具备送风机的激光振荡器的制造方法_3

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5)发挥功能。然后,控制部42将与推定出的转速Re —致的旋转指令发送给驱动部18,并控制成使送风机16以该转速Re进行运转。
[0063]如上所述,根据本实施方式,可以根据压力计24测量出的激光介质的压力来判别激光振荡器40的运转模式,并根据与该运转模式对应的转速R与压力P之间的关系来推定送风机16的转速。由此,能够更高精度地推定送风机16的转速。其结果,能够更安全且更迅速地重新开始空转状态的送风机16的运转。
[0064]接着,参照图7对本发明的又一其他实施方式的激光振荡器60进行说明。另外,对与上述的实施方式同样的要素赋予相同的符号,并省略详细的说明。激光振荡器60具备:谐振器部12、激光介质流路14、送风机16、驱动部18、存储部22、压力计24、控制部62、停电检测部64以及不间断电源66。
[0065]停电检测部64检测向激光振荡器60整体供给的主电力的停电以及复电。另外,停电检测部64也可以检测在激光振荡器60的一部分(例如,包括驱动部18和/或送风机16的部分)发生的停电/复电。不间断电源66是在发生了停电时,可以至少对控制部62供给电力的应急用电源。
[0066]发生停电时,停止向送风机16的电力供给,其结果,送风机16成为空转。之后,当激光振荡器60的电力复电时,为了安全且迅速地控制正在空转的送风机16,需要以复电时的送风机16的转速重新开始送风机16的运转。
[0067]接着,对本实施方式的激光振荡器60功能进行说明。当通过停电检测部64检测出停电时,控制部62取得最近(例如,刚停电前或刚停电后)通过压力计24测量出的激光介质的压力。然后,控制部62作为上述的运转模式判别部48来发挥功能,根据取得的压力来判别激光振荡器60的运转模式。接着,控制部62作为上述的关系选择部50来发挥功能,选择与判别出的运转模式对应的、转速R与压力P之间的关系。
[0068]停电后,当通过停电检测部64检测出复电时,控制部62取得最近通过压力计24测量出的激光介质的压力。然后,控制部62作为上述的转速推定部46来发挥功能,根据选择的关系来推定复电时的送风机16转速Re。
[0069]然后,控制部62将与推定出的转速Re —致的旋转指令发送给驱动部18,并控制成以该转速Re重新开始送风机16的运转。如上所述,根据本实施方式,当在激光振荡器60的运转中意外发生停电,之后复电时,可以安全且迅速地控制在复电时空转的送风机16。此夕卜,根据本实施方式,设有不间断电源66,因此无需等待复电后的控制部62的启动时间,能够迅速地重新启动激光振荡器60。
[0070]另外,叙述了在上述的激光振荡器40以及60中作为运转模式,具有通常模式、高输出模式以及待机模式这3个运转模式的情况。然而,除了这3个运转模式外,还可以存在多个运转模式。
[0071]例如,作为其他运转模式,可以设定相当于从待机模式向通常模式(或从通常模式向待机模式)转移期间的状态、以及从通常模式向高输出模式(或从高输出模式向通常模式)转移期间的状态的转移模式。
[0072]当激光振荡器40、60处于这样的转移模式时,激光介质的压力P与送风机16的转速R之间的关系同图6所示的3个关系不同。因此,为了从激光介质的压力P高精度地推定送风机16的转速R,需要预先将对应于转移模式的压力P与转速R之间的关系存储在存储部22中。
[0073]作为一具体例,作为待机模式与通常模式之间的转移模式,设定第I转移模式和第2转移模式。例如,第I转移模式是激光介质的状态接近待机模式的转移模式,第2转移模式是激光介质的状态比第I转移模式接近通常模式的转移模式。此时,分别将与第I转移模式以及第2转移模式对应的压力P与转速R之间的关系存储在存储部22中。
[0074]与第I转移模式对应的压力P与转速R之间的关系位于图6的实线52与点划线56之间的区域,并且能够成为更靠近点划线56的曲线图。此外,与第2转移模式对应的压力P与转速R之间的关系位于图6的实线52与点划线56之间的区域,并且能够成为比第I转移模式的曲线图更靠近实线52的曲线图。
[0075]同样地,作为通常模式与高输出模式之间的转移模式,设定第3转移模式以及第4转移模式。例如,第3转移模式是激光介质的状态靠近通常模式的转移模式,第4转移模式是激光介质的状态比第3转移模式靠近高输出模式的转移模式。此时,分别将与第3转移模式以及第4转移模式对应的压力P与转速R之间的关系存储在存储部22中。
[0076]与第3转移模式对应的压力P与转速R之间的关系位于图6的实线52与双点划线54之间的区域,并且能够成为更靠近实线52的曲线图。此外,与第4转移模式对应的压力P与转速R之间的关系位于图6的实线52与双点划线54之间的区域,并且能够成为比第3转移模式的曲线图靠近双点划线54的曲线图。
[0077]以下,对在激光振荡器60中设定了第I?第4转移模式时的动作进行说明。当通过停电检测部64检测出停电时,控制部62取得最近通过压力计24测量出的激光介质的压力。接着,控制部62作为运转模式判别部48来发挥功能,对照所取得的压力值与停电时设定的压力控制目标值。
[0078]在此,在转移模式时发生了停电时,停电时设定的压力控制目标值是运转模式的转移目标的压力控制目标值。具体而言,若从通常模式向高输出模式转移时发生了停电,则设定高输出模式的压力控制目标值(第2目标值β)。同样地,若从通常模式向待机模式转移时发生了停电,则设定待机模式的压力控制目标值(第3目标值γ)。
[0079]若从通常模式向高输出模式转移时发生了停电,则控制部62对照所取得的压力值与第2目标值B。此时,所取得的压力值未成为第2目标值B(或B的±10%),因此控制部62可以判定运转模式是通常模式与高输出模式之间的转移模式。
[0080]接着,控制部62计算所取得的压力值与第2目标值B的差δρ。然后,控制部62根据该差S Ρ来判别是第3转移模式还是第4转移模式。
[0081]例如,当该差δ卩在预先决定的第I范围(xl ( δ χ2)内时,控制部62判别成第3转移模式,另一方面,当该差δ ρ在第2范围(χ3彡δ P彡x4、且x4<xl)内时,控制部62判别成第4转移模式。
[0082]接着,控制部62作为关系选择部50来发挥功能,选择与判别出的运转模式对应的关系。例如,控制部62当判别为第3转移模式时,从预先存储在存储部22中的多个关系中选择与第3转移模式对应的关系,并从存储部22读出其数据。
[0083]然后,当通过停电检测部64检测出复电时,控制部62取得最近通过压力计24测量出的激光介质的压力,作为转速推定部46发挥功能,根据与第3转移模式对应的关系来推定复电时的送风机16的转速Re。
[0084]如上所述,通过除了通常模式、高输出模式以及待机模式外,还设定多个转移模式,假定即使激光振荡器40、60的转移模式时发生了停电等,也能够在复电时安全且迅速地重新开始送风机16的运转。
[0085]接着,参照图8,对本发明的又一其他实施方式的激光振荡器70进行说明。另外,对与上述的实施方式同样的要素赋予相同的符号,并省略详细的说明。激光振荡器70具备:谐振器部12、激光介质流路14、送风机16、驱动部18、存储部22、压力计24、温度计72以及控制部74。
[0086]将温度计72设置在激光介质流路14内的预先决定的位置76,测量激光介质流路14内的激光介质的温度,将与温度相关的数据发送给控制部74。控制部74将接收到的与温度相关的数据存储在存储部22中。控制部74具有与上述的实施方式同样的转速推定部36的功能,对驱动部18进行控制。
[0087]在本实施方式中,设有与激光介质流路14连通的激光介质供给用流路80以及激光介质排出用流路82。激光介质供给用流路80与设置在激光振荡器70的外部的激光介质供给源连接,经由该激光介质供给用流路80将激光介质从激光介质供给源供给到激光介质流路14。此外,激光介质流路14内的激光介质经由激光介质排出用流路82向激光介质流路14的外部排出。
[0088]激光振荡器70还具备用于将激光介质流路14相对于外部密闭的密闭机构84。在本实施方式中,密闭机构84是阀机构,具有:可开闭激光介质供给用流路80的阀86、可开闭激光介质排出用流路82的阀88以及驱动阀86和88的阀开闭器90。阀开闭器90根据来自控制部74的指令使阀86以及88开闭。
[0089]激光振荡器70还具备分别测量激光介质供给用流路80以及激光介质排出用流路82中的激光介质的流量的流量计92。流量计92将测量出的与流量相关的数据发送给控制部74。控制部74将接收到的与流量相关的数据存储在存储部22中。
[0090]接着,对本实施方式的激光振荡器70的功能进行说明。与上述的实施方式同样地,从降低激光振荡器70的消耗电力的观点出发,控制部74根据激光振荡器70的运转状况,停止向送风机16的电力供给,停止送风机16的运转。此时,控制部74向阀开闭器90发送指令,闭锁阀86以及88,密闭激光介质流路
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