一种硅片导载装置的制作方法

本实用新型涉及半导体元件制造设备技术领域，具体涉及一种硅片导载装置。

背景技术：

太阳能电池产业近年来发展迅速，用于太阳能电池制造的装备也因此呈现迅速的发展趋势。太阳能电池制造过程中使用的硅片转载设备就是其中之一。

为了形成太阳能电池片中的pn结，业界通常对掺杂有硼(b)等三价元素的p型硅片进行磷扩散。现在通用的磷扩散工艺是在含磷元素的扩散炉中进行，为了提高硅片磷扩散的效率，通常会将多片硅片插置在石英舟中，再将石英舟放入扩散炉进行磷扩散。

在现有技术中，采用硅片转载设备用于将硅片从承载盒转载到石英舟中。硅片转载设备通过硅片导载装置将硅片从承载盒转载到石英舟中，硅片导载装置设置有等距离分布的齿部，硅片卡在多个齿部的齿缝中，导载装置上下移动将硅片导载至石英舟的插槽内。导载装置的齿部为一体设置，当有个别齿部损坏整个导载装置需要整体进行拆卸或者全部更换，操作繁琐，成本高。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种便于拆卸更换顶齿，提高使用寿命的硅片导载装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片导载装置，包括梳齿片和插板，所述插板上等距离设置有若干插槽，所述梳齿片一端插入所述插槽内，相邻梳齿片之间形成让位槽，所述插板一侧面设有贯通所述插槽的锁紧螺纹孔，锁紧螺钉通过锁紧螺纹孔抵接梳齿片，以固定所述梳齿片，所述梳齿片另一端开设有沿竖直方向延伸的顶升槽。

进一步的，所述插槽贯穿所述插板，所述插槽一端设置有底板，所述底板与所述插板通过紧固螺钉固定连接。

进一步的，所述底板截面为凸形，所述插板底面为与所述底板配合的凹形。

进一步的，所述顶升槽的底部设有向梳齿片一侧倾斜的安放斜面，所述安放斜面与水平面的夹角为30°～60°。

进一步的，所述顶升槽的深度不大于让位槽的深度。

进一步的，所述顶升槽的宽度小于让位槽的宽度。

进一步的，所述顶升槽的顶部开口处设置有使得所述顶部开口逐渐外扩的引导斜面。

进一步的，所述引导斜面与竖直方向之间的夹角为5°～15°。

本实用新型的一种硅片导载装置与现有技术相比的有益效果是，保证梳齿片厚度的同时使梳齿片方便拆卸，提高更换效率，减小梳齿片损坏带来的影响。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的实施例一正视图；

图3是图2中a区结构放大图；

图4是本实用新型的实施例二工作结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

参照图1所示，本实用新型的一种硅片导载装置的实施例一示意图，本装置包括梳齿片10和插板20，每片梳齿片10单独插入插板20内，因此拆卸时能够单独取下某片梳齿片10，无需对导载装置整体进行拆装更换，操作方便，提高导载装置的使用寿命，降低更换成本。为安装梳齿片10，所述插板20上等距离设置有若干插槽21，所述梳齿片10一端插入所述插槽21内，梳齿片10的数量与插槽21的数量对应，因此相邻梳齿片10之间也为等间距设置，本实施例中，为固定所述梳齿片10，所述插板20一侧面设有贯通所述插槽21的锁紧螺纹孔22，即锁紧螺钉23能够伸入插槽21内，当梳齿片10插入插槽21内后，锁紧螺钉23一端通过锁紧螺纹孔22旋入插槽21内，使得锁紧螺钉23抵接梳齿片10，将梳齿片10压紧在插槽21内，防止梳齿片10在插槽21内晃动或者由于固定不牢而松动掉落，且为了保证梳齿片10的稳定，锁紧螺钉23设置有两个，两个锁紧螺纹孔22沿梳齿片10的长度方向间隔设置。本实施例中，相邻梳齿片10之间的间距为让位槽11，所述梳齿片10另一端还开设有沿竖直方向延伸的顶升槽12，工作时，硅片卡设在顶升槽12内，当将硅片导载至石英舟的安装槽内时，顶升槽12内的硅片插入石英舟内，让位槽11能够避开石英舟内已有的硅片，使得梳齿片10的厚度能够增加，从而增加其整体刚性与结构强度。

参照图2所示，为本实施例正视图，所述顶升槽12的深度不大于让位槽11的深度，保证让位槽11有足够的深度能够避开石英舟内已放置好的硅片30。所述顶升槽12的宽度小于让位槽11的宽度，由于被导载的硅片30放置于顶升槽12内，宽度较小的顶升槽12一方面能够减小硅片30晃动的幅度，另一方面顶升槽12两侧的梳齿片10厚度较厚，从而不易变形或折断。参照图3所示，为图2中a区结构放大图，所述顶升槽12的顶部开口处设置有使得所述顶部开口逐渐外扩的引导斜面13，使得顶升槽12的顶部开口比其底部宽度大，方便硅片30插入顶升槽12内。所述引导斜面13与竖直方向之间的夹角为5°～15°，在本实施例中，引导斜面13与竖直方向的夹角为10°。

参照图4所述，为本实用新型的实施例二工作结构侧视图及剖视图，本实施例中，为方便加工插槽21，设置所述插槽21贯穿所述插板20，所述插槽21一端设置有底板24，通过底板24对梳齿片10进行支撑，此种方法能够保证梳齿片10插入插板20的深度相同，进一步的，对硅片30进行导载时，保证硅片30的一致性。所述底板24与所述插板20通过紧固螺钉固定连接。通过设置插板20，同时方便导载装置与其他机构相连。进一步的，在本实用新型的另一优选实施例中，所述底板24截面为凸形，所述插板20底面为与所述底板24配合的凹形，方便底板24与插板20匹配安装。

进一步的，本实用新型由于宽度较窄，在使用时，为支撑硅片30，采用两个导载装置配合的形式，硅片30被支撑在两个导载装置之间，为配合硅片30的形状及放置角度，所述顶升槽12的底部设有向梳齿片10一侧倾斜的安放斜面14，所述安放斜面14与水平面的夹角为30°～60°，使硅片30被两个导载装置在其左右方向得以稳定夹持，防止在顶升过程中硅片30产生晃动或偏离中心位置。本实施例中，优选安放斜面14与水平面的夹角为45°。

本实用新型的工作原理如下：由于石英舟上用于安放硅片30的安装槽之间的间距较小，通常只有2～3mm的距离，根据这么小的距离制备的梳齿片10往往由于厚度较小、长度较长而使得梳齿片10的刚性较差，在导载过程中容易导致梳齿片10变形或折断，因此本申请中设置让位槽11和顶升槽12，让位槽11之间的间距及顶升槽12之间的间距均为石英舟安装槽间距的两倍，使得梳齿片10的厚度能够增加，从而增加其整体刚性与结构强度。在此种情况下，即可以采用两次插片/取片的方式来完成一块石英舟上硅片30的插片/取片。

具体的，首先在顶升槽12放入第一组硅片30，转载设备将梳齿片10连带第一组硅片30插入到石英舟的硅片30安装槽中，此时奇数位/偶数位的硅片30安装槽中被第一组硅片30填满；而后导载装置归位，导载装置或石英舟整体向一侧平移一个相邻硅片30安装槽的间距距离，在顶升槽12中放置第二组硅片30，转载设备将梳齿片10连带第二组硅片30插入到石英舟的硅片30安装槽中，此时偶数位/奇数位的硅片30安装槽中被第二组硅片30填满，而第一组硅片30则被容纳于让位槽11中；最后，导载装置归位，完成单块石英舟上硅片30的插片步骤，硅片30的取片步骤反之。在工作过程中，若出现某一根或几根梳齿片10损坏的情况，仅需要旋松与该梳齿片10对应的锁紧螺钉23即可移除该梳齿片10而对其他梳齿片10无影响，提高更换效率，减小对生产的影响。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。