一种半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置的制作方法

文档序号:26041351发布日期:2021-07-27 13:52阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:包括底板、支架和加压装置;支架包括横梁,横梁底部长度方向的两端设有相对设置的两条支撑腿;底板位于两条支撑腿之间的底部;加压装置包括丝杆、定位销、轴承和压块;横梁上设有螺纹孔,丝杆螺纹连接在螺纹孔上,丝杆的顶部从横梁顶部穿出、底部从横梁底部穿出,压块通过轴承连接在丝杆底部,压块位于底板上方、横梁的下方;压块底部设有开口向下的v型通槽;压块的顶部设有两根竖直、且相对设置的定位销,两根定位销分别位于丝杆的两侧;横梁上设有与两根定位销相对应的两个导向孔,两根定位销的顶部分别从横梁上对应的导向孔中穿出。

2.如权利要求1所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:v型通槽的顶角为85~95°。

3.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:定位销螺纹连接在压块上。

4.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:丝杆顶部设有旋转把手。

5.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:底板和压块所用材质均为铝合金。

6.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:支架、丝杆和定位销所用材质均为不锈钢。

7.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:底板长度方向上设有两套相对设置的加压装置。

8.如权利要求1或2所述的半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,其特征在于:螺纹孔设在横梁上长度方向的中央位置。


技术总结
本实用新型公开了一种半导体锗单晶棒与晶托粘接固定装置,包括底板、支架和加压装置;支架包括横梁,横梁底部长度方向的两端设有相对设置的两条支撑腿;底板位于两条支撑腿之间的底部;加压装置包括丝杆、定位销、轴承和压块;横梁上设有螺纹孔,丝杆螺纹连接在螺纹孔上,丝杆的顶部从横梁顶部穿出、底部从横梁底部穿出,压块通过轴承连接在丝杆底部,压块位于底板上方、横梁的下方;压块底部设有开口向下的V型通槽;压块的顶部设有两根竖直、且相对设置的定位销,两根定位销分别位于丝杆的两侧;横梁上设有与两根定位销相对应的两个导向孔,两根定位销的顶部分别从横梁上对应的导向孔中穿出。上述装置使用方便,粘接牢固,提高了工作效率,降低了损失。

技术研发人员:张国辉;柯尊斌;王卿伟
受保护的技术使用者:中锗科技有限公司
技术研发日:2021.01.25
技术公布日:2021.07.27
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