1.一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述提高外量子效率的led芯片包括:
dbr层(1);
位于所述dbr层(1)上的衬底(2);
位于所述衬底(2)上的缓冲层(3);
位于所述缓冲层(3)上的第一半导体层(4);
位于所述第一半导体层(4)上的有源层(5);
位于所述有源层(5)上的第二半导体层(6);
位于所述第二半导体层(6)上的透明导电层(7);
还包括与所述第一半导体层(4)接触且电性导通的n型电极(8)以及与所述第二半导体层(6)接触且电性导通的p型电极(9),所述n型电极(8)和p型电极(9)均为铝基反射电极,所述p型电极(9)的铝金属层直接与透明导电层(7)接触,用以提升反射电极与半导体界面的反射率。
2.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,所述透明导电层(7)包括一层用于与p型电极(9)中铝金属层接触的azo层(7.1),用以提升p型电极(9)与透明导电层(7)之间的粘附力。
3.根据权利要求2所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述azo层(7.1)的晶粒均匀,晶粒尺寸为30~50nm,用以提升p型电极(9)与透明导电层(7)之间的粘附力。
4.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述第二半导体层(6)与透明导电层(7)之间设有电流阻挡层(10),用以提高led芯片的发光效率。
5.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述第一半导体层(4)与第二半导体层(6)之间沿竖直方向设有台阶斜面(11);所述台阶斜面(11)包括平面(11.1)和斜面(11.2);所述斜面(11.2)从第二半导体层(6)延伸至第一半导体层(4)与所述平面(11.1)相交,所述平面(11.1)水平设于第一半导体层(4)上,用以安装n型电极(8)。
6.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,还包括覆盖在led芯片顶部的钝化层(12)。