一种基于GaN外延片结构的制作方法

文档序号:24130843发布日期:2021-03-02 17:49阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种基于GaN外延片结构,包括:衬底层,衬底层由SiC材料制成;缓冲层,缓冲层与衬底层连接,缓冲层由AlGaN材料制成;N型半导体层,N型半导体层与缓冲层连接,N型半导体层由GaN材料制成;量子阱层,量子阱层与N型半导体层连接,量子阱层由InGaN和GaN材料制成;P型半导体层,P型半导体层与量子阱层连接,P型半导体层由GaN材料制成;ITO层,ITO层与P型半导体层连接,基于GaN外延片结构能够提高GaN外延芯片结构的发光效率。外延芯片结构的发光效率。外延芯片结构的发光效率。


技术研发人员:何畏 贺祥 林士修 黄昶源 吴质朴
受保护的技术使用者:江门市奥伦德光电有限公司
技术研发日:2020.12.10
技术公布日:2021/3/2

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