一种真空电容传感器介质膜的制备方法

文档序号:8320493阅读:265来源:国知局
一种真空电容传感器介质膜的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空电容传感器介质膜的制备方法。
【背景技术】
[0002]真空电容传感器是图形发射器磁带机一个重要组成器件,磁带机通过其电容值的改变来控制数据带的走、停、进、退,一旦真空电容传感器出现介质膜破损、漏气或电容器的银层极板断裂,造成磁带机吸不上带等故障,磁带机就无法读取数据,图形发射器就不能正常刻板,需要购买新设备,而该设备的真空电容传感器进口价格约十几万人民币,十分昂虫贝ο

【发明内容】

[0003]本发明的目的是提供一种制造方法简单,成本低的真空电容传感器介质膜的制备方法。
[0004]实现本发明目的的制备方法由以下几个步骤完成:
[0005]1.1选介质膜:根据真空电容传感器的旧膜参数选取
[0006]1.2刻红膜:根据所选红膜尺寸,在其上刻相同的图形
[0007]1.3蒸铝:在选好的介质膜上蒸一层铝,电阻控制在10-30欧姆
[0008]1.4、光刻极板:在蒸好铝的膜上均上一层感光膜胶,放入烘箱烘干,用刻好的红膜对其复印、曝光、显影、腐蚀、去胶。
[0009]此种制备方法,制膜工艺简单,且制备的膜层质量可靠,耐磨性能好,使用周期长,成本低,我们制备一张新膜仅需要几十元,一旦真空电容传感器出现介质膜破损、漏气情况,不需要购买新设备,只需用制备好的新膜换掉旧膜,不仅解决了图形发生器备件昂贵不易购买的难题,而且大大延长了机器的使用寿命。
【附图说明】
[0010]图1为本发明制作方法流程图
[0011]图2为红膜上所刻一组图形
【具体实施方式】
[0012]如图1所示,首先选介质膜,可根据真空电容传感器的旧膜参数选取。真空电容传感器介质膜的材料为聚氧乙烯,膜厚30个微米左右,要求所选的膜无破损、无皱痕。刻红膜:取一张20CmX30Cm的红膜,在其刻上5组相同的图形(刻5组是提供给我们较大的选择性),其中每组的中间条纹是我们的极板图形,侧面两条为辅助条纹,可以帮助定位,条纹区的红膜被刻掉,成为透光区,其它有红膜的部位是遮光区,红膜上所刻的一组图形如图2所示。蒸铝:真空电容传感器旧的极板附着了一层银,所以给新膜上蒸一层银是最佳选择,在不具备蒸银条件的情况下,可采用蒸铝,从原理上讲,它对电容器的性能影响不大。选取一块符合要求的20cmX27cm的介质膜,在其上蒸一层铝,铝的附着性能好,电阻控制在10-30欧姆。光刻极板:在蒸好铝的膜上均上一层感光膜胶,放入烘箱烘干,用刻好的红膜对其复印、曝光、显影、腐蚀、去胶,就会在膜上得到多组铝条,选取其中一条无针孔、无断裂、附着好的作为新的电容传感器的极板,将它沿外辅助条纹外侧剪下待用。安装:将制备好的膜安装在电容传感器上,用2cm左右的垫层和双面胶将膜周围一圈固定在传感器上,在周围涂上硅胶,待硅胶凝固后,在进行接线安装。统调:安装完毕后,进行磁带机统调,找到上下电容传感器的工作点(中线)、进带点(上一寸),退带点(下一寸)即可,统调完毕后,磁带机就可读取数据。
【主权项】
1.一种真空电容传感器介质膜的制备方法,其特征在于:包括以下步骤: 1.1、选介质膜:根据真空电容传感器的旧膜参数选取 1.2、刻红膜:根据所选红膜尺寸,在其上刻相同的图形 1.3、蒸铝:在选好的介质膜上蒸一层铝,电阻控制在10-30欧姆 1.4、光刻极板:在蒸好铝的膜上均上一层感光膜胶,放入烘箱烘干,用刻好的红膜对其复印、曝光、显影、腐蚀、去胶。
【专利摘要】本发明公开了一种真空电容传感器介质膜的制备方法,真空电容传感器是图形发射器磁带机一个重要组成器件,容易发生介质膜破损,本发明通过选介质膜、刻红膜、蒸铝、光刻极板、安装、调试等步骤制作一个新膜以代替破损的旧膜,制造方法简单,成本低,仅为十几元,且新膜的耐磨性能好,安装方便。
【IPC分类】H01G5-013, H01G5-01
【公开号】CN104637685
【申请号】CN201310567788
【发明人】鞠洪建
【申请人】大连康赛谱科技发展有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月14日
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