评价样本能够得到用户判断为最佳的品质。此外，此时能够确认漂移修正处理时间为300nm程度。
[0068]此外，在存在漂移修正处理时间的制约的情况下，例如，能够显示成为制约的漂移修正处理时间606a、606b。该制约时间可以预先设定，也可以由用户任意输入。例如，606a是将成为制约的漂移修正处理时间的制约时间设定为350ms的情况。该情况下，全部累计帧数的漂移修正处理时间均不到制约时间，因此，用户选择累计频度为100%的帧累计数即可。
[0069]例如，606b是将成为制约的漂移修正处理时间的制约时间设定为250ms的情况。可知满足该制约时间是帧累计数为12以下。这里，在帧累计数为12的情况下，能够确认累计频度为95%，用户判断为最佳的品质是95%的程度。若用户在该制约时间中设帧累计数为12，则可知基本获得了用户满意的品质。这样，考虑每个帧累计数的累计频度602和漂移修正处理时间603两者，能够选择最佳的参数。若用户在选择最佳帧累计数之后按压按钮608，则所选择的最佳条件(这里，累计张数=14)作为下次以后的漂移修正条件而保存在配方中。
[0070]此外，上述例中，作为执行条件的一例，说明了使帧累计张数最佳化的处理，然而进行最佳化的执行条件(参数)不限于帧累计张数。如上述，作为执行条件，也能够对加速电压的电压值、探针电流的电流值等参数进行最佳化处理。这种情况下，与多个加速电压的条件相关地在显示部中显示图像，用户选择最佳的加速电压的条件。此外，在设定加速电压等条件的情况下，可以在帧累计张数的最佳化处理之前进行执行。
[0071]根据本实施例，针对多个漂移修正条件(帧累计数)执行漂移修正处理，并对应地显示多个漂移修正条件和在多个漂移修正条件下执行修正处理后的漂移修正图像。因此，在发生了像漂移的情况下也能够容易地决定观察图像的最佳修正条件。此外，即使在由于成为观察对象的制造图案的多样性导致最佳漂移修正条件针对每个评价样本而变化的情况下，用户也能够容易地设定最佳条件。
[0072]〈第2实施例>
[0073]以下说明SHM式缺陷观察装置中的第2实施例的执行条件的最佳化处理。第2实施例涉及兼顾缺陷自动观察(ADR:Automatic Defect Review或者Redetect1n)的缺陷检测率和吞吐量的最佳观察条件设定处理。ADR是对上位的缺陷检查装置所输出的缺陷坐标的误差进行修正，对缺陷区域、缺陷坐标等进行检测，并取得高品质的缺陷图像的处理。图7是兼顾ADR的缺陷检测率和吞吐量的条件设定处理的流程图。以下，作为执行条件的一例，说明使帧图像的累计张数最佳化的处理。
[0074]在SEM式缺陷观察装置中，在对上位的缺陷检查装置所检测出的缺陷坐标的图像利用ADR进行自动拍摄时，考虑缺陷检查装置的缺陷检测坐标精度，首先，以缺陷收纳于视野内的低倍率取得图像，使用取得的低倍率图像进行缺陷检测，接着，以检测出的缺陷坐标为视野中心的方式，取得高品质的高倍率图像。关于进行缺陷检测的低倍率图像，相比用户所看到的印象，重要的是能够利用ADR进行缺陷检测。因此，在ADR进行缺陷检测的低倍率图像中，ADR能否正确地检测缺陷位置成为参数设定的重要指标。
[0075]一般地，在帧累计图像中，随着累计张数增加噪音成分减少，因此，从缺陷检测率的观点来看，优选累计张数多，然而累计张数增加，处理时间也增加。特别地，在进行漂移修正处理的情况下，需要对各帧图像间的漂移量进行计算的处理，因此帧累计所需要的处理时间的增加成为问题。在这样的条件下，考虑ADR的缺陷检测率与包含帧累计处理时间的ADR的吞吐量的平衡，需要设定最佳条件，在配方设定中成为难度高的设定项目。
[0076]以下说明图7的流程图。这里，设以下处理的主体是整体控制部和解析部113。
[0077]在步骤701中，首先，整体控制部和解析部113从解析参数存储部204取得与帧累计张数相关的多个参数。然后，整体控制部和解析部113从图像数据存储部203中取得成为评价对象的最大数的帧图像。
[0078]接着，在步骤702中，整体控制部和解析部113，对取得的帧图像，使用图像处理部114改变帧累计张数(即，根据取得的多个参数)，执行漂移修正处理。
[0079]接着，在步骤703中，首先，整体控制部和解析部113针对漂移修正处理前的各帧累计图像，执行ADR处理。进而，整体控制部和解析部113针对改变帧累计张数而执行了漂移修正处理的各帧累计图像执行ADR处理。然后，整体控制部和解析部113将ADR处理的执行结果存储在解析结果数据存储部205中。
[0080]接着，在步骤704中，整体控制部和解析部113将各帧累计张数中的漂移修正图像、ADR对各漂移修正图像所检测出的缺陷位置、以及各漂移修正图像中的ADR的吞吐量，以对应关系明了的形式，在操作部115的显示部(例如显示器)中进行一览显示。后面说明该操作部115的显示部的画面的细节。
[0081]接着，在步骤705中，用户从一览显示的漂移修正图像和ADR执行结果中选择最佳图像。整体控制部和解析部113经由操作部115取得由用户选择出的图像的信息。由此，能够容易地设定考虑了 ADR的最佳漂移修正条件。
[0082]最后，在步骤706中，整体控制部和解析部113将考虑了 ADR的最佳漂移修正条件反映到存储装置116中存储的配方中。由此，能够应用于下次以后的缺陷观察。若按照这样的流程图，则用户能够容易地设定考虑了 ADR的最佳漂移修正条件。
[0083]图8是用于兼顾ADR的缺陷检测率和吞吐量的条件设定的GUI的一例，是图7的步骤704中显示的画面的例子。
[0084]图8的⑶I具备ADR结果的显示选择部801、帧累计张数显示部802、显示修正处理前的累计图像的修正处理前图像显示部803、显示修正处理后的累计图像的修正处理后图像显示部806、显示修正处理的执行时间的处理时间显示部807、以及显示ADR的吞吐量的吞吐量显示部808。
[0085]ADR结果的显示选择部801选择是否将ADR的结果重叠显示，在被打钩了的情况下，ADR的结果(缺陷区域804和缺陷坐标805)被以与图像重叠的形式来显示。在图8的例示中显示将ADR所检测的缺陷区域804以多角形分组后的结果，然而也可以不进行分组处理地将所检测的全部缺陷区域进行叠加(overlay)显示。此外，在图8的例示中，ADR所检测出的缺陷坐标805采用了缺陷区域804的重心，然而，也可以例如考虑像素值等对缺陷的特征量(例如亮度等)进行定义，将判断为最像缺陷的像素作为缺陷坐标，只要采用与ADR的缺陷检测算法对应的定义即可。
[0086]在帧累计张数显示部802中显示将成为评价对象的最小帧累计张数、最小帧累计张数的2倍、最小帧累计张数的4倍进行比较评价的帧累计张数。此外，帧累计张数的选择并不限于该方法，也可以是最小值、中间值、最大值的组合，也可以不是固定值而能够由用户任意设定。此外，比较数也不受限于3种，可以将成为评价对象的帧累计张数全部进行一览显示，也可以采用多次重复选择处理而阶段性地确定最佳值的方式。
[0087]在修正处理前图像显示部803中显示与各累计张数相关的修正处理前的累计图像。在发生像漂移的情况下，通过对图像进行累计，显眼地(加粗地)显示评价对象图像中包含的图案或缺陷的边缘部分的偏移。在图8的例中，由于存在像漂移和噪音成分，因此累计张数越少则缺陷区域804被越宽地检测。结果，在帧累计张数为4、8的情况下，缺陷坐标805相对于缺陷位置811偏移而被检测。此外，在成为缺陷观察对象的样本中也存在无需执行漂移修正处理的样本，因此通过显示未执行漂移修正处理的帧累计图像，也能够判断是否需要漂移修正处理。
[0088]此外，在修正处理后图像显示部806中显示与各累计张数相关的修正处理后的累计图像。如图8所示，将与各帧累计张数对应的修正处理前的图像和修正处理后的图像，以能够与帧累计张数对应的形式进行显示。此外，通过修正处理，在各累计张数中图案或缺陷的边缘部分的偏移变小，结果，缺陷区域804比修正处理前小。由此，缺陷坐标805相对于缺陷位置811的偏移也变小。
[0089]此外，将漂移修正处理时间以与各帧累计张数、显示ADR结果的各帧累计图像的对应关系明了的形式，显示在处理时间显示部807中。此外，将包含漂移修正处理时间的ADR的吞吐量以与各帧累计张数、显示ADR结果的各帧累计图像的对应关系明了的形式，显示在吞吐量显示部808中。对于应用了 ADR的情况下的处理时间，大多被作为包含漂移修正处理时间的ADR吞吐量而讨论，因此，不仅是漂移修正处理时间(807)，还优选一并记载ADR的吞吐量(808)。
[0090]通过使用这样的⑶I，用户能够从实际上执行了漂移修正处理的图像、针对各漂移修正图像的ADR结果、以及针对各漂移修正图像的ADR的吞吐量的组合中，容易地选择最佳条件(809)。当在选择了最佳图像后按压按钮810时，选择出的最佳条件(这里，累计张数=8)作为下次以后的考虑了 ADR的漂移修正条件而保存在配方中。
[0091]此外，图7的步骤704中，可以显示与图6中例示的画面相同的内容。针对多个样品的考虑了 ADR的漂移修正条件的最佳化，能够同样地与图6中例示的内容对应。图6中显示了图5中用户判定为最佳的图像的累计频度。与此相对地，在考虑了 ADR的漂移修正条件最佳化的情况下，在图8中只要考虑显示用户考虑了 ADR而判断为最佳的图像的累计频度即可。此外，在本实施例中，不限于累计频度，也可以显示其他信息。例如，用户判断为最佳的图像意味着能够正确检测缺陷坐标，因此，通过将用户判断为最佳的图像的缺陷坐标与其他帧累计数的图像的缺陷坐标相比较，能够针对各帧累计数计算缺陷的检测率。这种情况下，也在图表中显示与各帧累计数对应的检测率。此外，图6中以漂移修正处理时间为第二轴进行图表显示，然而在考虑了 ADR的漂移修正条件最佳化的情况下，也可以将包含漂移修正处理时间的ADR的吞吐量进行图表显示。
[0092]根据本实施例，即使在由于成为观察对象的制造图案的多样性而导致对于每个样本的最佳漂移修正条件发生变化的情况下，也能够容易地选择考虑了 ADR的漂移修正条件。此外，在设定处理中显示了包含漂移修正处理时间的ADC的吞吐量，因此能够容易地设定兼顾ADR的缺陷检测率与吞吐量的条件。