一种新型硅片水平插片机构的制作方法

文档序号:31636700发布日期:2022-09-24 04:31阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种新型硅片水平插片机构,包括支撑水箱(1)和用于密封支撑水箱(1)后端的导向板(11),所述导向板(11)安装在支撑水箱(1)的后端,其特征在于,还包括:用于对硅片进行裂纹检测和剔除的检测剔除组件(2),所述检测剔除组件(2)安装在支撑水箱(1)的上端;用于对有裂纹的硅片收纳的第一收纳组件(3),所述第一收纳组件(3)安装在支撑水箱(1)的内部;用于对质量合格的硅片放置的第二收纳组件(4),所述第二收纳组件(4)滑动安装在导向板(11)内侧。2.根据权利要求1所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述检测剔除组件(2)包括倾斜滑板(21)和导向板一(24),所述倾斜滑板(21)安装在支撑水箱(1)的左上端,所述导向板一(24)安装在倾斜滑板(21)的两侧上端。3.根据权利要求2所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述倾斜滑板(21)的下端安装有防水盒(231),所述防水盒(231)内部安装用于对硅片裂纹扫描的红外扫描仪一(23),所述倾斜滑板(21)上端内壁安装透明密封板(213),所述透明密封板(213)设置在红外扫描仪一(23)的上侧。4.根据权利要求2所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述导向板一(24)的上端通过螺栓安装l形支撑架(241),所述l形支撑架(241)的下端安装有用于对硅片裂纹扫描的红外扫描仪二(242),所述l形支撑架(241)的上端安装单片机(25),所述单片机(25)分别电性连接红外扫描仪二(242)和红外扫描仪一(23)。5.根据权利要求2所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述倾斜滑板(21)的左端内壁开设有向倾斜滑板(21)上端出水的出水孔(214),所述倾斜滑板(21)的左下端安装有外接水管的进水盒子一(22),所述倾斜滑板(21)的下端固定安装支撑块(26),所述支撑块(26)内壁安装支撑杆(261),所述支撑杆(261)连接支撑水箱(1),所述倾斜滑板(21)的下端安装有对有裂纹的硅片导向的导向柱(27)。6.根据权利要求2所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述倾斜滑板(21)右端内壁开设有硅片下落孔(212),所述硅片下落孔(212)内侧转动安装挡板(215),所述倾斜滑板(21)的侧端安装电机(211),所述电机(211)输出端连接挡板(215)。7.根据权利要求1所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述第一收纳组件(3)包括支撑板(31)和防水伸缩杆一(32),所述支撑板(31)的上端连接在倾斜滑板(21)的右下端,所述支撑板(31)的下端安装在支撑水箱(1)内部,所述防水伸缩杆一(32)安装在支撑板(31)上。8.根据权利要求7所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述支撑水箱(1)内部安装裂痕硅片收纳柜(36),所述裂痕硅片收纳柜(36)的开口端和支撑板(31)之间安装导向支撑板(34),所述导向支撑板(34)上端安装导向板二(35),所述导向支撑板(34)的右下端安装用于向导向支撑板(34)上端出水的进水盒子二(33),所述进水盒子二(33)外接水管。9.根据权利要求1所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述第二收纳组件(4)包括硅片放置盒(42)和滑杆(43),所述滑杆(43)一端滑动安装在导向板(11)内壁,所述硅片放置盒(42)连接在滑杆(43)的另一端。
10.根据权利要求9所述的一种新型硅片水平插片机构,其特征在于,所述导向板(11)的右端安装伸缩杆二(41),所述伸缩杆二(41)的输出端和硅片放置盒(42)的上端之间安装连接杆(44)。

技术总结
本发明公开的属于硅片插片机技术领域,具体为一种新型硅片水平插片机构,包括支撑水箱和用于密封支撑水箱后端的导向板,所述导向板安装在支撑水箱的后端,还包括:用于对硅片进行裂纹检测和剔除的检测剔除组件,所述检测剔除组件安装在支撑水箱的上端;用于对有裂纹的硅片收纳的第一收纳组件,所述第一收纳组件安装在支撑水箱的内部;用于对质量合格的硅片放置的第二收纳组件,本发明有益效果是:通过对硅片滑落的时候,对滑落的路径上设置红外扫描仪对硅片质量进行扫描检测,当遇到有裂痕的硅片时,自动对滑落路径上的挡板转动,使有裂痕的硅片导向下落,把有裂痕的硅片进行集中收集,对质量良好的硅片滑落到收纳盒内。对质量良好的硅片滑落到收纳盒内。对质量良好的硅片滑落到收纳盒内。


技术研发人员:许玉雷
受保护的技术使用者:济南晶博电子有限公司
技术研发日:2022.06.21
技术公布日:2022/9/23
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