一种基于GaN外延片结构的制作方法

文档序号:24130843发布日期:2021-03-02 17:49阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基于gan外延片结构,其特征在于,包括:衬底层,所述衬底层由sic材料制成;缓冲层,所述缓冲层与所述衬底层连接;n型半导体层,所述n型半导体层与所述缓冲层连接,所述n型半导体层由gan材料制成;量子阱层,所述量子阱层与所述n型半导体层连接,所述量子阱层由ingan和gan材料制成;p型半导体层,所述p型半导体层与所述量子阱层连接,所述p型半导体层由gan材料制成;ito层,所述ito层与所述p型半导体层连接。2.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,还包括au纳米粒子薄膜,所述au纳米粒子薄膜设置于所述p型半导体层和所述ito层之间。3.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述n型半导体层包括无掺杂的n-gan层和有掺杂的u-gan层,所述缓冲层、所述u-gan层、所述n-gan层和所述量子阱层依次连接。4.根据权利要求3所述的基于gan外延片结构,其特征在于,还包括p电极和n电极,所述p电极从所述ito层的一端引出,所述n电极从所述n-gan层的下端引出。5.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述缓冲层由algan材料制成,所述缓冲层添加有用于诱导所述缓冲层从二维生长转向三维生长的mg元素。6.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述p型半导体层的厚度设置在300至500nm之间。7.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述量子阱层的厚度设置在200至400nm之间。8.根据权利要求3所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述n-gan层和所述u-gan层的厚度均设置在300至500nm之间。9.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述缓冲层的厚度设置在250至450nm之间。10.根据权利要求1所述的基于gan外延片结构,其特征在于,所述衬底层的厚度设置在400至500nm之间。
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