子光学系统的控制，由电子光学系统控制部110来执行。此外，试样105的位置控制由通过工作台控制部112控制的工作台来执行。整体控制部和解析部113是对SEM式缺陷观察装置整体进行综合控制的控制部，处理来自具备显示器、键盘和鼠标等的操作部115和存储装置116的输入信息，对电子光学系统控制部110、工作台控制部112、图像处理部114等进行控制，根据需要向操作部115中包含的显不部、存储装置116输出处理结果。
[0042]图像处理部114、整体控制部和解析部113，由计算机等信息处理装置构成。例如，整体控制部和解析部113由CPU、存储部(例如存储器和硬盘等)和具备显示器、键盘以及鼠标等的操作部115构成。这种情况下，整体控制部和解析部113能够通过软件来实现，并能够通过CPU来执行所期望的运算处理的程序来实现。同样地，图像处理部114也能够通过软件来实现。此外，图像处理部114、整体控制部和解析部113可以分别由信息处理装置构成，也可以由一个信息处理装置构成。
[0043]此外，利用图像处理部114、整体控制部和解析部113执行的处理也能够以硬件方式实现。在通过硬件执行的情况下，通过将执行处理的多个运算器集成在配线基板上、或半导体基片、或封装内来实现。
[0044]图2表示了图1的整体控制部和解析部113的细节图。图2所示的操作/解析部201是将图1的整体控制部和解析部113与操作部115统一后表现出的部件。
[0045]操作/解析部201具备缺陷数据存储部202、图像数据存储部203、解析参数存储部204、解析结果数据存储部205。缺陷数据存储部202、图像数据存储部203、解析参数存储部204、解析结果数据存储部205可以由构成整体控制部和解析部113的信息处理装置的硬盘来构成。此外，在操作/解析部201被组装到图1所示的SEM式缺陷观察装置中的情况下，缺陷数据存储部202、图像数据存储部203、解析参数存储部204、解析结果数据存储部205也可以被统一到图1的存储装置116中。
[0046]缺陷数据存储部202中存储有在上位的检测装置中检测出的缺陷坐标等缺陷信息。图像数据存储部203中存储有通过SEM式缺陷观察装置拍摄的缺陷图像。这里，缺陷图像可以包含通过缺陷检查装置拍摄的低倍率图像，以及ADR处理后的高倍率图像。解析参数存储部204中存储有在图像取得、图像解析时要执行的多个执行条件(多个参数)。作为多个执行条件的例子，有帧的累计张数、加速电压的电压值、探针电流的电流值等参数。此外，作为多个执行条件，也可以存储ADR条件、ADC条件等参数。解析结果数据存储部205中存储有操作/解析部201的处理结果的数据。例如，解析结果数据存储部205中存储有在多个执行条件下被处理的图像、根据各执行条件进行了处理的情况下的处理时间或者吞吐量的信息等。
[0047]操作/解析部201根据来自操作部115的操作指示，通过组装到整体控制部和解析部113中的CPU，执行预定程序。由此，操作/解析部201能够实现多个功能。例如，操作/解析部201从缺陷数据存储部202取得缺陷信息，并从图像数据存储部203取得缺陷图像。然后，操作/解析部201从解析参数存储部204取得多个执行条件，并针对各执行条件对缺陷图像执行处理。操作/解析部201将执行过处理的图像等信息存储在解析结果数据存储部205中。
[0048]此外，并不限于将图1所示的整体控制部和解析部113组装到SEM式缺陷观察装置中的结构，也可以独立于图1所示的SEM式缺陷观察装置地构成图2所示的操作/解析部201。这种情况下，SEM式缺陷观察装置与操作/解析部201例如通过网络而连接。
[0049]图3是像漂移修正的概念图。这里，说明针对发生了漂移的第I帧图像301、第2帧图像302、第3帧图像303这三张来执行漂移修正。首先，以第2帧图像302为基准，计算第I帧图像301的漂移量，并仅以与计算出的漂移量对应的量使重叠位置发生偏移来进行累计(304)。同样地，以第2帧图像302为基准，计算第3帧图像303的漂移量，并仅以与计算出的漂移量对应的量使重叠位置发生偏移来进行累计(304)。考虑所计算的漂移量使3张帧图像重叠的结果，是帧累计图像304。
[0050]图3的示例中，以第2帧图像302为基准计算了漂移量，然而也可以以最初取得的第I帧图像301为基准，也可以在连续的帧图像之间重复进行计算漂移量的处理。此外，这里，作为最终的漂移修正图像305，在帧累计图像304中将帧图像301、302、303全部3张的共有部分切出，然而也可以实施以特定的像素值来填埋相对所期望的图像尺寸不足的区域，或者以根据周围像素值通过图像处理计算出的像素值来填埋不足区域等的处理。这些像漂移修正处理通过图像处理部114来执行。此外，像漂移修正处理也可以通过整体控制部和解析部113来执行。
[0051]〈第I实施例〉
[0052]以下说明SEM式缺陷观察装置中的第I实施例的执行条件的最佳化处理。图4是帧图像累计张数最佳化处理的流程图。以下，作为执行条件的一例，说明使帧图像的累计张数最佳化的处理。这里，设以下处理的主体为整体控制部和解析部113。
[0053]在步骤401中，首先，整体控制部和解析部113从解析参数存储部204取得与帧累计张数相关的多个参数。然后，整体控制部和解析部113从图像数据存储部203中取得成为评价对象的最大数的帧图像。
[0054]在步骤402中，整体控制部和解析部113，对取得的帧图像，使用图像处理部114改变帧累计张数(即，根据取得的多个参数)，执行漂移修正处理。整体控制部和解析部113将漂移修正处理等执行结果存储在解析结果数据存储部205中。
[0055]接着，在步骤403中，整体控制部和解析部113将帧累计张数和各个累计张数中的漂移修正处理结果的图像，以对应关系明了的形式，在操作部115的显示部(例如显示器)中进行一览显示。后面说明该操作部115的显示部的画面的细节。
[0056]接着，在步骤404中，用户从一览显示的漂移修正图像中选择最佳图像。整体控制部和解析部113经由操作部115取得由用户选择出的图像的信息。由此，能够容易地设定最佳漂移修正条件。
[0057]最后，在步骤405中，整体控制部和解析部113将所设定的漂移修正条件反映到存储装置116中存储的配方中。由此，能够应用于下次以后的缺陷观察。若按照这样的流程图，则用户能够容易地设定最佳的漂移修正条件。
[0058]图5是用于帧图像的累计张数最佳化设定的GUI (第I画面)的一例，是图4的步骤403中显示的画面的第I例。
[0059]图5的⑶I具备帧累计张数显示部501、显示修正处理前的累计图像的修正处理前图像显示部502、显示修正处理后的累计图像的修正处理后图像显示部503以及显示修正处理的执行时间的处理时间显示部504。
[0060]在帧累计张数显示部501中显示将成为评价对象的最小帧累计张数、最小帧累计张数的2倍、最小帧累计张数的4倍进行比较评价的帧累计张数。此外，帧累计张数的选择并不限于该方法，也可以是最小值、中间值、最大值的组合，也可以不是固定值而能够由用户任意设定。此外，比较数也不受限于3种，也可以将成为评价对象的帧累计张数全部进行一览显示，也可以采用多次重复选择处理而阶段性地确定最佳值的方法。
[0061]在修正处理前图像显示部502中显示与各累计张数相关的修正处理前的累计图像。如图5所示，在发生像漂移的情况下，通过对图像进行累计，显眼地(加粗地)显示评价对象图像中包含的图案的边缘部分的偏移。在该例中，由于发生了像漂移，因此累计张数越增加，评价对象图像中包含的图案的边缘部分的偏移显示得越大。此外，在成为缺陷观察对象的样本中，由于存在无需执行漂移修正处理的样本，因此，通过显示未执行漂移修正处理的帧累计图像，也能够判断是否需要漂移修正处理。
[0062]此外，在修正处理后图像显示部503中显示与各累计张数相关的修正处理后的累计图像。通过修正处理，在各累计张数中图案的边缘部分的偏移变小。这样，与各帧累计张数对应的修正处理前的图像和修正处理后的图像被以能够与帧累计张数对应的形式来显不O
[0063]此外，在处理时间显示部504中，以与各帧累计张数、各帧累计图像的对应关系明了的形式，显示漂移修正处理时间。用户能够从实际上执行了漂移修正处理的结果的漂移修正图像(503)、漂移修正处理所需要的处理时间(504)的组合中，容易地选择最佳条件。在图5的例中，选择了累计张数为8张的图像(505)。当在选择了最佳图像后按压按钮506时，选择出的最佳条件(这里，累计张数=8)作为下次以后的漂移修正条件而保存在配方中。
[0064]以下，说明在帧图像的累计张数最佳化设定中显示的其他画面的例子。图6是用于帧图像的累计张数最佳化设定的GUI (第2画面)的一例，是图4的步骤403中显示的画面的第2例。
[0065]在SHM式缺陷观察装置中，在观察由上位的缺陷检查装置所检测出的缺陷坐标时，由于发生了缺陷的制造图案是多种多样的，因此，进行与多种多样的制造图案对应的条件设定是重要的。理想地，如果针对多种多样的制造图案存在有效参数，则采用该参数即可，然而另一方面，对于这样的参数大多处理时间长。用户需要考虑与处理时间的平衡来设定最佳参数，成为难度高的作业。
[0066]图6是将图5中例示的帧累计张数的最佳设定应用于多个评价样本的结果进行累计频度显示的图。在图6的图表中，横轴中取帧累计张数601、纵轴(左)中取累计频度602、纵轴(右)中取漂移修正处理时间603。此外，在图6的图表中描绘了各帧累计张数中的平均漂移修正处理时间，并显示了该描绘出的点的近似直线605。在图6的例示中，将修正处理时间进行直线近似来显示，然而有时根据修正处理算法而无法显示为直线状，这种情况下，也可以以近似曲线显示，只要能够确认针对多个评价样本的累计频度和各帧累计张数中的漂移修正处理时间即可。
[0067]通过如此进行图表显示，能够针对多个评价样本综合地确认用户判断为最佳的结果。例如，能够根据累计频度达到100%的帧累计张数(604)，针对全部评价样本，判断用于实现用户能够满意的品质的最小帧累计张数。在图6的例示中，在帧累计数为14的情况下累计频度达到100%。因此，若设帧累计数为14，则针对全部