一种制绒工序前预清洗工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种制绒工序前预清洗工艺，属于太阳能电池制造工艺领域。
【背景技术】
[0002]现如今硅片从硅片厂运送到电池车间生产的过程中，有些硅片会受外力影响碎裂，有一些硅片没有碎裂，但出现了隐裂，而电池车间在生产时，硅片被直接拿出来，而并未做任何表面处理就进行酸制绒工艺，在上料时，一些隐裂的原硅片并未被及时地分离开来，在经过各槽体或下料风刀处时，容易碎裂，增加了碎片率和叠片率。同时，硅片上附着有很多硅粉、灰尘和泡沫颗粒。这些附带物会随着硅片进入刻蚀槽，药液将受到污染，严重影响清洗制绒效果，最终影响转换效率。
[0003]现今晶体硅太阳电池的传统生产工艺流程分为7步，其流程如下:
[0004]硅片一清洗制绒一扩散制结一边缘刻蚀去PSG — PECVD —丝网印刷一烘干烧结一测试分选。
[0005]现有的技术未能在硅片进刻蚀槽前进行预处理，使得一些硅粉、灰尘和泡沫颗粒被硅片带入刻蚀槽药液，污染药液，并且泡沫颗粒在堵在了循环滤网上，时间长了将严重影响刻蚀槽药液循环，导致浓度不稳定；同时在上料时，一些隐裂的原硅片并未被及时地分离开来，在经过各槽体或下料风刀处时，容易碎裂，碎片率和叠片的几率都很高，不利于提高合格率。
【发明内容】
[0006]为了克服上述缺陷，本发明提供一种可以有效分离隐裂硅片以及有效清楚硅片表面杂物的制绒工序前预清洗工艺。
[0007]本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种制绒工序前预清洗工艺，包括以下步骤:
[0008](I)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道；
[0009](2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗；
[0010](3)清洗过后将硅片输送到出水槽，硅片上残留的水将被出水槽末端的软滚轮挤掉，所述软滚轮的个数为一根；
[0011](4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N2氛围下被吹干；
[0012](5)在步骤(4)中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽；
[0013](6)检片人员对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。
[0014]作为本发明的进一步改进，在步骤(4)中风刀槽的工作环境可根据实际生产需要设定，其风刀氮气流速为100m3/min?200m3/min，烘干温度为50°C?85°C，只要是在该范围内均可。
[0015]作为本发明的进一步改进，在步骤(5)中下一捡片槽为没有反应药液的空槽体，生产员工在该捡片槽两侧监控滚轮上的硅片，若发现异常的硅片可及时挑出避免进入刻蚀槽。
[0016]本发明的有益效果是:本专利的水洗槽，对准备进行酸制绒的硅片进行表面预清洗，去除表面硅粉、灰尘以及泡沫颗粒，减少了硅片附着物对刻蚀槽药液的污染，改善制绒质量；同时在水洗槽后安装风刀，吹干硅片表面的水，有效分离开了隐裂片，减少机台叠片几率，提高产线合格率。
【具体实施方式】
[0017]下面结合【具体实施方式】对本发明进行进一步的阐述。
[0018]一种制绒工序前预清洗工艺，包括以下步骤:
[0019](I)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道；
[0020](2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗；
[0021](3)清洗过后将硅片输送到出水槽，硅片上残留的水将被出水槽末端安装的软滚轮挤掉，所述软滚轮为一根；
[0022](4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N2氛围下被吹干；
[0023](5)在步骤⑷中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽；
[0024](6)检片人员对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。
[0025]在步骤(4)中风刀槽的工作环境可根据实际生产需要设定，其风刀氮气流速为100?200m3/min，烘干温度为50?85°C。
[0026]在步骤(5)中下一捡片槽为没有反应药液的空槽体，生产员工在该捡片槽两侧监控滚轮上的硅片，若发现异常的硅片可及时挑出避免进入刻蚀槽。
[0027]本专利的水洗槽，对准备进行酸制绒的硅片进行表面预清洗，去除表面硅粉、灰尘以及泡沫颗粒，减少了硅片附着物对刻蚀槽药液的污染，改善制绒质量；同时在水洗槽后安装风刀，吹干硅片表面的水，有效分离开了隐裂片，减少机台叠片几率，提高产线合格率；
[0028]本发明的硅片先过预清洗水槽水洗，再经过风刀槽吹干，保证了进入刻蚀槽的硅片表面既干燥又洁净，防止水被带入刻蚀槽降低刻蚀槽药液浓度；同时还专门设置了一个供员工监控用的检片槽，用于挑拣碎裂的硅片。
【主权项】
1.一种制绒工序前预清洗工艺，其特征在于:包括以下步骤: (1)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道； (2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗； (3)清洗过后将硅片输送到出水槽，硅片上残留的水将被挤掉； (4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N2氛围下被吹干； (5)在步骤(4)中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽； (6)检片人员对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。
2.根据权利要求1所述的制绒工序前预清洗工艺，其特征在于:所述出水槽的末端安装有一根软滚轮，软滚轮在滚动过程中对硅片进行脱水，并洗去硅片表面的一些灰尘和泡沫颗粒。
3.根据权利要求1或2所述的制绒工序前预清洗工艺，其特征在于:在步骤(5)中下一捡片槽为没有反应药液的空槽体，生产员工在该捡片槽两侧监控滚轮上的硅片，若发现异常的硅片可及时挑出避免进入刻蚀槽。
4.根据权利要求3所述的制绒工序前预清洗工艺，其特征在于:在步骤(4)中风刀槽的工作环境为:风刀氮气流速为10mVmin?200m3/min，烘干温度为50°C?85°C。
【专利摘要】本发明公开了一种制绒工序前预清洗工艺，包括以下步骤：(1)自动上料机将硅片分别传送给五个轨道；(2)硅片在滚轮的带动下按照设定的速度进入预清洗水槽进行清洗；(3)清洗过后硅片上残留的水将被水槽末端的软滚轮挤掉；(4)之后硅片送入风刀槽，使得表面仍较潮湿的硅片在N2氛围下被吹干；(5)在步骤(4)中严重隐裂的硅片将被吹裂，小的碎硅片将掉入风刀槽体，大的碎硅片将在滚轮带动下进入下一捡片槽；(6)对步骤(5)中的碎硅片进行清理并挑出，将预清洗好的硅片送入刻蚀槽进行清洗制绒。本发明的硅片先过预清洗水槽水洗，再经过风刀槽吹干，保证了进入刻蚀槽的硅片表面既干燥又洁净，防止水被带入刻蚀槽降低刻蚀槽药液浓度。
【IPC分类】H01L21-02, H01L31-18
【公开号】CN104835717
【申请号】CN201510129057
【发明人】陆东开, 樊选东, 黄镇, 杨冬生, 徐大伟
【申请人】中建材浚鑫科技股份有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月23日