【附图说明】
[0025] 图1是用于实施本发明的板状物的加工方法的切削装置的立体图。
[0026] 图2是设置于图1所示的切削装置上的控制构件的框图。
[0027] 图3是作为板状物的半导体晶片的立体图。
[0028] 图4是表示将图3所示的半导体晶片贴附于在环状框架上安装的保护带的正面上 的状态的立体图。
[0029] 图5是本发明的板状物的加工方法的切削工序的说明图。
[0030] 图6是本发明的板状物的加工方法的偏差检测工序的说明图。
[0031] 图7是被实施了本发明的板状物的加工方法中的偏差检测工序的半导体晶片的 平面图。
[0032] 图8是在本发明的板状物的加工方法的偏差检测工序中显示于显示构件上的图 像的说明图。
[003引标号说明[0034] 2;静止基座；
[00对 3 ;卡盘台机构；
[0036] 32;第1滑动块；
[0037] 33;第2滑动块；
[0038]36;卡盘台；
[0039] 37 ;X轴移动构件；
[0040] 374 ;X轴方向位置检测构件；
[00川 38;第1Y轴移动构件；
[0042] 384 ;Y轴方向位置检测构件；
[0043] 4;主轴支撑机构；
[0044] 43;第2Y轴移动构件；
[004引 5;主轴单元；
[004引 51;单元支架；
[0047] 52;主轴外壳；
[004引 53;旋转主轴；
[0049] 55 ;Z轴移动构件；
[0050] 56 ;Z轴方向位置检测构件；
[0051] 6;切削刀；
[00閲 7;摄像构件；
[0053] 9 ;控制构件；
[0054] 10;半导体晶片。
【具体实施方式】
[0055] W下，参照附图进一步详细说明本发明的切削装置的板状物的加工方法的优选实 施方式。
[0056] 图1示出用于实施本发明的切削装置的板状物的加工方法的切削装置的立体图。
[0057] 图1所示的切削装置配设有：静止基座2;卡盘台机构3,其W能够沿箭头X所示 的X轴方向移动的方式配设于该静止基座2上，且保持被加工物；主轴支撑机构4,其W能 够沿与X轴方向正交的通过箭头Y所示的Y轴方向移动的方式配设于静止基座2上；W及 作为切削构件的主轴单元5,其W能够沿与X轴方向和Y轴方向正交的通过箭头Z所示的Z 轴方向（垂直于后述的卡盘台的保持面的方向）移动的方式配设于该主轴支撑机构4上， 且作为加工构件。
[0058] 上述卡盘台机构3具有；沿X轴方向平行配设于静止基座2上的一对导轨31、31; W能够沿X轴方向移动的方式配设于该导轨31、31上的第一滑动块32;W能够沿Y轴方向 移动的方式配设于该第1滑动块32上的第2滑动块33;被圆筒部件支撑于该第2滑动块 33上的台罩35;W及作为被加工物保持构件的卡盘台36。该卡盘台36具有由多孔性材料 形成的吸盘361，作为被加工物的例如圆盘状的半导体晶片被未图示的吸引构件保持于作 为吸盘361的上表面的保持面上。如上构成的卡盘台36通过配设于圆筒部件34内的脉冲 电动机340而进行旋转。另外，在卡盘台36上配设有用于固定后述的环状框架的夹错362。
[0059] 上述第1滑动块32的下表面设有与上述一对导轨31、31嵌合的一对被导向槽 321、321，而在其上表面设有平行于Y轴方向形成的一对导轨322、322。如上构成的第1滑 动块32构成为，被导向槽321、321嵌合于一对导轨31、31，从而沿着一对导轨31、31能够 在X轴方向上移动。图示的实施方式中的卡盘台机构3具有X轴移动构件37,该X轴移动 构件37用于使第1滑动块32沿一对导轨31、31在X轴方向上移动。X轴移动构件37具有 平行配设于上述一对导轨31与31之间的外螺纹杆371、W及用于旋转驱动该外螺纹杆371 的脉冲电动机372等的驱动源。外螺纹杆371的一端W自由旋转的方式支撑于固定于上述 静止基座2上的轴承块373,其另一端W传动方式连结于上述脉冲电动机372的输出轴。另 夕F，外螺纹杆371螺合于贯通内螺纹孔，该贯通内螺纹孔形成于在第1滑动块32的中央部 下表面突出设置的未图示的内螺纹块上。因此，通过脉冲电动机372对外螺纹杆371正转 和反转驱动，从而第1滑动块32沿导轨31、31在X轴方向上移动。
[0060] 图示的实施方式中的卡盘台机构3具有用于检测卡盘台36的X轴方向位置的X 轴方向位置检测构件374。X轴方向位置检测构件374构成为具有沿上述导轨31配设的直 线尺374a、W及配设于第1滑动块32并与第1滑动块32 -起沿直线尺374a移动的读取头 374b。该X轴方向位置检测构件374的读取头374b在图示的实施方式中将每1 y m为1脉 冲的脉冲信号发送给后述的控制构件。
[0061] 上述第2滑动块33的下表面设有与设置于上述第1滑动块32的上表面的一对 导轨322、322嵌合的一对被导向槽331、331，将该被导向槽331、331嵌合于一对导轨322、 322,从而上述第2滑动块33构成为能够沿Y轴方向移动。图示的实施方式中的卡盘台机 构3具有使第2滑动块33沿设置于第1滑动块32的一对导轨322、322在Y轴方向上移动 的第1Y轴移动构件38。第1Y轴移动构件38具有平行配设于上述一对导轨322与322之 间的外螺纹杆381、W及用于旋转驱动该外螺纹杆381的脉冲电动机382等的驱动源。外 螺纹杆381的一端W自由旋转的方式支撑于在上述第1滑动块32的上表面固定的轴承块 383,其另一端W传动方式连结于上述脉冲电动机382的输出轴。另外，外螺纹杆381螺合 于贯通内螺纹孔，该贯通内螺纹孔形成于在第2滑动块33的中央部下表面突出设置的未图 示的内螺纹块。因此，通过脉冲电动机382对外螺纹杆381正转和反转驱动，从而第2滑动 块33沿导轨322、322在Y轴方向上移动。
[0062] 图示的实施方式中的卡盘台机构3具有用于检测上述第2滑动块33 (卡盘台36) 的Y轴方向位置的Y轴方向位置检测构件384。Y轴方向位置检测构件384构成为具有沿 导轨322配设的直线尺384a、W及配设于第2滑动块33且与第2滑动块33 -起沿直线尺 384a移动的读取头384b。该Y轴方向位置检测构件384的读取头384b在图示的实施方式 中将每1 ym为1脉冲的脉冲信号发送给后述的控制构件。
[0063] 上述主轴支撑机构4具有沿箭头Y所示的Y轴方向平行配设于静止基座2上的一 对导轨41、41、W及W能够沿Y轴方向移动的方式配设于该导轨41、41上的可动支撑基座 42。该可动支撑基座42构成为具有W能够移动的方式配设于导轨41、41上的移动支撑部 421、W及安装于该移动支撑部421上的安装部422。安装部422的一个侧面上平行设有一 对导轨423、423,该一对导轨423、423在通过垂直于卡盘台36的被加工物保持面的箭头Z 所示的作为切入进给方向的Z轴方向上延伸。图示的实施方式中的主轴支撑机构4具有用 于使可动支撑基座42沿一对导轨41、41在Y轴方向上移动的第2Y轴移动构件43。第2Y 轴移动构件43具有平行配设于上述一对导轨41、41之间的外螺纹杆431、W及用于旋转驱 动该外螺纹杆431的脉冲电动机432等的驱动源。外螺