推片装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种推片装置。

背景技术：

在晶圆生产过程中，由于设备生产、工艺流程以及运输保存等的需要，经常需要将晶圆片从一个晶圆盒转入到另一个晶圆盒。在转入过程中，通常使用真空吸笔将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒，但是这种作业为纯手工作业，存在掉片和刮伤晶圆的风险，且效率极低，因此，现有技术中，还有一种推杆的方法，将一个晶圆盒内的晶圆推入至另一晶圆盒，从而实现高效的晶圆片的盒间转移。

然而，采用的推杆的方法时，需要将两个晶圆盒对接，而在对接过程出现谬误，就会导致一个晶圆盒内放置的所有晶圆都被推出、发生毁损，严重影响晶圆加工的良率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种推片装置，能够增大晶圆加工的良率。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种推片装置，包括：晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。

可选的，所述凸块的数目为两个，所述限位件的数目也为两个，且一个凸块对应连接至一个限位件。

可选的，两个凸块的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

可选的，两个限位件的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

可选的，还包括驱动件，连接至所述推片单元，用于驱动所述推片单元。

可选的，还包括推杆手柄，连接至所述推片单元，用于供用户手动驱动所述推片单元。

可选的，所述限位件和所述凸块一体化连接，且所述限位件和凸块所组成的一体化结构能够绕一旋转轴旋转，所述旋转轴过所述一体化结构，使所述限位件外露于所述晶圆盒放置板的体积发生变化。

可选的，还包括：限位导轨，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面，与晶圆盒的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圆盒放置板上表面的晶圆盒，使晶圆盒被放置至预设位置。

上述推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的剖面示意图。

图2为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大动态示意图。

图3为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的立体示意图。

图4为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的侧视示意图。

图5为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种推片装置进一步详细说明。

请参阅图1至图5，其中图1为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的剖面示意图，图2为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大动态示意图，图3为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的立体示意图，图4为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的侧视示意图，图5为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大示意图。

在该具体实施方式中，所述推片装置包括：晶圆盒放置板100，用于放置待进行推片的晶圆盒101；推片单元102，安装于所述晶圆盒放置板100，能够相对于晶圆盒101发生水平方向的运动，包括推杆1021，所述推杆1021垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板100上方，能够伸入晶圆盒101，以推动晶圆盒101内放置的晶圆104，还包括锁块301，位于所述晶圆盒放置板100下方；锁定单元105，设置于所述晶圆盒放置板100，包括：凸块201，突出设置于所述晶圆盒放置板100上表面，用于作为晶圆盒101的放置位置标记；限位件302，连接至所述凸块201，穿过所述晶圆盒放置板100，并突出于所述晶圆盒放置板100的下表面，与所述锁块301相接触，对所述锁块301进行限位，从而限位所述推片单元102的水平位置；所述凸块201上方放置有晶圆盒时，所述限位件302相对于所述晶圆盒放置板100提起，所述锁块脱离限位。

在该具体实施方式中，所述推片装置具有锁定单元105，对推片单元102起到锁定作用。在晶圆盒101未放置到凸块201上方时，推片单元102被锁定单元105的限位件302锁定，无法移动以推动晶圆盒101内放置的晶圆104，不会造成碎片。进一步的，锁定单元105设置有两个凸块201，只有当两个晶圆盒101都放置到对应的位置，设置在两个凸块201上方时，推片单元102才可以完全脱离锁定单元105对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒101内放置的晶圆104推出至另一个晶圆盒101，从而防止在将晶圆104从一个晶圆盒101转移到另一个晶圆盒101内时发生晶圆104的破损，提高晶圆104加工的良率。

在一种具体实施方式中，所述晶圆盒放置板100的长度应当足够放置两个晶圆盒101，以使得在需要通过所述推片装置将一个晶圆盒101内的晶圆104推入到另一个晶圆盒101内时，两个晶圆盒101都可以放置到所述晶圆盒放置板100上，以具有同样的水平高度。请参阅图1，两个晶圆盒101都放置在所述晶圆盒放置板100的上表面，且完全对齐。

在一种具体实施方式中，所述推杆1021在竖直方向的长度足够，与晶圆盒的高度相匹配，能够在一次推动的过程中能够将晶圆盒101内放置的所有晶圆104都推出。

在一种具体实施方式中，所述锁块301和推杆1021通过连接杆相连接，且所述锁块301与推杆1021具有同样的运动状态，即推杆1021水平运动时，锁块301也水平运动，推杆1021静止时，锁块301也静止。通过对锁块301进行限位，就能够实现对所述推杆1021的限位。

在一种具体实施方式中，所述推片装置还包括驱动件，所述驱动件并未在图中示出。所述驱动件的驱动轴连接至所述推片单元102，用于驱动所述推片单元102，使所述推片单元102发生水平方向的运动。

在一种具体实施方式中，所述推片装置处于工作状态下时，所述驱动件持续推动所述推片单元102。在所述锁块301被限位时，即使有驱动件的驱动作用，推片单元102也无法相对于所述晶圆盒放置板100发生水平方向的位移。只有锁块301被解除限位时，所述推片单元102才可以在驱动件的驱动下运动发生水平方向的位移，将第一晶圆盒内的晶圆全部推至第二晶圆盒内。

实际上，也可不设置驱动件，而依靠连接至所述推片单元102的推杆手柄202进行推杆1021。如图1至3中所示。推杆手柄202也设置在所述晶圆盒放置板100下方，用户手握该推杆手柄202，并往水平方向推动所述推杆手柄202，就能够推动所述推片单元102沿水平方向运动。使用所述推杆手柄202能够有效减少推片装置的成本，且由于由用户根据自己所见的晶圆盒101位置来确定是否进行晶圆104转移操作，因此可以提高晶圆104的加工良率。

请参阅图2，在该具体实施方式中，所述限位件302和所述凸块201是一体化连接的。所述限位件302和凸块201所组成的一体化结构能够绕一旋转轴旋转，且所述旋转轴过所述一体化结构。具体的，所述旋转轴设置在所述限位件302和凸块201的连接处，长度方向为垂直于纸面方向。所述一体化结构在绕旋转轴旋转的过程中，所述限位件302露出所述晶圆盒放置板100的体积发生变化，增多或减少。

在图2中，当凸块201被上方放置的晶圆盒101按压时，所述一体化结构发生逆时针旋转或顺时针旋转，所述限位件302回缩至所述晶圆盒放置板100内部，不与定高的锁块301相接触，失去对锁块301的限位作用，所述推片单元102可以推动。

当凸块201上方并无晶圆盒101时，所述一体化结构件在重力的作用下，将所述限位件302的一大部分露出于所述晶圆盒放置板100，这时，所述限位件302与所述锁块301相接触，将所述锁块301限位，所述推片单元102无法推动。

在一种具体实施方式中，所述限位件302还可通过弹性连接件连接至所述凸块201。通过设置所述弹性连接件，使得所述限位件302在凸块201未被晶圆盒101按压住时，突出于所述晶圆盒放置板100的下表面的部分较多，将所述锁块301限位，锁定所述推片单元102，使所述推片单元102无法被推动。凸块201被晶圆盒101按压住时，所述限位件302回缩，露出所述晶圆盒放置板100内的部分减少，不再限位所述锁块301，所述推片单元102解锁，能够被推动，晶圆盒101内的晶圆104能够被推动转移。

在其他的具体实施方式中，还可在所述凸块201表面设置光敏传感器。在所述光敏传感器检测到所述凸块上方放置有晶圆盒101、进光量减少时，所述光敏传感器传输信号给一控制器，所述控制器连接至所述限位件的驱动模块，由所述控制器控制所述驱动模块，驱动所述限位件302回缩，使露出所述晶圆盒放置板100的部分减少，从而解除对所述锁块301的锁定。在该具体实施方式中，所述控制器在未接收到信号时，控制所述限位件302露出所述晶圆放置板100的部分较多，以实现对锁块301的限位功能。

在一种具体实施方式中，所述凸块201和限位件302的数目均为两个，一个凸块201对应连接至一个限位件302。两个凸块201可用于标记两个晶圆盒101的放置位置，提示用户将两个晶圆盒101分别放到何处，并使两个晶圆盒101放置到晶圆盒放置板100上表面时能够大致对齐，便于用户将一个晶圆盒101内的晶圆104推出到另一个晶圆盒101内。

同时，设置两个凸块201和两个限位件302，并且规划两个凸块201的位置，使得只有在所述晶圆盒放置板100表面放置了两个晶圆盒101、且两个晶圆盒101都放置到相应位置上时，所述推片单元102才可以被完全推动，将第一晶圆盒内的晶圆104完全推入到第二晶圆盒，防止在将一个晶圆盒101内的晶圆104推入至另一晶圆盒101时，两个晶圆盒101却未完成对齐，导致第一晶圆盒内放置的所有晶圆104都被推出并发生掉落，使晶圆104发生损耗，影响晶圆104的加工良率。

在一种具体实施方式中，所述凸块201设置在可以被放置在所述晶圆盒放置板100上的晶圆盒101按压到的地方。在一种具体实施方式中，所述晶圆盒101仅通过地面的两条侧边棱与所述晶圆盒放置板100相接触，因此，在该具体实施方式中，所述凸块201设置可以与晶圆盒101的两条侧边棱接触到的位置，以实现放置晶圆盒101后，晶圆盒101对锁块301的解锁。

在一种具体实施方式中，两个凸块201的俯视图都呈长条状，且两个凸块201的连线平行于所述推片单元102推动晶圆104时的运动方向，便于两个晶圆盒101的对齐。两个限位件302的连线平行于所述推片单元102推动晶圆104时的运动方向，使所述限位件302被设置在所述锁块301的运动方向上，两个限位件302都可以用来限位所述锁块301，从而锁定所述推片单元102的水平位置。

在图1至5所示的具体实施方式中，两个限位件302的形状略有差别，但均能够在锁定状态下与锁块301相勾连，防止锁块301发生水平方向上的位移。实际上，可以根据需要设置所述限位件302为其他形状，只要能够阻止锁块301发生沿推动晶圆104的方向上的位移即可。在该具体实施方式中，两个凸块201的形状略有差别。实际上，可以根据需要设置所述凸块201为其他形状。

在一种更优的具体实施方式中，两个限位件302之间的距离应当足够小，使得当所述晶圆盒放置板100上只放置有一个晶圆盒101，仅有一个凸块201被晶圆盒101按压，一个限位件302不再对锁块301进行限位时，在锁块301从第一个限位件302运动到第二个限位件302的过程中，所述推片单元102也只可以前进一小段距离，晶圆104也不会被推出晶圆盒101发生掉落，造成晶圆104的毁损。

在一种具体实施方式中，两个凸块201之间的距离也应当足够大，防止一个晶圆盒101能够同时放置到两个凸块201的上方，只用一个晶圆盒101就造成了两个限位件302的回缩，在只放置了一个晶圆盒101的情况下也可推动所述推片单元102，造成晶圆104被推出第一晶圆盒，发生毁损。

在一种具体实施方式中，所述推片装置还包括限位导轨203，突出设置于所述晶圆盒放置板100上表面，与晶圆盒101的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圆盒放置板100上表面的晶圆盒101，使晶圆盒101被放置至预设位置。

在一种具体实施方式中，所述限位导轨203的长度方向平行于推片单元102的运动方向，数目为两条。两条限位导轨203之间的距离与晶圆盒101的底部的宽度相一致，通过将晶圆盒101放置到两条限位导轨203之间，来限制两个晶圆盒101在平行于推片单元102的运动方向的方向上对齐。

进一步的，所述限位导轨203为一条，设置在两个凸块201之间，且长度方向垂直于推片单元102的运动方向的限位导轨203。在使用该限位导轨203时，将第一晶圆盒的第一面与第二晶圆盒的第二面贴近所述限位导轨，晶圆从所述第一晶圆盒的第一面被推出，从所述第二晶圆盒的第二面被推入。在使用所述限位导轨203后，能够实现两个晶圆盒101的开口完全对齐，便于将一个晶圆盒101内的晶圆104推送至另一晶圆盒101内的对应位置，防止发生晶圆的坠落，造成晶圆104毁损。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。