Rf变压器的制造方法
【专利说明】RF变压器
[000。发巧巧术领域
[0002] 本发明设及一种RF变压器，具体用于做为储能电路的一部分供电。就该一点而 言，还提供了一种用于向包括该种RF变压器的离子光学设备提供电势的电源。还披露了一 种运行RF变压器的方法。
[0003] 发巧背景
[0004] 在质谱分析法中，高压RF电源广泛用于向不同的离子光学设备提供电势，如滤质 器、碰撞池、转移多极等。通常，该种RF电源提供RF电压的两个互补相位，该RF电压具有在 100V峰到峰至化V峰到峰的范围内的幅度，处于在相对于接地端的一个相位上测量的0. 3 和3MHz之间的频率。
[0005] 从实际角度来看，通常基于谐振回路原理建立该种RF电源。RF电源中的RF变压 器的输出电感和离子光学设备的本身电容（如在输入端所定义的）呈谐振回路。通常，RF 电源仅具有一个RF变压器，该RF变压器具有在100和200之间的品质因数怕)、30和50 之间的变压比（n)和24VDC或48VDC的电源电压。此结构有利地简单并保持电源中的RF 阶段的功耗较低。用熟知的公式描述储能电路的谐振频率，
[0006]
【主权项】
1. 一种用于作为储能电路的一部分供电的RF变压器，包括： 一次侧，具有至少一个主绕组和至少一个短路绕组，该至少一个主绕组被配置成用于 接收RF输入； 二次侧，具有电感地耦合至该一次侧的该至少一个主绕组的第一绕组和电感地耦合至 该一次侧的该至少一个短路绕组的第二绕组；以及 开关安排，在其中该一次侧的该至少一个短路绕组被短路的第一状态和其中该一次侧 的该至少一个短路绕组未被短路的第二状态之间可调节，这样使得通过在该第一和第二状 态之间调节来改变该储能电路的谐振频率。
2. 如权利要求1所述的RF变压器，其中，该二次侧的该第一绕组和该二次侧的该第二 绕组串联连接。
3. 如权利要求1或权利要求2所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少一个短路绕 组与该二次侧的该至少一个主绕组电流地隔离。
4. 如以上任何一项权利要求所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少一个主绕组之 一电感地耦合至该二次侧的该第二绕组。
5. 如以上任何一项权利要求所述的RF变压器，进一步包括： 至少一个铁芯，该一次侧的该至少一个主绕组和至少一个短路绕组通过该至少一个铁 芯电感地耦合至该二次侧的该第一绕组和该第二绕组。
6. 如权利要求5所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯包括第一铁芯，该一次侧的至 少一个主绕组和该二次侧的该第一绕组通过该第一铁芯电感地耦合。
7. 如权利要求6所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯进一步包括第二铁芯，该一次 侧的至少一个短路绕组和该二次侧的该第二绕组通过该第二铁芯电感地耦合。
8. 如权利要求7所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少一个主绕组包括第一主绕 组和进一步的主绕组，该第一主绕组和该进一步的主绕组串联连接，并且其中，该二次侧的 该第一绕组与该二次侧的该第二绕组串联连接。
9. 如权利要求8所述的RF变压器，进一步包括位于该二次侧上的该第一绕组和该第二 绕组之间的DC偏置电压输入端。
10. 如权利要求7所述的RF变压器，其中，该一次侧的第一主绕组和该二次侧的该第一 绕组通过该第一铁芯电感地耦合，并且其中，该至少一个铁芯进一步包括第三铁芯，该一次 侧的第二主绕组和该二次侧的第三绕组通过该第三铁芯电感地耦合。
11. 如权利要求10所述的RF变压器，其中，该一次侧的第一短路绕组和该二次侧的该 第二绕组通过该第二铁芯电感地耦合，并且其中，该至少一个铁芯进一步包括第四铁芯，该 一次侧的第二短路绕组和该二次侧的第四绕组通过该第四铁芯电感地耦合。
12. 如权利要求10所述的RF变压器，其中，该二次侧的该第二和第四绕组直接串联电 连接。
13. 如权利要求12所述的RF变压器，其中，该二次侧的该第一绕组在一侧与该二次侧 的该第二和第四绕组串联连接，并且其中，该二次侧的该第三绕组在另一侧与该二次侧的 该第二和第四绕组串联连接。
14. 如权利要求13所述的RF变压器，进一步包括位于该二次侧上的该第二和第四绕组 之间的DC偏置电压输入端。
15. 如权利要求7至14中任意一项所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少一个主 绕组包括进一步的主绕组，并且其中，该一次侧的该进一步的主绕组和该二次侧的该第二 绕组通过该第二铁芯电感地耦合。
16. 如当从属于权利要求11时权利要求15所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少 一个主绕组包括附加主绕组，并且其中，该一次侧的该附加主绕组和该二次侧的该第四绕 组通过该第四铁芯电感地耦合。
17. 如权利要求5至16中任意一项所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯中的每个 铁芯是磁芯。
18. 如权利要求17所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯中的每个铁芯包括磁芯组 件堆叠安排。
19. 如权利要求17或权利要求18所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯中的每个铁 芯包括安装在具有空心的金属管上的至少一个磁耦合闭合铁芯组件。
20. 如权利要求19所述的RF变压器，其中，该一次侧的该至少一个主绕组包括穿过该 至少一个铁芯的每个金属管的空心的导线。
21. 如权利要求19或权利要求20所述的RF变压器，其中，该二次侧的该第一和第二绕 组包括穿过该至少一个铁芯的每个金属管的空心的导线。
22. 如权利要求21所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯包括第一和第二铁芯，并且 其中，该二次侧的该第一和第二绕组包括穿过该第一和第二铁芯的金属管的空心的导线。
23. 如权利要求22所述的RF变压器，其中，该一次侧的第一短路绕组包括该第二铁芯 的金属管。
24. 如权利要求23所述的RF变压器，其中，该第二铁芯的金属管具有两端，该开关安排 耦合在该第二铁芯的金属管的这两端之间。
25. 如权利要求21或权利要求23所述的RF变压器，其中，该至少一个铁芯进一步包括 第三和第四铁芯，并且其中，该二次侧的第三绕组和该二次侧的第四绕组包括缠绕穿过该 第三和第四铁芯的金属管的空心的导线。
26. 如权利要求25所述的RF变压器，其中，该一次侧的第一短路绕组和该一次侧的第 二短路绕