一种提高外量子效率的LED芯片的制作方法

文档序号:22459737发布日期:2020-10-09 18:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述提高外量子效率的led芯片包括:

dbr层(1);

位于所述dbr层(1)上的衬底(2);

位于所述衬底(2)上的缓冲层(3);

位于所述缓冲层(3)上的第一半导体层(4);

位于所述第一半导体层(4)上的有源层(5);

位于所述有源层(5)上的第二半导体层(6);

位于所述第二半导体层(6)上的透明导电层(7);

还包括与所述第一半导体层(4)接触且电性导通的n型电极(8)以及与所述第二半导体层(6)接触且电性导通的p型电极(9),所述n型电极(8)和p型电极(9)均为铝基反射电极,所述p型电极(9)的铝金属层直接与透明导电层(7)接触,用以提升反射电极与半导体界面的反射率。

2.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,所述透明导电层(7)包括一层用于与p型电极(9)中铝金属层接触的azo层(7.1),用以提升p型电极(9)与透明导电层(7)之间的粘附力。

3.根据权利要求2所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述azo层(7.1)的晶粒均匀,晶粒尺寸为30~50nm,用以提升p型电极(9)与透明导电层(7)之间的粘附力。

4.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述第二半导体层(6)与透明导电层(7)之间设有电流阻挡层(10),用以提高led芯片的发光效率。

5.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,所述第一半导体层(4)与第二半导体层(6)之间沿竖直方向设有台阶斜面(11);所述台阶斜面(11)包括平面(11.1)和斜面(11.2);所述斜面(11.2)从第二半导体层(6)延伸至第一半导体层(4)与所述平面(11.1)相交,所述平面(11.1)水平设于第一半导体层(4)上,用以安装n型电极(8)。

6.根据权利要求1所述的一种提高外量子效率的led芯片,其特征在于,还包括覆盖在led芯片顶部的钝化层(12)。


技术总结
本实用新型提供了一种提高外量子效率的LED芯片。包括DBR层、衬底、缓冲层、第一半导体层、有源层、第二半导体层、透明导电层、N型电极和P型电极,N型电极和P型电极均为铝基反射电极,P型电极的铝金属层直接与透明导电层接触,用以提升反射电极与半导体界面的反射率;透明导电层包括一层用于与P型电极中铝金属层接触的AZO层,用以提升P型电极与透明导电层之间的粘附力。本实用新型采用铝基反射电极,取消了P型电极与透明导电层之间的插入层金属,通过设置AZO透明导电层,在保证透明导电层与P型电极的铝金属层粘附力符合标准的同时,保证了铝金属层的反射率,解决了反射率与粘附力二者不能兼得的矛盾,提高了LED芯片的发光效率和外量子效率。

技术研发人员:汪延明;周智斌
受保护的技术使用者:湘能华磊光电股份有限公司
技术研发日:2020.05.22
技术公布日:2020.10.09
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