层叠装置的制作方法

1.本发明特别是关于一种在与对准台之间夹持薄片的具备薄片矫正单元的层叠装置。


背景技术：

2.层叠装置将构成电子零件的多片薄片进行层叠，具有对准(alignment)单元及层叠单元。此对准单元在通过层叠单元将薄片进行层叠之前，通过进行各薄片的对准(也称为”对齐”)而能够抑制要形成的层叠体的各薄片彼此的偏移。
3.例如，于专利文献1记载有：于对准单元中，将薄片载置于对准台(alignment stage)上后，根据薄片的对准标记(alignment mark)的位置信息，使对准台移动，进行薄片的对准而形成层叠体的内容。
4.[现有技术文献]
[0005]
[专利文献]
[0006]
专利文献1：日本特开2000-173859号公报。


技术实现要素：

[0007]
[发明所欲解决的技术问题]
[0008]
近年来，由于对于上述的方式所形成的层叠体要求小型化及低矮化，故进行所层叠的薄片本身的薄化。由于此经薄化后的薄片的刚性较低，所以如专利文献1那般，若仅是将薄片载置于对准台上，就有会在薄片产生沿着外周缘的垂直方向的翘曲、中央部的垂直方向的松垮，或对准台面内的扭曲等变形之忧。
[0009]
另外，于此状态下，将薄片吸附于对准台时，会有薄片因产生不可逆的皱折，不仅对薄片损伤，并且变得难以将薄片整面密接于对准台之忧。结果，由于无法正确地辨识已设于薄片上的对准标记的位置，所以产生了在薄片的对位上精度明显降低，无法抑制在层叠体的各薄片彼此产生偏移等问题。
[0010]
本发明鉴于上述的技术问题而完成的发明，目的在于提供一种具备薄片矫正单元的层叠装置，不会使对准台上的薄片损伤，且能够防止薄片的变形。
[0011]
[用以解决技术问题的手段]
[0012]
解决上述技术问题的本发明的一方案，为一种层叠装置，也就是将多片薄片进行层叠的层叠装置，具备：对准台；薄片移动单元，使前述薄片对前述对准台相对地移动；及对准单元，进行前述对准台上所载置的前述薄片的对位；前述薄片移动单元包含薄片矫正单元，该矫正单元具有在与前述对准台之间夹持前述薄片的薄片矫正板，在将前述薄片矫正板的荷重负荷于前述薄片的状态下，使前述薄片矫正板追随前述对准台的移动。
[0013]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元具有弹推构件，不仅前述薄片矫正板的荷重，而且将前述弹推构件的弹推力负荷于薄片。
[0014]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元更具备浮动机构，前述薄片
矫正板与前述浮动机构一体地连接。
[0015]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元更具备：浮动机构；及矫正板锁固机构，以可自由装拆的方式将前述薄片矫正板与前述浮动机构连接。
[0016]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元具备：浮动锁固机构，使前述浮动机构呈固定状态及解除状态。
[0017]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片移动机构作为将回收对象薄片从对准台上回收的薄片回收单元。
[0018]
另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片移动机构作为将薄片供给至对准台上的薄片供给单元。
[0019]
[发明效果]
[0020]
依据本发明，提供一种具备薄片矫正单元的层叠装置，不会使对准台上的薄片损伤，且能够防止薄片的变形。
附图说明
[0021]
图1是显示本发明的第一实施方式的层叠装置的俯视示意图。
[0022]
图2是显示图1所示的对准单元及薄片矫正单元的俯视示意图，分别为图2的(a)部分表示待机状态，图2的(b)部分表示对准状态，图2的(c)部分表示回收状态。
[0023]
图3是显示图2所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图3的(a)部分表示往对准台上的移动状态，图3的(b)部分表示矫正时的推压状态。
[0024]
图4(a)是显示图2所示的薄片矫正手机构在对准动作时的推压状态下的剖视示意图。
[0025]
图4(b)是显示图2所示的薄片矫正手机构在往待机位置或回收箱上的移动状态下的剖视示意图。
[0026]
图5是显示图2所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图5的(a)部分表示往对准台上的移动状态，图5的(b)部分表示薄片矫正板的载置状态。
[0027]
图6是显示图5所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图6的(a)部分表示对位动作时的推压状态，图6的(b)部分表示薄片矫正板的即将开始回收的状态。
[0028]
图7是显示图5所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图7的(a)部分表示薄片矫正板的回收状态，图7的(b)部分表示薄片矫正板的刚回收后的状态。
[0029]
附图标记说明
[0030]
10
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
对准单元
[0031]
11
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
对准台
[0032]
12
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
xyθ轴电动致动器
[0033]
15
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
对准摄像单元
[0034]
20
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正单元
[0035]
21
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正机构
[0036]
22
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正板
[0037]
23
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
浮动机构
[0038]
23a
ꢀꢀꢀꢀꢀ
保持构件
[0039]
23ao
ꢀꢀꢀꢀ
开口
[0040]
23b
ꢀꢀꢀꢀꢀ
浮动构件
[0041]
23bb
ꢀꢀꢀꢀ
本体部
[0042]
23bf
ꢀꢀꢀꢀ
凸缘部
[0043]
23bm
ꢀꢀꢀꢀ
安装部
[0044]
23c
ꢀꢀꢀꢀꢀ
推力轴承
[0045]
23d
ꢀꢀꢀꢀꢀ
球塞
[0046]
24
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
浮动锁固机构
[0047]
24a
ꢀꢀꢀꢀꢀ
突起部
[0048]
24ap
ꢀꢀꢀꢀ
凸部
[0049]
24b
ꢀꢀꢀꢀꢀ
定心锁
[0050]
24br
ꢀꢀꢀꢀ
凹部
[0051]
24c
ꢀꢀꢀꢀꢀ
固定用气缸
[0052]
29
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
弹推构件
[0053]
30
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片回收单元(薄片移动单元)
[0054]
31
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
回收箱
[0055]
32
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
横臂
[0056]
34
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
滑动机构
[0057]
34ao
ꢀꢀꢀꢀ
开口
[0058]
34o
ꢀꢀꢀꢀꢀ
开口
[0059]
35
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
回收保持机构
[0060]
35a
ꢀꢀꢀꢀꢀ
吸附通口
[0061]
35b
ꢀꢀꢀꢀꢀ
负压管
[0062]
40
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
层叠单元
[0063]
41
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
层叠台
[0064]
50
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
搬送单元
[0065]
100
ꢀꢀꢀꢀꢀ
层叠装置
[0066]
121
ꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正机构
[0067]
122
ꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正板
[0068]
126
ꢀꢀꢀꢀꢀ
矫正板锁固机构
[0069]
126a
ꢀꢀꢀꢀ
第二突起部
[0070]
126ap
ꢀꢀꢀ
第二凸部
[0071]
126ar
ꢀꢀꢀ
缩径部
[0072]
126b
ꢀꢀꢀꢀ
第二定心锁
[0073]
126br
ꢀꢀꢀ
第二凹部
[0074]
126c
ꢀꢀꢀꢀ
夹持构件
[0075]
126cr
ꢀꢀꢀ
凹陷部
[0076]
126d
ꢀꢀꢀꢀ
夹持用气缸
[0077]
135
ꢀꢀꢀꢀꢀ
回收保持机构
[0078]
135a
ꢀꢀꢀꢀ
吸附通口
[0079]
135b
ꢀꢀꢀꢀ
负压管
[0080]aꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
待机位置
[0081]
as
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
收容空间
[0082]bꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
对准台位置
[0083]cꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
回收箱位置
[0084]dꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
待机位置
[0085]eꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
层叠台位置
[0086]
fb
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
弹簧的弹推力
[0087]
fk
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
弹推构件所造成的弹推力
[0088]
p
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
摆动方向
[0089]sꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片
[0090]wꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
薄片矫正板所造成的荷重。
具体实施方式
[0091]
以下一边参照附图一边详细地说明本发明的较优选的实施方式。以下要说明的实施方式例示将本发明具体地实现而得的型态。因此，通过本发明所应用的装置的构成及各种条件，应可适切修正或变更以下所说明的实施方式的构成，也就是本发明不限定于以下的实施方式。
[0092]
＜有关用语＞
[0093]
于本说明书及权利要求的记载中，如以下的方式来定义各用语。所指的”沿xyθ轴的移动”表示沿x轴方向及y轴方向的移动与沿θ方向的转动。所指的”浮动机构”表示通过容许沿xyθ轴的移动、沿摆动方向的转动及沿z轴方向的移动，而能够追随要接触的其它可动机构的机构。
[0094]
(第一实施方式)
[0095]
图1是显示本发明的第一实施方式的层叠装置100的俯视示意图，图2是显示图1所示的对准单元10及薄片矫正单元20的俯视示意图，分别为图2的(a)部分表示待机状态，图2的(b)部分表示对准状态，图2的(c)部分表示回收状态。在此，x轴方向表示对准台11的可移动的一个方向，y轴方向表示与x轴方向正交，且为对准台11的可移动的另一方向。另外，z轴方向表示与x轴方向及y轴方向正交，且为对准台的可旋转的旋转方向。
[0096]
＜有关层叠装置＞
[0097]
层叠装置100用以将电子零件的经薄化后的各种基板，也就是多片薄片s予以高精度且高速地层叠的装置。此层叠装置100具备：对准单元10、薄片矫正单元20、薄片回收单元(薄片移动单元)30、层叠单元40及搬送单元50。以下依这些单元的顺序进行说明。此外，层叠装置100更具备控制单元(未图示)，该控制单元对于对准单元10、薄片矫正单元20、薄片回收单元30、层叠单元40及搬送单元50的驱动等进行控制。
[0098]
＜有关对准单元＞
[0099]
对准单元10具备：对准台11；及xyθ轴电动致动器12，进行对准台11的沿x轴方向及y轴方向的移动与沿θ方向的转动(以下称”沿xyθ轴”的移动)。另外，对准单元10具备对准摄
像单元15，该对准摄像单元15从下方对薄片s的对准参照用的标记，也就是对准标记进行摄像。以下依这些单元的顺序进行说明。
[0100]
对准台11具备：使薄片s真空吸附于对准台11上的多个吸附通口(未图示)、及从对准台11的各角部朝向中心部延伸，且由透明的构件所构成的多个窗部(未图示)。
[0101]
xyθ轴电动致动器12能够依据来自控制单元的指示，用以使薄片s往基准位置对位而沿xyθ轴的移动，也就是进行于xy平面的移动及转动。若负荷于对准台11的来自上方的推压力未满既定值，则xyθ轴电动致动器12能够平顺地执行所希望的沿xyθ轴的移动。
[0102]
对准摄像单元15具备对准用照相机(未图示)及对准用照明(未图示)，并经由多个窗部而从对准台11的下方对薄片s的对准标记进行摄像。
[0103]
此外，对准单元10也可更具备薄片识别单元，进行薄片s的摄像或从上方对薄片s的薄片识别用标记进行摄像。例如该薄片识别单元具备薄片识别照相机及薄片识别用照明，而从对准台11的上方对薄片s的薄片识别用标记进行摄像。
[0104]
(有关对准单元的对准动作)
[0105]
使用图2的(b)部分来说明对准单元10的对位动作。首先，对准单元10通过多个吸附通口对载置于对准台11上的薄片s进行真空吸附。然后，对准摄像单元从下方对设于薄片s的一对对准标记进行摄像。此经摄像到的影像被发送至影像处理装置(未图示)，通过影像处理，算出一对对准标记的各自的位置，并且由该算出的一对对准标记的各自的位置与预先设定的基准位置来算出误差。在此，若此误差在既定范围内，则判断为薄片s的对位已适当地进行，通过来自控制单元的指示而结束薄片s的对位动作。相对于此，若此误差在既定范围外，则判断为薄片s的对位未适当地进行。此时，xyθ轴电动致动器12通过来自控制单元的指示而以使误差达到最小的方式，通过对准台11进行薄片s的沿xyθ轴的移动。此往预先设定的基准位置的对位持续进行直到误差达到既定范围内为止。
[0106]
＜有关薄片矫正单元＞
[0107]
如以上所述，对准单元10通过进行将载置于对准台11上的薄片s沿xyθ轴的移动，而进行往预先设定的基准位置的对准。在此，薄片s经薄化到10μm至20μm。因此，载置于对准台11上的薄片s会有产生沿着外周缘的z轴方向的翘曲、中央部的z轴方向的松垮、或xy平面内的扭曲等变形(以下称“薄片的变形”)之忧。因如此的薄片s的变形，产生了无法适当地进行于对准单元10中的往基准位置的对位的问题。
[0108]
因此，本实施方式的薄片矫正单元20具备薄片矫正机构21，以矫正此薄片s的变形，在载置于对准台11上的薄片s被对准台11吸附之前，以所希望的推压力从上方对薄片s负荷。此薄片矫正机构21具备能够沿xyθ轴移动的浮动机构23(参照图3的(a)部分)，但详细内容于后述。在此，如图2的(a)部分所示，本实施方式的薄片矫正单元20备于薄片回收单元30，薄片矫正机构21悬吊于滑动机构34而被支撑，而构成能够沿y轴方向(图2的(a)部分的箭号i方向)及z轴方向(图2的(b)部分的箭号ii方向)移动。如此一来，通过薄片矫正单元20设于薄片回收单元30，能够进行层叠装置100的小型化及简单化。
[0109]
(有关薄片矫正单元的矫正动作)
[0110]
如图2的(b)部分所示，薄片矫正机构21于对准台位置b通过滑动机构34往z轴方向(图2的(b)部分的箭号ii方向)的下方移动，而在与对准台11之间夹持薄片s。如此一来，由于薄片s通过薄片矫正机构21从上方以所希望的推压力而被负荷，所以能够矫正薄片s的变
形。另外，维持此薄片s被夹持的状态下，通过对准单元10，以进行使薄片s往基准位置对位的方式，薄片矫正机构21通过浮动机构23而以相对于对准台11的沿xyθ轴的移动无偏移的方式进行追随。据此，由于薄片矫正机构21能够从上方对薄片s仅负荷所希望的推压力，所以能够抑制对薄片s的损伤。而且，由于对准台11于薄片矫正机构21矫正薄片s的变形后将薄片s吸附，所以能够避免于薄片s产生不可逆的皱折。
[0111]
＜有关薄片回收单元＞
[0112]
如图2所示，薄片回收单元30由回收箱31及滑动机构34所构成，该回收箱31收纳已回收的薄片s，该滑动机构34能够往沿横臂32的y轴方向(箭号i方向)及沿纵臂(未图示)的z轴方向(箭号ii、iii方向)移动且也作为薄片回收机构而发挥功能。此外，薄片回收单元30具备回收保持机构35，该回收保持机构35悬吊于滑动机构34而被支撑且对薄片s进行吸附保持。
[0113]
在此，被判断为在对准单元10于既定时间内未被适当地进行对位的薄片s(以下称”回收对象的薄片”)，会被薄片回收单元30回收以避免被层叠于层叠台41。据此，可防止有异状的薄片s的层叠，可抑制于层叠体的各薄片彼此的偏移。
[0114]
(有关薄片回收单元的回收动作)
[0115]
如图2的(b)部分所示，回收保持机构35于对准台位置b对作为回收对象的薄片s进行吸附保持，并通过滑动机构34而移动至回收箱位置c。其后，如图2的(c)部分所示，回收保持机构35于回收箱位置c解除对薄片s的吸附保持，薄片s被回收至回收箱31内。
[0116]
＜有关层叠单元及搬送单元＞
[0117]
使用图1来说明层叠单元40及搬送单元50。层叠单元40具备供薄片s层叠的层叠台41。
[0118]
搬送单元50具备：能够沿x轴方向(待机位置d、对准台位置b、层叠台位置e)及z轴方向移动的搬送滑动机构(未图示)，及悬吊并被支撑于搬送滑动机构，对薄片s进行吸附保持的搬送保持机构(未图示)。
[0119]
(有关层叠单元及搬送单元的层叠动作)
[0120]
使用图1来说明层叠单元40及搬送单元50的层叠动作。此外，搬送保持机构于初始状态停止在待机位置d。首先，于对准单元10通过控制单元判断为已适当地进行薄片s的对未时，通过搬送滑动机构使搬送保持机构从待机位置d移动至对准台位置b后，使其往z轴方向的下方移动。然后，使搬送保持机构抵接于对准台11上的已适当地进行对准的薄片s，并通过真空吸附使薄片s被保持。其后，通过搬送滑动机构使搬送保持机构往z轴方向的上方移动，使其从对准台位置b移动至层叠台位置e后，使之往z轴方向的下方移动，使其抵接于层叠台41的上表面或已层叠的其它的薄片s。然后，解除于搬送保持机构的吸附保持，使薄片s载置于层叠台41的既定位置后，通过搬送滑动机构使之往待机位置d移动。通过此搬送单元50的层叠动作，能够将已适当地进行对位的薄片s层叠于层叠台41上。
[0121]
本实施方式的层叠装置100具备：对准单元10、薄片矫正单元20、薄片回收单元30、层叠单元40、搬送单元50及控制单元。然而，本实施方式的层叠装置100并不限于此，例如也可具备：将薄片s供给至对准台11上的薄片供给单元(薄片移动单元)，将覆盖薄片s的薄膜予以剥离的剥离单元，或对薄片s的层叠体进行压接使之一体化的压接单元等。另外，本实施方式的层叠装置100于包覆薄片s的薄膜被剥离之后，进行使用对准单元10使薄片s往基
准位置对位。然而不限于此，例如也可于剥离单元将覆盖薄片s的薄膜剥离之前，进行使用对准单元10使薄片s往基准位置对位。另外，于本实施方式中，薄片矫正单元20备于薄片回收单元30，然而不限于此，例如也可设为薄片矫正单元20备于薄片供给单元。如此一来，通过薄片矫正单元20备于薄片供给单元，能够进行层叠装置100的小型化及简单化。
[0122]
图3及图4(a)和图4(b)显示通过yz平面切断图2所示的薄片矫正机构21后的剖视示意图。分别为图3的(a)部分表示往对准台11上的移动状态，图3的(b)部分表示矫正时的推压状态，图4(a)表示对准动作时的推压状态，图4(b)表示往待机位置a或回收箱位置c上的移动状态。
[0123]
＜有关薄片矫正机构的详细内容＞
[0124]
薄片矫正机构21具备：薄片矫正板22、浮动机构23以及将浮动机构23固定的浮动锁固机构24。以下依次说明这些构件。此外，本实施方式的薄片矫正机构21薄片矫正板22经由以多个弹簧等构成的弹推构件29而与浮动机构23的安装部23bm一体地连接的构成。
[0125]
＜有关薄片矫正板＞
[0126]
从z轴方向来看，薄片矫正板22具有以可覆盖薄片s的方式设定的大致矩形形状，且具备朝z轴方向贯穿的多个吸附通口35a及多个开口部(未图示)。
[0127]
多个吸附通口35a的上侧恒常地连接于负压管35b，对薄片s进行吸附保持时经由负压管35b导入负压，而解除薄片s的吸附保持时则呈大气开放或导入正压。此多个吸附通口35a及负压管35b于将薄片s往回收箱31回收时，形成作为将薄片s予以吸附保持的回收保持机构35。此外，于本实施方式中，通过多个吸附通口35a对薄片s进行真空吸附，然而不限于此，为了更确实地对薄片s进行真空吸附，例如也可于薄片矫正板22的中央部设置有利用了文土里效应(venturi effect)的非接触吸附衬垫等。
[0128]
多个开口部因以下的理由而设置：第1，为了调整因薄片矫正板22的荷重w(参照图3的(b)部分)造成对薄片s的推压力；第2，为了调整对薄片s的接触面积，防止薄片s贴附于薄片矫正板22；第3，为了从上方对薄片s的薄片识别标记进行摄影。
[0129]
＜有关浮动机构＞
[0130]
浮动机构23具备：保持构件23a、浮动构件23b、推力轴承(thrust bearing)23c及球塞(ball plunger)23d。
[0131]
保持构件23a具有用以保持并包围本体部23bb的形状，且于底部具备开口23ao。保持构件23a被固定于滑动机构34并且在与滑动机构34之间划分收容空间as。
[0132]
浮动构件23b具备：延伸于z轴方向的本体部23bb；设于本体部23bb的中间部且延伸于xy平面内的凸缘部23bf；及设于本体部23bb的下端且延伸于xy平面内的安装部23bm。此本体部23bb的上端在对滑动机构34非接触的状态下，设于滑动机构34的开口34o的内部。本体部23bb的下端在对滑动机构34非接触的状态下，设于保持构件23a的开口34ao的外部。另外，凸缘部23bf在与位于上方的滑动机构34及自侧方位于下方的保持构件23a分离的状态下，被收容于收容空间as。
[0133]
推力轴承23c在上下方向被夹持于凸缘部23bf与保持构件23a之间的状态下，被收容于收容空间as。通过此推力轴承23c，能够达到浮动构件23b的平顺地沿xyθ轴的移动，也就是，xy平面内的移动及转动。此外，虽然省略了图示，然而推力轴承23c也可具备例如具有排列成环状的多个贯穿孔的保持器(retainer)及被保持于各贯穿孔的球形状的转动体，且
转动体的z轴方向的上下端部设成比保持器更往外侧突出。
[0134]
球塞23d具备：弹簧及通过此弹簧的弹推力fb而恒常地往z轴方向的下方弹推的球。于滑动机构34的下表面以包围滑动机构34的开口34o的方式，沿着圆周方向配置多个球塞23d，而将凸缘部23bf恒常地往z轴方向的下方弹推。通过此球塞23d，容许浮动构件23b在xy平面内，且浮动构件23b在与平行于z轴的中心轴交叉的轴为中心的转动(以下称”沿摆动方向的转动”)(参照图4(a)的箭号p)。于本实施方式中，通过球塞23d而容许浮动构件23b在沿摆动方向p的转动，据此，例如能够吸收于薄片矫正单元20的组装误差等。
[0135]
如以上所述，浮动机构23通过推力轴承23c而够平顺地沿xyθ轴移动，并且通过球塞23d而能够容许沿摆动方向p转动。
[0136]
＜有关浮动机构＞
[0137]
浮动锁固机构24将浮动机构23切换成固定状态及解除状态的机构，具备：设于浮动构件23b的上端部的一对突起部24a；定心锁(centering lock)24b；及使定心锁24b沿z轴方向(图4(a)及图4(b)的箭号iv方向)移动的固定用气缸24c。在此，一对突起部24a的前端具有半球形状的凸部24ap，另外，定心锁24b的下表面具有由半球形状构成的一对凹部24br。此凸部24ap及凹部24br具有相互的半球形状彼此可面接触的对应的形状。在此，通过固定用气缸24c，将凸部24ap及凹部24br沿z轴方向卡合，并且通过将浮动构件23b的凸缘部23bf隔着推力轴承23c而按压保持构件23a并予以拘束(也可称为”限制”)，浮动机构23的自由度(沿xyθ轴的移动、沿摆动方向的转动及沿z轴方向的移动)完全丧失，而使浮动锁固机构24呈固定状态。相对于此，通过固定用气缸24c而使凸部24ap及凹部24br沿z轴方向相互分离，并且通过解除浮动构件23b的凸缘部23bf的拘束，而使浮动锁固机构24呈解除状态。此外，薄片矫正机构21配置于对准台位置b，浮动锁固机构24处于固定状态时，以从z轴方向所见的薄片矫正板22及对准台11的中心位置、及沿θ方向的转动角度分别配置于一致的位置(以下称”定心位置”)的方式预先设定。于本实施方式中，一对凸部24ap及一对凹部24br设成相互对应的半球形状，然而不限于此，例如也可为相互对应的圆锥形状、截锥形状、圆筒形状及角柱形状。
[0138]
＜有关使用薄片矫正机构的对准及回收动作＞
[0139]
首先，使用图3及图4(a)和图4(b)，说明使用了薄片矫正机构21的对准动作。此外，在初始状态，薄片矫正机构21在待机位置a停止，浮动锁固机构24呈固定状态。
[0140]
通过滑动机构34使薄片矫正机构21从待机位置a移动至对准台位置b后，如图3的(a)部分所示，使之往z轴方向的下方(箭号ii(1)方向)移动，而使薄片矫正板22抵接于对准台11上的薄片s。此时，由于浮动锁固机构24呈固定状态，所以能够防止于移动中薄片矫正机构21呈不稳定的姿势，并且能够使薄片矫正板22配置于定心位置。
[0141]
接着，为了矫正薄片s的变形，如图3的(b)部分所示，通过滑动机构34使薄片矫正机构21更往z轴方向的下方(箭号ii(2)方向)移动，而使薄片矫正板22与安装部23bm之间所设置的多个弹推构件29压缩，据此对薄片s负荷推压力fk。在此，负荷于薄片s的来自上方的推压力为此经压缩的多个弹推构件29所造成的弹推力fk与薄片矫正板22所造成的荷重的合力。因此，能够以使此推压力达到希望的值的方式，调整薄片矫正板22的重量、弹推构件的弹簧系数、薄片矫正机构21的往z轴方向下方(箭号ii(2)方向)移动量等。本实施方式的弹推构件29采用压缩弹簧，然而不限于此，例如通过采用拉伸弹簧而使弹推力fk往z轴方向
上方作用，能够减轻薄片矫正板22所造成的荷重w的影响。如以上所述，由于薄片s通过薄片矫正机构21上方被以所希望的推压力负荷，所以能够矫正薄片s的变形。此外，通过薄片矫正机构21，从上方负荷的推压力以使xyθ轴电动致动器12能够平顺地执行对准台11的沿xyθ轴的移动的方式，设定成未满既定值。
[0142]
另外，为了使薄片矫正板22追踪对准台11的移动，如图4(a)所示，通过浮动锁固机构24将浮动机构23从固定状态切换到解除状态。具体而言，一旦使固定用气缸24c往z轴方向的上方(箭头iv(3)方向)移动，凸部24ap及凹部24br就呈非卡合状态，而成为可达到通过浮动机构23而往xyθ轴移动的解除状态。此时，浮动构件23b通过各球塞23d而能够进行沿摆动方向p的转动。据此，由于薄片矫正板22以在与对准台11之间夹持薄片s的状态下，能够不会偏移地追随伴随着对准台11的沿xyθ轴的移动的对位动作，所以不会阻碍对准动作而能够抑制对薄片s的损伤等。
[0143]
之后，于对准单元10，通过控制单元判断于既定时间内已适当地进行薄片s的对位时，如图4(a)所示通过滑动机构34使薄片矫正机构21往z轴方向的上方(箭号ii(4)方向)移动。然后，薄片矫正机构21自薄片s分离后，如图4(b)所示，通过浮动锁固机构24将浮动机构23从解除状态切换到固定状态。具体而言，一旦使固定用气缸24c往z轴方向的下方(箭头iv(5)方向)移动，凸部24ap及凹部24br会卡合，而且浮动构件23b的凸缘部23bf被拘束，浮动机构23的自由度(沿xyθ轴的移动、沿摆动方向的转动及沿z轴方向的移动)完全丧失，而于定心位置呈固定状态。据此，能够防止薄片矫正机构21移动时呈不稳定的姿势。然后，使薄片矫正机构21更往z轴方向的上方(箭号ii(6)方向)移动，从对准台位置b移动至待机位置a。
[0144]
相对于此，于对准单元10，通过控制单元判断于既定时间内未适当地进行薄片s的对位时，使用作为回收保持机构35而发挥功能的薄片矫正板22的吸附通口35a进行回收动作。此回收动作使用图4(a)及图4(b)来说明，然而于图4(b)说明通过回收保持机构35将薄片s真空吸附于薄片矫正板22的下表面。
[0145]
首先，如图4(a)所示，通过于薄片矫正板22的吸附通口35a(回收保持机构35)的真空吸附而保持薄片s。之后，与前述判断已适当地进行薄片s的对位的情形同样地，通过滑动机构34而使薄片矫正机构21往z轴方向的上方(箭号ii(4)方向)移动。然后，薄片矫正机构21自薄片s分离后，如图4(b)所示，使浮动锁固机构24的固定用气缸24c往z轴方向的下方(箭号iv(5)方向)移动，将浮动机构23从解除状态切换到固定状态。据此，能够防止薄片矫正机构21移动时呈不稳定的姿势。然后，使薄片矫正机构21更往z轴方向的上方(箭号iii(7)方向)移动，而抵接于回收箱31的内侧底面或已回收的其它的薄片s。然后，解除于薄片矫正板22的吸附通口35a的吸附保持，使薄片s载置于回收箱31内后，通过滑动机构34使薄片矫正机构21往待机位置a移动。
[0146]
本实施方式的薄片矫正机构21通过调整薄片矫正板22的重量及薄片矫正机构21的往z轴方向下方的移动量，能够从上方以所希望的推压力对薄片s施加负荷，因此，能够矫正薄片s的变形。另外，于本实施方式中，薄片矫正板22通过浮动机构23而以在与对准台11之间夹持薄片s的状态，能够不会偏移地追随伴随着对准台11的沿xyθ轴的移动的对位动作，因此，能够抑制对薄片s的损伤等。而且，于本实施方式中，对准台11于薄片矫正机构21矫正薄片s的变形后，吸附着薄片s，因此，能够避免于薄片s产生不可逆的皱折。
[0147]
(第二实施方式)
[0148]
图5至图7显示通过yz平面切断第二实施方式的薄片矫正机构121的剖视示意图。分别表示图5的(a)部分为往对准台11上的移动状态，图5的(b)部分为薄片矫正板122的载置状态，图6的(a)部分为对位动作时的推压状态，且为薄片矫正板122的分离后或回收前的移动状态，图6的(b)部分为薄片矫正板122的回收瞬时前状态，图7的(a)部分为薄片矫正板122的回收状态，图7的(b)部分为薄片矫正板122的回收瞬时后状态。
[0149]
＜有关薄片矫正机构的详细内容＞
[0150]
薄片矫正机构121具备：薄片矫正板122；浮动机构23；固定浮动机构23的浮动锁固机构24；及固定薄片矫正板122的矫正板锁固机构126。以下依次说明这些机构。此外，与第一实施方式的薄片矫正机构21的不同点在于，本实施方式中的薄片矫正机构121具有薄片矫正板122经由矫正板锁固机构126而与浮动机构23可自由装拆地连接的构成。然而，由于其它的基本构成与第一实施方式相同，所以对于相同构件标以相同符号而省略重复的说明。
[0151]
＜有关薄片矫正板＞
[0152]
从z轴方向来看，薄片矫正板122具有以可覆盖薄片s的方式设定的大致矩形形状，且具备朝z轴方向贯穿的多个吸附通口135a、及多个开口部(未图示)。此多个吸附通口135a的上侧可自由装拆地连接于配置在第二定心锁126b的垂直延伸的负压管135b。在此，于多个吸附通口135a与负压管135b连接的连通状态下，通过对负压管135b导入负压，能够将薄片s吸附保持于多个吸附通口135a，而且通过对负压管135b设成大气开放或导入正压，能够解除薄片s往多个吸附通口135a的吸附保持。此多个吸附通口135a及负压管135b与第一实施方式同样地形成作为将薄片s往回收箱31回收时将薄片s吸附保持的回收保持机构135。另外，多个开口部与第一实施方式同样因以下的理由而设置：第1，为了调整因薄片矫正板122的荷重w(参照图6的(a)部分)造成对薄片s的推压力；第2，为了调整对薄片s的接触面积，防止薄片s贴附于薄片矫正板122；第3，为了从上方对薄片s的薄片识别标记进行摄影。
[0153]
接着，有关浮动机构23及浮动锁固机构24，由于与第一实施方式相同，所以省略说明。
[0154]
＜有关矫正板锁固机构＞
[0155]
使用图5的(b)部分，对于矫正板锁固机构126进行说明。矫正板锁固机构126具备：安装于薄片矫正板122的上表面侧的一对第二突起部126a；第二定心锁126b；沿x轴方向相对置的一对夹持构件126c；以及以使一对夹持构件126c(仅图示其中一个)接近及分离的方式沿x轴方向(箭号v方向)移动的夹持用气缸126d。
[0156]
矫正板锁固机构126通过将浮动机构23及薄片矫正板122设成相互分离状态及连接状态，将薄片矫正板122相对于对准台11上载置及回收的机构。该矫正板锁固机构126具有拘束浮动机构23与薄片矫正板122的相对的移动的单元，也就是，具有拘束xy平面内的相对的移动的单元(以下称”xy平面内的拘束单元”)，及拘束于z轴方向的相对的移动的单元(以下称”z轴方向的拘束单元”)。
[0157]
首先，xy平面内的拘束单元具备设于薄片矫正板122的上表面的一对第二突起部126a及第二定心锁126b。在此，一对第二突起部126a的前端具有半球形状的第二凸部126ap。另外，第二定心锁126b的下表面具有由半球形状构成的一对第二凹部126br。此第二
凸部126ap及第二凹部126br具有相互的半球面彼此可面接触的对应的形状。在此，通过第二凸部126ap及第二凹部126br沿z轴方向卡合，于浮动机构23及薄片矫正板122的xy平面内的相对的移动会被拘束。
[0158]
接着，如图6的(a)部分、(b)部分所示，z轴方向的拘束单元由形成于第二突起部126a的基部侧的缩径部126ar，及隔着此缩径部126ar而形成于沿x轴方向相对置的一对夹持构件126c的一对凹陷部126cr构成。此外，图6的(a)部分、(b)部分仅显示其中一个的夹持构件126c，然而省略了图示的另一个的夹持构件以与该其中一个的夹持构件126c相对置的方式配置于纸面的前方侧。此缩径部126ar及一对凹陷部126cr具有沿x轴方向卡合的相互的侧面彼此对应的形状。具体而言，从z轴方向来看缩径部126ar时，具有圆形状，另外，从z轴方向来看一对凹陷部126cr时，分别具有在相对置的侧具有中心的大致半圆形状。在此通过夹持用气缸126d，使一对夹持构件126c以相互接近的方式沿x轴方向移动，通过一对凹陷部126cr夹持缩径部126ar，据此，拘束浮动机构23及薄片矫正板122的于z轴方向的移动。此外，如图5的(b)部分所示，于薄片矫正机构121被配置于对准台位置b，浮动锁固机构24为固定状态且矫正板锁固机构126为连接状态时，预先设定成从z轴方向来看时配置于xy平面上的薄片矫正板122及对准台11的中心位置及沿θ方向的转动角度为一致的定心位置。本实施方式的z轴方向的拘束单元设成由第二突起部126a的缩径部126ar及一对夹持构件126c的一对凹陷部126cr构成，然而不限于此，例如，若为连接于薄片矫正板122的构件及连接于第二定心锁126b的构件会各自以钩住的方案卡合而被拘束沿z轴方向的移动的构成，则可为任何的拘束单元。另外，于本实施方式中，一对第二凸部126ap及一对第二凹部126br设成相互对应的半球形状，然而不限于此，例如也可为相互对应的圆锥形状、截锥形状、圆筒形状及角柱形状等。
[0159]
＜有关使用薄片矫正机构的对位动作及回收动作＞
[0160]
首先，使用图5及图6来说明使用薄片矫正机构121的对位动作。此外，在初始状态，薄片矫正机构121在待机位置a停止，浮动锁固机构24呈固定状态，矫正板锁固机构126呈连接状态，吸附通口135a及负压管135b呈连通状态。
[0161]
通过滑动机构34使薄片矫正机构121从待机位置a移动至对准台位置b后，如图5的(a)部分所示，使之往z轴方向的下方(箭号ii(1)方向)移动，而使薄片矫正板122抵接于对准台11上的薄片s。此时，由于浮动锁固机构24处于固定状态，所以能够防止于移动中薄片矫正机构121呈不稳定的姿势，而且能够使薄片矫正板122配置于与对准台11在中心位置及沿θ方向的转动角度各自一致的定心位置。
[0162]
然后，如图5的(b)部分所示，将矫正板锁固机构126从连接状态切换到分离状态，使z轴方向的拘束单元呈非卡合状态。具体而言，首先，通过夹持用气缸126d使一对夹持构件126c以相互分离的方式沿x轴方向(箭头v(2)方向)移动。此时，从z轴方向来看，通过使一对凹陷部126cr从缩径部126ar分离，并且使其移动至不会与第二突起部126a的最外周面重叠的外侧位置为止，z轴方向的拘束单元呈非卡合，而可达到浮动机构23及薄片矫正板122的沿z轴方向的相对的移动。另外，通过滑动机构34使薄片矫正机构121往z轴方向的上方(箭头v(3)方向)移动，据此，xy平面内的拘束单元呈非卡合状态。据此方式，薄片矫正板122以在与对准台11之间夹持薄片s的方式载置于对准台11上。
[0163]
如以上所述，于本实施方式中，由于薄片s因薄片矫正板122的荷重而被从上方以
所希望的推压力负荷，所以能够矫正薄片s的变形。此外，设定成通过薄片矫正机构121从上方负荷的推压力不会因对准台11的沿xyθ轴的移动而使薄片矫正板122偏移，且xyθ轴电动致动器12能够平顺地执行对准台11的沿xyθ轴的移动。据此，薄片矫正板122能够在与对准台11之间夹持薄片s的状态下，不会偏移地追随伴随着对准台11的沿xyθ轴的移动的对位动作，所以能够抑制对薄片s的损伤等。
[0164]
其后，如图6的(a)部分所示，通过滑动机构34而使薄片矫正机构121往z轴方向的上方(箭号ii(4)方向)移动，进而使薄片矫正机构121从对准台位置b移动至待机位置a。据此，于回收保持机构135的吸附通口135a及负压管135b呈非连通状态。此时，由于浮动锁固机构24呈固定状态，所以能够防止薄片矫正机构121移动时呈不稳定的姿势。
[0165]
此外，有关对准单元10所为的对准动作，由于与第一实施方式的对准单元10相同，所以省略说明。
[0166]
其后，于对准单元10，通过控制单元判断于既定时间内已适当地进行薄片s的对位时，进行回收薄片矫正板122的回收动作。此外，在初始状态，薄片矫正机构121在待机位置a停止，浮动锁固机构24呈固定状态，矫正板锁固机构126呈分离状态。
[0167]
首先，如图6的(a)部分所示，通过滑动机构34使薄片矫正机构121从待机位置a移动至对准台位置b后，如图6的(a)部分所示，使其往z轴方向的下方(箭头ii(5)方向)移动。
[0168]
另外，如图6的(b)部分所示，使于矫正板锁固机构126中设于薄片矫正板122的上表面的一对第二突起部126a与第二定心锁126b接近。然后，使浮动锁固机构24的固定用气缸24c往z轴方向的上方(箭号iv(6)方向)移动，而将浮动机构23从固定状态切换至解除状态。之后，通过滑动机构34使薄片矫正机构121进一步往z轴方向的下方(箭号ii(7)方向)移动。
[0169]
然后，如图7的(a)部分所示，将矫正板锁固机构126从分离状态切换至连接状态。具体而言，通过滑动机构34而使薄片矫正机构121往z轴方向的下方移动，将第二凸部126ap及第二凹部126br也就是xy平面内的拘束单元设成沿z轴方向呈卡合状态，据此，可拘束浮动机构23及薄片矫正板122的于xy平面内的相对的移动。进而通过将缩径部126ar及凹陷部126cr也就是z轴方向的拘束单元设成沿x轴方向(箭号v(8)方向)呈卡合状态，可拘束浮动机构23及薄片矫正板122的于z轴方向的移动。据此，能够将薄片矫正板122从对准台11上回收。另外，于回收保持机构135中的吸附通口135a及负压管135b呈连接状态。此时，由于浮动机构23能够平顺地进行沿xyθ轴的移动及沿摆动方向的转动，所以不会对薄片矫正板122施加不需要的外力，而能够抑制对薄片s的损伤。
[0170]
其后，如图7的(a)部分所示，通过滑动机构34而使薄片矫正机构121往z轴方向的上方(箭号ii(9)方向)移动。然后，薄片矫正机构121从薄片s分离后，如图7的(b)部分所示，使浮动锁固机构24的固定用气缸24c往z轴方向的下方(箭号iv(10)方向)移动，将浮动机构23从解除状态切换至固定状态。然后，使薄片矫正机构121进一步往z轴方向的上方(箭号ii(11)方向)移动，使之从对准台位置b移动至待机位置a。
[0171]
相对于此，于对准单元10，通过控制单元判断于既定时间内未适当地进行薄片s的对位时，使用作为回收保持机构35而发挥功能的薄片矫正板122的吸附通口135a进行回收动作。此回收动作使用图6的(a)部分至图7的(b)部分来说明，然而于图7的(b)部分说明通过回收保持机构135将薄片s真空吸附于薄片矫正板122的下表面。此外，在初始状态，薄片
矫正机构121在待机位置a停止，浮动锁固机构24呈固定状态，矫正板锁固机构126呈分离状态。
[0172]
首先，通过滑动机构34使薄片矫正机构121从待机位置a移动至对准台位置b后，如图6的(a)部分所示，以使接近对准台11的方式使其往z轴方向的下方(箭头ii(5)方向)移动。
[0173]
另外，如图6的(b)部分所示，使浮动锁固机构24的固定用气缸24c往z轴方向的上方(箭号iv(6)方向)移动，而将浮动机构23从固定状态切换至解除状态。之后，通过滑动机构34使薄片矫正机构121进一步往z轴方向的下方(箭号ii(7)方向)移动。
[0174]
然后，如图7的(a)部分所示，将第二凸部126ap及第二凹部126br也就是xy平面内的拘束单元设成卡合状态。另外，使夹持用气缸126d沿x轴方向(箭号v(8)方向)移动，将缩径部126ar及凹陷部126cr也就是z轴方向的拘束单元设成卡合状态，而矫正板锁固机构126从分离状态切换至连接状态。此时，于回收保持机构135中的吸附通口135a及负压管135b呈连接状态。在使负压导入此负压管135b，使吸附通口135a真空吸附薄片s的状态下，将薄片矫正板122从对准台11上回收。
[0175]
其后，如图7的(a)部分所示，通过滑动机构34而使薄片矫正机构121往z轴方向的上方(箭号ii(9)方向)移动。然后，薄片矫正机构121从薄片s分离后，如图7的(b)部分所示，使浮动锁固机构24的固定用气缸24c往z轴方向的下方(箭号iv(10)方向)移动，将浮动机构23从解除状态切换至固定状态。据此，能够防止薄片矫正机构121移动之际呈不稳定的姿势。然后，使薄片矫正机构121进一步往z轴方向的上方(箭号ii(11)方向)及从对准台位置b往回收箱位置c移动。另外，使薄片矫正机构121往z轴方向的下方(箭号ii(12)方向)移动，而抵接于回收箱31的内侧底面或已回收的其它的薄片s。然后，解除于薄片矫正板122的吸附通口135a的吸附保持，而使薄片s载置于回收箱31后，通过滑动机构34使薄片矫正机构121移动至待机位置a。
[0176]
本实施方式的薄片矫正机构121，由于通过薄片矫正板122的荷重w而将来自上方的推压力负荷于薄片s，所以能够矫正薄片s的变形。另外，本实施方式的薄片矫正板122由于能够在与对准台11之间夹持薄片s的状态下，不会偏移地追随伴随着对准台11的沿xyθ轴的移动的对位动作，所以能够抑制对薄片s的损伤。而且，于本实施方式中，对准台11于薄片矫正机构121矫正薄片s的变形后，吸附着薄片s，因此，能够避免于薄片s产生不可逆的皱折。