及排液部34而输送烧成膜fb及多孔性树脂膜f。输送部35具有多个输送辊35a。输送辊35a对烧成膜fb及多孔性树脂膜f进行支承并能够旋转。

需要说明的是，对于除去单元30而言，并不限定于通过浸蚀而将微粒除去的情况。例如，使用与聚酰亚胺相比能在更低的温度下分解的有机材料作为微粒的材质的情况下，可以通过对烧成膜fb进行加热从而使微粒分解。作为这样的有机材料，只要是与聚酰亚胺相比能在更低的温度下分解的有机材料，则可不受特别限定地使用。例如，可举出由线性聚合物或已知的解聚性聚合物形成的树脂微粒。通常的线性聚合物在热分解时聚合物的分子链会被随机地切断，解聚性聚合物是在热分解时聚合物分解成单体的聚合物。两者均通过分解至成为低分子量体或co2而从烧成膜fb中消失。该情况下的微粒的分解温度优选为200～320℃，更优选为230～260℃。若分解温度为200℃以上，则即使在涂布液中使用了高沸点溶剂的情况下也能够进行成膜，烧成单元20中的烧成条件的选择范围变宽。另外，若分解温度低于320℃，则能够在不对烧成膜fb造成热损伤的情况下仅使微粒消失。通过加热来除去微粒的情况下，除去单元30可以使用上述的烧成单元20。即，可以使用烧成单元20一边进行未烧成膜fa的加热一边将微粒从该未烧成膜fa中的除去。

[预湿单元]

回到图1，制造系统sys1中，预湿单元u2被设置于膜形成单元u1的后段侧。预湿单元u2向利用膜形成单元u1形成的多孔性树脂膜f供给预湿液。预湿液使用不溶解多孔性树脂膜f的液体。图4为示出预湿单元u2的一例的图。如图4所示，预湿单元u2具有贮存部41、循环部42、和输送部43。贮存部41中贮存用于浸渍多孔性树脂膜f的预湿液pw。

预湿液pw使用不溶解多孔性树脂膜f的材料。预湿液pw具有与后述的化学浸蚀单元u3中使用的第二浸蚀液q2的亲和性。另外，预湿液具有与多孔性树脂膜f的亲和性。预湿液pw包含1％至100％的例如异丙醇、乙醇、正丙醇、甲醇等醇。考虑到多孔性树脂膜f的制造成本，预湿液pw优选为在水中包含1～50％醇的醇水溶液。此外，考虑到从预湿单元u2的带出，预湿液pw进一步优选包含5％～30％的醇。预湿液pw可以包含表面活性剂。另外，预湿液可以包含例如乙二醇等二醇系物质。

循环部42将贮存部41的预湿液pw回收，并使经回收的预湿液pw返回至贮存部41中。循环部42具有第一配管42a、泵42b、和第二配管42c。第一配管42a的一端与贮存部41的底部连接，另一端与泵42b的输入侧连接。第二配管42c的一端与贮存部41的侧壁的上部连接，另一端与泵42b的输出侧连接。对于循环部42而言，通过对泵42b进行驱动，从而从贮存部41的底部将预湿液pw抽吸至第一配管42a，并经由泵42b及第二配管42c从侧壁的上部供给至贮存部41。

需要说明的是，第一配管42a的一部分中，可以设置将从贮存部41的底部抽吸的预湿液pw中的杂质除去的过滤器。另外，可以设置检测贮存部41内的预湿液pw的液面高度的传感器(未图示)，也可以监视该传感器的输出，当预湿液pw的液面高度低于预先设定的基准值时，使用供给装置(未图示)向贮存部41供给新的预湿液pw。另外，可以设置检测贮存部41内的预湿液pw的浓度的传感器(未图示)，也可以监视该传感器的输出，当预湿液pw的浓度低于预先设定的基准值时，使用调节装置(未图示)对贮存部41内的预湿液pw的浓度进行调节。

输送部43将从膜形成单元u1送出的多孔性树脂膜f依次引入，并使多孔性树脂膜f不经卷绕地浸渍于贮存部41的预湿液pw中。另外，输送部43使浸渍于贮存部41的预湿液pw中的多孔性树脂膜f不经卷绕地输送至化学浸蚀单元u3。输送部43具有输入辊43a、43b、浸渍辊43c、和输出辊43d、43e。输入辊43a支承输送至预湿单元u2中的多孔性树脂膜f而沿+y方向导引。输入辊43b将从输入辊43a导引的多孔性树脂膜f向-z侧弯折而向浸渍辊43c侧导引。

浸渍辊43c以至少一部分浸渍于预湿液pw中的状态配置。浸渍辊43c在-z侧的端部处支承从输入辊43b导引至-z侧的多孔性树脂膜f，并将其向+z侧弯折而向输出辊43d侧导引。多孔性树脂膜f通过被浸渍辊43c的-z侧端部导引，从而成为浸渍于预湿液pw中的状态。输出辊43d将从浸渍辊43c导引的多孔性树脂膜f向+y侧弯折而向输出辊43e侧导引。输出辊43e将从输出辊43d导引的多孔性树脂膜f输送至+y侧、即预湿单元u2的外部的化学浸蚀单元u3。

在预湿液pw中的浸渍时间可以通过多孔性树脂膜f在预湿液pw中移动的距离或速度进行调节。例如，在要延长在预湿液pw中的浸渍时间的情况下，使多孔性树脂膜f的输送速度变慢，或者使多孔性树脂膜f在预湿液pw中长距离移动。在使多孔性树脂膜f在预湿液pw中长距离移动的情况下，可以使用在输送方向上长的贮存部41，也可以在贮存部41内使多个浸渍辊43c以改变上下方向的高度的方式配置，使多孔性树脂膜f在预湿液pw中上下地弯曲，由此延长从预湿液pw中通过的距离。

如图1所示，就制造系统sys1而言，在经过膜形成单元u1、预湿单元u2及化学浸蚀单元u3到达卷绕单元u4为止的区间，以所谓的卷对卷方式进行处理。因此，在该区间内，未烧成膜fa、烧成膜fb及多孔性树脂膜f的各膜以不间断的状态被输送。需要说明的是，并不限定于基于卷对卷方式的处理。例如，可以为下述构成：将从膜形成单元u1送出的多孔性树脂膜f卷绕为卷状体，并将该卷状体输送至预湿单元u2，通过输送部43，依次从卷状体中拉出多孔性树脂膜f，并将其输送至预湿单元u2。另外，可以将从预湿单元u2送出的多孔性树脂膜f卷绕为卷状体，并将该卷状体输送至化学浸蚀单元u3。

[化学浸蚀单元]

回到图1，在制造系统sys1中，化学浸蚀单元u3被设置于预湿单元u2的后段侧(+y侧)。另外，在化学浸蚀单元u3的+y侧(多孔性树脂膜f的输送方向的前方)，设置将多孔性树脂膜f卷绕为卷状的卷绕单元u4。化学浸蚀单元u3使用与第一浸蚀液不同的第二浸蚀液，将多孔性树脂膜f的一部分溶解。图5为表示化学浸蚀单元u3的一例的图。如图5所示，化学浸蚀单元u3具有化学浸蚀部51、清洗部52、和输送部53。

化学浸蚀部51使用第二浸蚀液q2对多孔性树脂膜f进行化学浸蚀，将多孔性树脂膜f的一部分溶解。化学浸蚀部51具有贮存槽51a。贮存槽51a中贮存有第二浸蚀液q2。第二浸蚀液q2为含有四甲基氢氧化铵的水系液体。第二浸蚀液q2包含低于25％的四甲基氢氧化铵。贮存槽51a具有将第二浸蚀液q2排出的排出部51b。排出部51b与例如下水道连接。本实施方式中，第二浸蚀液q2中基本不含预湿液pw，因此，能够抑制第二浸蚀液q2的bod(生化需氧量(biochemicaloxygendemand))值变高。因此，能够将第二浸蚀液q2的废液向下水道排出，可减轻废液处理的负担。需要说明的是，第二浸蚀液q2中，可以以成为能够向下水道排出废液的bod值的范围混合有上述的预湿液pw。

清洗部52对化学浸蚀后的多孔性树脂膜f进行清洗。清洗部52被配置于化学浸蚀部51的+y侧(多孔性树脂膜f的输送方向的前方)。清洗部52具有供给清洗液的供给部52a、和对清洗多孔性树脂膜f后的废液进行回收的废液回收槽52b。废液回收槽52b具有排出部52c。排出部52c与例如下水道连接。另外，与化学浸蚀部51同样地，清洗部52中也基本不含预湿液pw，因此，能够将清洗部52的废液向下水道排出，可减轻废液处理的负担。如此，就向多孔性树脂膜f供给预湿液pw的优点而言，不仅具有降低来自化学浸蚀部51的废液的bod的效果，而且还具有降低来自清洗部52的废液的bod的效果。本实施方式中，通过在预湿单元u2中采用预湿，从而不在第二浸蚀液q2中混合甲醇等而使用，因此，作为第二浸蚀液q2，与未进行预湿的以往工艺相比，能够大幅降低bod。此外，也能够减少从化学浸蚀部51向清洗部52带入的bod量，能够减少清洗部52的废液的bod。

输送部53将从预湿单元u2送出的多孔性树脂膜f依次引入，使多孔性树脂膜f不经卷绕地浸渍于化学浸蚀部51的第二浸蚀液q2中。另外，输送部53将在化学浸蚀部51中浸渍于第二浸蚀液q2后的多孔性树脂膜f输送至清洗部52，并输出清洗后的多孔性树脂膜f。输送部53具有输入辊53a、浸渍辊53b、53c、中继辊53d、53e、清洗辊53f、53g、和输出辊53h。输入辊53a将输送至化学浸蚀单元u3的多孔性树脂膜f向-z侧弯折而向浸渍辊53b侧导引。

浸渍辊53b、53c以至少一部分浸渍于第二浸蚀液q2中的状态配置。浸渍辊53c在-z侧的端部处支承从输入辊53a导引至-z侧的多孔性树脂膜f，并将其向+y侧导引。浸渍辊53c将从浸渍辊53b导引的多孔性树脂膜f向+z侧弯折而向中继辊53d侧导引。多孔性树脂膜f通过被浸渍辊53b、53c的-z侧端部导引，从而成为浸渍于第二浸蚀液q2中的状态。需要说明的是，预湿单元u2中使多孔性树脂膜f浸渍于预湿液pw的距离(或时间)短于使多孔性树脂膜f浸渍于第二浸蚀液q2的距离(或时间)。

中继辊53d、53e将多孔性树脂膜f在化学浸蚀部51与清洗部52之间输送。中继辊53d将从浸渍辊53c导引至+z侧的多孔性树脂膜f向+y侧弯折而向中继辊53e侧导引。中继辊53e将从中继辊53d导引至+y侧的多孔性树脂膜f向-z侧弯折而向清洗辊53f侧导引。需要说明的是，由于化学浸蚀部51的内部和清洗部52的内部中包含的液体不同，因此，可以设置吸水辊作为中继辊53d、53e中的至少一者。吸水辊被配置于相对于多孔性树脂膜f而言的+z侧及-z侧中的至少一者，优选被配置于两者。

清洗辊53f、53g被配置于废液回收槽52b的内部。清洗辊53f在清洗部52中支承从供给部52a接受清洗液的供给的多孔性树脂膜f而输送。清洗辊53f在-z侧的端部处支承从中继辊53d导引至+y侧的多孔性树脂膜f，并将其向+y侧弯折而向清洗辊53g侧导引。清洗辊53g将从清洗辊53f导引的多孔性树脂膜f向+z侧弯折而向输出辊53h侧导引。输出辊53h将从清洗辊53g导引至+z侧的多孔性树脂膜f向+y方向弯折而从化学浸蚀单元u3输出。

[卷绕单元]

如图1所示，卷绕单元u4被配置于相对于化学浸蚀单元u3而言的多孔性树脂膜f的输送方向的下游侧。卷绕单元u4为与上述的卷绕部60同样的构成，构成为使轴构件sf安装于轴承br。轴构件sf将从化学浸蚀单元u3输出的多孔性树脂膜f卷绕而形成卷状体rf。轴构件sf设置为能够相对于轴承br进行装卸。轴构件sf被安装于轴承br时，其以能够绕与x方向平行的轴线旋转的方式而被支承。卷绕单元u4具有使安装于轴承br中的轴构件sf旋转的驱动机构(未图示)。通过利用驱动机构使轴构件sf旋转，从而使得多孔性树脂膜f被卷绕。通过以形成了卷状体rf的状态将轴构件sf从轴承br卸下，从而能够回收卷状体rf。

[制造方法]

接下来，对使用以上述方式构成的制造系统sys1来制造多孔性树脂膜f的动作的一个例子进行说明。图6(a)～(e)为示出膜形成单元u1中的多孔性树脂膜f的制造过程的一个例子的图。首先，在膜形成单元u1中利用涂布单元10形成未烧成膜fa。在涂布单元10中，使基材送出辊11a旋转而送出输送基材s，将输送基材s搭挂于支承辊11b～11d后，利用基材卷绕辊11e进行卷绕。然后，从基材送出辊11a开始依次送出输送基材s，同时利用基材卷绕辊11e进行卷绕。

在该状态下，将第一喷嘴12配置于喷出位置p1，使喷出口12a朝向+y方向。利用该动作，使喷出口12a朝向输送基材s中被支承辊11b支承的部分。然后，使第一涂布液从喷出口12a喷出。使第一涂布液从喷出口12a朝向+y方向喷出，到达输送基材s后，伴随输送基材s的移动而涂布于输送基材s上。结果，在输送基材s上形成由第一涂布液形成的第一涂布膜f1(参见图3)。

接着，将第二喷嘴13配置于喷出位置p2，使喷出口13a朝向-z方向。利用该动作，使喷出口13a朝向输送基材s中被支承辊11c支承的部分。然后，使第二涂布液从喷出口13a喷出。使第二涂布液从喷出口13a朝向-z方向喷出，到达形成于输送基材s上的第一涂布膜f1上后，伴随输送基材s的移动而涂布于第一涂布膜f1上。结果，如图6(a)所示，在第一涂布膜f1上形成由第二涂布液形成的第二涂布膜f2。需要说明的是，在第一涂布膜f1及第二涂布膜f2中，树脂材料a1中以彼此不同的体积比含有微粒a2。需要说明的是，就微粒的含有率而言，设定为第一涂布膜f1大于第二涂布膜f2。

需要说明的是，由于在使喷出口12a、13a朝向输送基材s中被支承辊11b、11c支承的部分的状态下涂布第一涂布液及第二涂布液，因此，在第一涂布液及第二涂布液到达输送基材s时，作用于输送基材s的力由支承辊11b、11c承受。因此，能够抑制输送基材s发生挠曲及振动等，能够在输送基材s上以均匀的厚度稳定地形成第一涂布膜f1及第二涂布膜f2。

接着，输送基材s移动而将第一涂布膜f1及第二涂布膜f2的层叠部分输入至干燥部14的腔室14a内时，在干燥部14中进行第一涂布膜f1及第二涂布膜f2的干燥。干燥部14中，使用加热部14b，以例如50℃～100℃左右的温度对第一涂布膜f1及第二涂布膜f2进行加热。若为该温度范围，则能够在输送基材s中不产生翘曲及变形等的情况下对第一涂布膜f1及第二涂布膜f2进行加热。通过对第一涂布膜f1及第二涂布膜f2的层叠体进行干燥，从而如图6(b)所示那样形成了未烧成膜fa。

需要说明的是，本实施方式中，所谓层叠体，是指包含第一涂布膜f1及第二涂布膜f2的未烧成膜。形成本实施方式涉及的多孔性酰亚胺系树脂膜时，在第一涂布液及第二涂布液中分别使用聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺中的同种树脂的情况下，包含所形成的上述第一涂布膜f1及上述第二涂布膜f2的未烧成膜(或多孔性酰亚胺系树脂膜)虽然实质上为1层，但是由于形成了微粒含有率不同的未烧成膜(或具有孔隙率不同的区域的多孔性酰亚胺系树脂膜)，因此在本实施方式中，将包括第一涂布液及第二涂布液中使用了同种树脂的情况在内的情况均称为层叠体。

接着，输送基材s移动，未烧成膜fa的前端部分到达支承辊11d(剥离部15)时，通过例如操作者的手工操作，将该前端部分从输送基材s剥离。本实施方式中，由于作为输送基材s的材料使用的是例如pet，因此在使第一涂布膜f1及第二涂布膜f2干燥而形成未烧成膜fa时，变得容易从输送基材s剥离，因而操作者能够容易地进行剥离。

将未烧成膜fa的前端部分剥离后，输送基材s继续移动，利用第一喷嘴12形成第一涂布膜f1。另外，继续利用第二喷嘴13形成第二涂布膜f2，并利用干燥部14形成未烧成膜fa。结果，以带状形成未烧成膜fa，从干燥部14向+y侧输出的未烧成膜fa的长度逐渐变长。操作者在剥离部15中持续对未烧成膜fa进行剥离。然后，被剥离的未烧成膜fa的前端变为到达卷绕部60的轴构件sf的长度时，操作者通过手工操作而将未烧成膜fa搭挂于输出辊11f，同时将未烧成膜fa的前端部分安装至轴构件sf。然后，随着未烧成膜fa依次形成并被剥离，在卷绕部60中使轴构件sf旋转。利用该动作，将剥离的未烧成膜fa依次从涂布单元10中输出，并利用卷绕部60的轴构件sf进行卷绕而形成卷状体r。如图6(c)所示，构成卷状体r的未烧成膜fa为从输送基材s剥离的状态，表面及背面同时露出。

需要说明的是，对于将未烧成膜fa的前端部分剥离的操作、及将剥离的前端部分安装至轴构件sf的操作等而言，并不限于操作者通过手工操作而进行的方式，例如也可使用机械手等自动地进行。另外，为了提高未烧成膜fa的剥离性，也可以预先在输送基材s的表面形成脱模层。

将规定的长度的未烧成膜fa卷绕在轴构件sf上后，将未烧成膜fa切断，同时将轴构件sf连同卷状体r一起从轴承61卸下。然后，将新的轴构件sf安装于卷绕部60的轴承61，将未烧成膜fa的切取端部安装至该轴构件sf并使其旋转，继续形成未烧成膜fa，由此能够制作新的卷状体r。

另一方面，例如操作者将从轴承61中连同卷状体r一起卸下的轴构件sf输送至卷绕部60，并安装于轴承61。该轴构件sf的输送动作及安装动作也可以使用机械手或输送装置等自动地进行。将轴构件sf安装于轴承61后，通过使轴构件sf旋转而将未烧成膜fa从卷状体r中依次拉出，并将未烧成膜fa输入至烧成单元20的腔室21内。需要说明的是，在将未烧成膜fa的前端输入至腔室21时，可以通过操作者手工操作而进行，也可以使用机械手等自动地进行。

将输入至腔室21内的未烧成膜fa载置于输送带23a上，随着输送带23a的旋转而向+y方向输送。需要说明的是，可以使用张力辊23d、23e对输送方向上的张力进行调节。然后，在输送未烧成膜fa的同时使用加热部22对未烧成膜fa进行烧成。

烧成时的温度根据未烧成膜fa的结构的不同而不同，优选为120℃～375℃左右，更优选为150℃～350℃。另外，在微粒中包含有机材料的情况下，必须设定为比其热分解温度更低的温度。需要说明的是，在涂布液包含聚酰胺酸的情况下，优选在该烧成中使其完成亚胺化，但未烧成膜fa由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰胺构成、利用烧成单元20对未烧成膜fa进行高温处理的情况不在此范围。

另外，对于烧成条件而言，例如，在涂布液包含聚酰胺酸及/或聚酰亚胺的情况下，可以采用经3小时从室温升温至375℃后、于375℃保持20分钟的方法，或者可以进行如下所述的阶段性加热：以50℃的幅度从室温阶段性地升温至375℃(各步骤保持20分钟)，最终于375℃保持20分钟等。另外，也可以将未烧成膜fa的端部固定于sus制的模板等中从而防止变形。

通过这样的烧成，从而如图6(d)所示那样形成了烧成膜fb。在烧成膜fb中，在经酰亚胺化或高温处理的树脂层a3的内部包含微粒a2。烧成膜fb的膜厚可以通过用例如测微计等测定多个位置的厚度并取平均值而求得。作为优选的平均膜厚，在用于隔膜等的情况下，优选为3μm～500μm，更优选为5μm～100μm，进一步优选为10μm～30μm。

对于在烧成单元20中形成的烧成膜fb，若从烧成单元20中输出，则将其不经卷绕地输入至除去单元30。需要说明的是，在将烧成膜fb的前端部分输入至除去单元30时，可以通过操作者手工操作而进行，也可以使用机械手等自动地进行。

将输入至除去单元30的烧成膜fb载置于输送辊35a上，随着输送辊35a的旋转而向+y方向输送。在除去单元30中，随着烧成膜fb的输送，首先在浸蚀部32中进行微粒a2的除去。作为微粒a2的材质使用例如二氧化硅的情况下，在浸蚀部32中将烧成膜fb浸渍于低浓度的氟化氢水溶液等浸蚀液中。结果，微粒a2溶解于浸蚀液中而被除去，如图6(e)所示，形成在树脂层a3的内部含有多孔部a4的多孔性树脂膜f。

然后，通过输送辊35a的旋转，从而使得多孔性树脂膜f依次向清洗部33及排液部34中输入。清洗部33中，使用清洗液来清洗多孔性树脂膜f。另外，排液部34中，进行多孔性树脂膜f的排液，除去清洗液。然后，多孔性树脂膜f从除去单元30输出，即从膜形成单元u1输出，向预湿单元u2输入。

利用输入辊43a，将被输入至预湿单元u2的多孔性树脂膜f向+y方向输送，利用输入辊43b将其向-z侧弯折而架设于浸渍辊43c的-z侧端部。通过该构成，多孔性树脂膜f浸渍于贮存部41的预湿液pw中，在该状态下搭挂于浸渍辊43c的-z侧而输送。图7为示出预湿单元u2中的预湿处理的一例的图。如图7所示，在浸渍于预湿液pw中的多孔性树脂膜f中，预湿液pw渗入树脂层a3的多孔部a4。另外，对于循环部42而言，对泵42b进行驱动，将预湿液pw从贮存部41的底部向第一配管42a排出，并经由泵42b及第二配管42c而从侧壁的上部向贮存部41供给，由此使预湿液pw循环。通过该构成，预湿液pw流动，促进向多孔部a4的渗入。

多孔性树脂膜f被输送部43的浸渍辊43c输送，由此从预湿液pw中拉出。从预湿液pw中拉出的多孔性树脂膜f被输出辊43d弯折，向+y侧输送。结果，多孔性树脂膜f从预湿单元u2中输出，向化学浸蚀单元u3输入。

利用输入辊53a，将被输入至化学浸蚀单元u3的多孔性树脂膜f向+y方向输送，并将其架设于浸渍辊53b、53c的-z侧端部。多孔性树脂膜f在从浸渍辊53b向浸渍辊53c移动的期间浸渍于贮存槽51a内的第二浸蚀液q2中。结果，对多孔性树脂膜f进行了化学浸蚀处理。

图8(a)及(b)为示出化学浸蚀单元u3中的化学浸蚀处理的一例的图。化学浸蚀处理中，如图8(a)所示，第二浸蚀液q2以被预湿液pw吸引的方式向多孔性树脂膜f的多孔部a4的内部渗入。通过第二浸蚀液q2向多孔部a4的内部渗入，从而多孔部a4的内部被除去。结果，如图8(b)所示，就多孔性树脂膜f而言，多孔部a4的毛边被除去，并且连通性得以确保。

然后，多孔性树脂膜f经由中继辊53d、53e向清洗部52输送，架设于清洗辊53f、53g的-z侧端部。多孔性树脂膜f在从清洗辊53f向清洗辊53g移动的期间，被从供给部52a供给的清洗液清洗。利用输出辊53h，将清洗后的多孔性树脂膜f向+y侧输送，从化学浸蚀单元u3中输出。利用卷绕单元u4将从化学浸蚀单元u3输出的多孔性树脂膜f卷绕。

如上所述，本实施方式涉及的制造系统sys1具备向利用膜形成单元u1形成的多孔性树脂膜f供给不溶解多孔性树脂膜f的预湿液pw的预湿单元u2，因此，通过对多孔性树脂膜f供给预湿液pw，从而能够使预湿液pw附着或渗透至多孔部a4。通过在该状态下对多孔性树脂膜f进行化学浸蚀处理，从而第二浸蚀液q2以被预湿液pw吸引的方式渗入多孔部a4。因此，能够将第二浸蚀液q2可靠地供给至多孔部a4内。结果，能够合适地对多孔性树脂膜f内进行化学浸蚀处理，有效地制造高品质的酰亚胺系多孔性树脂膜f。另外，由于利用预湿单元u2(其为不同于化学浸蚀单元u3的单元)向多孔性树脂膜f供给预湿液pw，因此无需在化学浸蚀单元u3中使预湿液pw与第二浸蚀液q2混合。因此，能够抑制第二浸蚀液q2的废液的bod值，能够将废液排出至下水道。结果，能够减轻多孔性树脂膜f的制造过程中的废液处理的负担。

[变形例]

上述实施方式中，举出了从膜形成单元u1输出的多孔性树脂膜f不经卷绕地输入至预湿单元u2的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。图9为示出变形例涉及的制造系统sys2的一例的图。如图9所示，制造系统sys2可以在膜形成单元u1与预湿单元u2之间设置将多孔性树脂膜f卷绕的卷绕部80、和将经卷绕部80卷绕的多孔性树脂膜f送出的送出部90。

卷绕部80为与上述实施方式中的卷绕部60同样的构成，构成为在轴承81中安装有轴构件sf。轴构件sf将从膜形成单元u1输出的多孔性树脂膜f卷绕而形成卷状体rfa。轴构件sf设置为能够相对于轴承81进行装卸。卷绕部80具有使安装于轴承81中的轴构件sf旋转的驱动机构(未图示)。

另外，送出部90为与上述实施方式中的送出部70同样的构成，构成为能够在轴承91中安装轴构件sf。轴构件sf能够与安装于卷绕部80的轴承81中的轴构件sf通用。因此，能够将从卷绕部80卸下的轴构件sf安装于送出部90的轴承91。结果，能够将利用卷绕部80形成的卷状体rfa配置于送出部90。

图10为示出变形例涉及的制造系统sys3的一例的图。如图10所示，制造系统sys3可以具有将利用膜形成单元u1形成的多孔性树脂膜f卷绕的卷绕部80，并具有能够使经卷绕部80卷绕的多孔性树脂膜f的卷状体rfa浸渍于预湿液pw中的预湿单元u2a。另外，制造系统sys3可以具有将浸渍于预湿液pw中之后的卷状体rfa送出至化学浸蚀单元u3的送出部90。

图11为示出变形例涉及的制造系统sys4的一例的图。如图11所示，制造系统sys4中，膜形成单元u1可以在烧成单元20与除去单元30之间具有将烧成膜fb卷绕的卷绕部82，并具有使经卷绕部82卷绕的烧成膜fb的卷状体rfb浸渍于第一浸蚀液q1中的除去单元30b。通过该构成，从烧成膜fb中除去微粒，烧成膜fb成为多孔性树脂膜f，形成将多孔性树脂膜f卷绕而得到的卷状体rfa。该情况下，可以使形成的卷状体rfa直接在卷绕的状态下浸渍于例如图10所示的制造系统sys3的预湿单元u2a中。

图12为示出变形例涉及的制造系统sys5的一例的图。如图12所示，制造系统sys5可以在预湿单元u2与化学浸蚀单元u3之间设置将多孔性树脂膜f卷绕的卷绕部85、和将经卷绕部85卷绕的多孔性树脂膜f送出的送出部95。卷绕部85为与上述实施方式中的卷绕部60、80同样的构成，构成为在轴承86中安装轴构件sf。轴构件sf将从预湿单元u2输出的多孔性树脂膜f卷绕而形成卷状体rfc。另外，送出部95为与上述实施方式中的送出部90同样的构成，构成为能够在轴承96中安装轴构件sf。

卷绕部85与送出部95之间使用共通的轴构件sf。因此，能够将从卷绕部85的轴承86卸下的轴构件sf安装于送出部95的轴承96。结果，能够将利用卷绕部85形成的卷状体rfc配置于送出部95。

另外，上述实施方式中，举出预湿单元u2在贮存部41中贮存预湿液pw而浸渍多孔性树脂膜f的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。图13为示出变形例涉及的预湿单元u2b的一例的图。如图13所示，预湿单元u2b可以为具有将预湿液pw喷出或喷雾至利用膜形成单元u1形成的多孔性树脂膜f的供给部45的构成。在图13所示的例子中，供给部45具有预湿液pw的供给源45a、和将从供给源45a供给的预湿液pw喷出或喷雾的喷嘴45b。喷嘴45b可以在输送方向(y方向)上设置多个。

预湿单元u2b具有将供给至多孔性树脂膜f的预湿液pw回收的回收槽46。回收槽46具有将经回收的预湿液pw排出的排出部46a。排出部46a可以与例如循环部42连接。循环部42可以为使从排出部46a排出的预湿液pw返回至供给部45的供给源45a的构成。预湿单元u2b具有输送部47。输送部47将从膜形成单元u1送出的多孔性树脂膜f依次引入，并使多孔性树脂膜f不经卷绕地移动至供给部45的喷嘴45b的下方。输送部47具有输入辊47a、供给辊47b、47c、和输出辊47d。

输入辊47a将输送至预湿单元u2b的多孔性树脂膜f向-z侧弯折而向供给辊47b侧导引。供给辊47b、47c被配置于回收槽46内。供给辊47b在-z侧的端部处支承从输入辊47a导引至-z侧的多孔性树脂膜f，并将其向+y侧导引。供给辊47c将从供给辊47b导引的多孔性树脂膜f向+z侧弯折而向输出辊47d侧输送。多孔性树脂膜f通过被供给辊47b、47c的-z侧端部导引，从而成为接受从喷嘴45b供给的预湿液pw的状态。

另外，上述实施方式中，举出了在制造系统sys1～sys5中利用卷绕单元u4将从化学浸蚀单元u3输出的多孔性树脂膜f卷绕的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。图14为示出变形例涉及的制造系统sys6的一例的图。如图14所示，制造系统sys6可以在化学浸蚀单元u3的后段且卷绕单元u4的前段设置针对从化学浸蚀单元u3输出的多孔性树脂膜f进行后处理的后处理装置(s1、s2、s3)。图14所示的制造系统sys6中设置有干燥装置s1、加热装置s2、和检查装置s3作为后处理装置。

干燥装置s1具有向多孔性树脂膜f喷出空气的空气喷出部49a。

空气喷出部49a可以在例如多孔性树脂膜f的输送方向及与输送方向正交的方向上设置多个。对于干燥装置s1而言，通过从空气喷出部49a向多孔性树脂膜f喷出空气，从而能够将附着于多孔性树脂膜f的清洗水等液体除去。需要说明的是，也可以不设置干燥装置s1。

加热装置s2具有腔室49b及加热器49c。对于加热装置s2而言，通过利用加热器49c对被输入至腔室49b内的多孔性树脂膜f进行加热，从而能够使多孔性树脂膜f更可靠地干燥。另外，就多孔性树脂膜f而言，也存在下述情况：即使有未烧成部分残留时，也可通过该加热装置s2的加热而被烧成。需要说明的是，也可以不设置加热装置s2。

检查装置s3具有膜厚检查装置49d及图像检查装置49e。膜厚检查装置49d对干燥后的多孔性树脂膜f的膜厚进行检查。图像检查装置49e对干燥后的多孔性树脂膜f的表面状态进行检查。膜厚检查装置49d及图像检查装置49e通过输出检查结果，从而可以向操作员等报告多孔性树脂膜f中膜厚异常的情况、或者因破损等而存在表面异常的情况等，也可以向有异常的卷状体赋予有异常等的辨别标签。另外，除上述的后处理装置外，作为其他后处理装置，可举出例如对多孔性树脂膜f进行除电处理的防静电装置等。防静电单元中，可搭载例如离子化装置(ionizer)等除电装置。

[隔膜]

接着，对本实施方式涉及的隔膜100进行说明。图15为示出锂离子电池200的一例的示意图，其示出了一部分被切开的状态。如图15所示，锂离子电池200具有兼具正极端子的金属壳体201、和负极端子202。在金属壳体201的内部设置有正极201a、负极202a、和隔膜100，它们浸渍于未图示的电解液中。将隔膜100配置于正极201a与负极202a之间，防止正极201a与负极202a之间的电接触。作为正极201a，使用锂过渡金属氧化物，作为负极202a，使用例如锂或碳(石墨)等。

上述实施方式中记载的多孔性树脂膜f可作为该锂离子电池200的隔膜100使用。该情况下，通过使例如形成有第一涂布膜f1的面为锂离子电池的负极202a侧，从而能够提高电池性能。需要说明的是，虽然图15中举出方型的锂离子电池200的隔膜100为例进行了说明，但并不限定于该构成。上述的多孔性树脂膜f在圆筒型或层压型等任意类型的锂离子电池的隔膜中均可使用。需要说明的是，除了锂离子电池的隔膜以外，上述的多孔性树脂膜f还可以作为燃料电池电解质膜、气体或液体的分离用膜、低介电常数材料而使用。

以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述说明，可以在不超出本发明的主旨的范围内进行各种变更。例如，虽然在上述实施方式及变形例中，举出将多孔性树脂膜f的一部分除去的情况、仅进行化学浸蚀法的情况为例进行了说明，但并不限定于该构成。例如，也可以利用组合了化学浸蚀法和物理性除去方法的方法将多孔性树脂膜f的一部分除去。作为物理性方法，例如，可以使用下述方法等：基于等离子体(氧、氩等)、电晕放电等的干式浸蚀；将研磨剂(例如，氧化铝(硬度9)等)分散于液体中、并将其以30m/s～100m/s的速度对芳香族聚酰亚胺膜的表面进行照射，由此处理聚酰亚胺膜表面的方法。这些方法也可以适用于在除去单元30中从烧成膜fb内除去微粒之前及除去微粒之后的任一情况。另外，作为仅能够适用于在除去微粒之后进行的情况的物理方法，也可以采用下述方法：将对象表面压接于用液体润湿的衬纸膜(例如pet膜等聚酯膜)上后，在未干燥或者干燥后，将多孔性树脂膜f从衬纸膜剥离。因液体的表面张力或静电附着力，使得多孔性树脂膜f在仅多孔性树脂膜f的表面层残留于衬纸膜上的状态下从衬纸膜剥离。

例如，在上述实施方式及变形例中，举出使用两种微粒含有率不同的涂布液来形成未烧成膜fa的情况为例而进行了说明，但并不限定于该构成，也可以为使用1种涂布液形成未烧成膜的构成。该情况下，可以不使用第一喷嘴12及第二喷嘴13中的任意一方，也可以将一个喷嘴省去。将一个喷嘴省去的情况下，优选将第一喷嘴12省去而使用第二喷嘴13。

另外，上述实施方式及变形例中，举出膜形成单元u1、预湿单元u2及化学浸蚀单元u3各配置1台的构成为例进行了说明，但并不限定于该构成。例如，也可以将上述单元中的至少一者设置为多台。该情况下，通过将例如每单位时间内可处理的未烧成膜fa、烧成膜fb或多孔性树脂膜f的分量(例如，长度等)少的单元配置多个，从而能够提高制造系统整体的制造效率。

另外，上述实施方式及变形例中，举出膜形成单元u1、预湿单元u2及化学浸蚀单元u3的各单元将未烧成膜fa、烧成膜fb或多孔性树脂膜f的各膜沿y方向输送的情况为例进行了说明，但并不限定于该构成。例如，可以使任意的单元将膜沿x方向、y方向、z方向或它们的合成方向输送，也可以在1个单元内适当变更输送方向。