一种打拿极外壳生产工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子倍增器制造技术领域，尤其是一种打拿极外壳生产工艺。
【背景技术】
[0002]电子倍增器的性能决定着原子钟的使用寿命，而打拿极内表面镀膜是电子倍增器的核心技术。目前的镀膜方式是在成型后的打拿极外壳进行镀膜，但打拿极外壳为槽体结构，镀膜是无法使打拿极外壳内外表面成膜均匀，直接影响了电子倍增器性能，不能满足电子倍增器二次电子发射功能薄膜镀制要求。
【发明内容】
[0003]本发明针对现有技术的不足，提出一种打拿极外壳生产工艺，能够满足电子倍增器打拿极的镀膜要求，有效解决打拿极镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题。
[0004]为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案:
一种打拿极外壳生产工艺，包括以下步骤:
(1)内衬片加工:按照电子倍增器的打拿极外壳的平面图纸加工内衬片，在内衬片上划出折叠线，保证内衬片折叠后与所述打拿极外壳的结构对应；
(2)清洗内衬片；
(3)在内衬片表面上镀制具有二次电子发射功能薄膜，制成打拿极外壳片结构；
(4)电子倍增打拿极外壳成型:将打拿极外壳片结构，按照事先设计好的折叠线折叠成打拿极外壳。
[0005]进一步地，所述步骤(I)中利用激光光束划出折叠线。
[0006]进一步地，所述步骤(2)中，内衬片先用去离子水清洗，再分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗15min，然后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用无肩擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
[0007]本发明一种打拿极外壳生产工艺，能够满足电子倍增器打拿极的镀膜要求，有效解决打拿极镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题；表面的致密度高，抗离子轰击性显著能高，能有效的提高电子倍增器打拿极的性能。
【附图说明】
[0008]图1为本发明所述一种打拿极外壳生产工艺中所述的内衬片的示意图；
图2为本发明所述一种打拿极外壳生产工艺所述的打拿极外壳的主视示意图；
图3为本发明所述一种打拿极外壳生产工艺所述的打拿极外壳的左视示意图示意图； 图4为本发明所述一种打拿极外壳生产工艺所述的打拿极外壳的俯视示意图；
图5本发明所述一种打拿极外壳生产工艺所述的打拿极外壳的立体示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
[0010]如图1-5所示的一种打拿极外壳生产工艺，包括以下步骤:
(O内衬片加工:按照电子倍增器打拿极外壳的平面设计图纸，加工平面内衬片，材料为304号不锈钢，厚度为0.1mm，要求平面内衬片表面的粗糙度为15nm，利用激光光束裁剪出折叠线，如图1所示，其中粗黑实线要切通，细实线要划出切痕；
(2)清洗内衬片:将304号不锈钢内衬片放入干净器皿中，用去离子水冲洗干净，再将304号不锈钢内衬片分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗15min，然后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用无肩擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹；
(3)清洁真空室:打开真空室，清除真空室内脱落的膜层及空气中的污染物，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁；将步骤(2)清洗后的304号不锈钢内衬片放入真空室的基片架上；
(4)真空室抽真空:打开机械栗预将真空室抽真空抽至IPa，然后打开分子栗，待分子栗运转平稳后开启分子栗的高阀，将真空室抽真空至3.0X 15Pa,然后加热内衬片至400 °C后保温I个小时；
(5)二次电子发射薄膜沉积:在304号不锈钢内衬片上镀制氧化镁薄膜，厚度为200nm，结束样品镀制，制成打拿极外壳片结构；
(6)电子倍增打拿极外壳成型:按照电子倍增器打拿极设计图纸，如图2至图5，将步骤
(5)镀制完的打拿极外壳片结构，进行折叠，折叠成打拿极外壳。
[0011]本发明一种打拿极外壳生产工艺，能够满足电子倍增器打拿极的镀膜要求，有效解决打拿极镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题；表面的致密度高，抗离子轰击性显著能高，能有效的提高电子倍增器打拿极的性能。
【主权项】
1.一种打拿极外壳生产工艺，其特征在于，包括以下步骤: (1)内衬片加工:按照电子倍增器的打拿极外壳的平面图纸加工内衬片，在内衬片上划出折叠线，保证内衬片折叠后与所述打拿极外壳的结构对应； (2)清洗内衬片； (3)在内衬片表面上镀制具有二次电子发射功能薄膜，制成打拿极外壳片结构； (4)电子倍增打拿极外壳成型:将打拿极外壳片结构，按照事先设计好的折叠线折叠成打拿极外壳。2.如权利要求1所述一种打拿极外壳生产工艺，其特征在于，所述步骤(I)中利用激光光束划出折叠线。3.如权利要求1所述一种打拿极外壳生产工艺，其特征在于，所述步骤(2)中，内衬片先用去离子水清洗，再分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗15min，然后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用无肩擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
【专利摘要】本发明公开了一种打拿极外壳生产工艺，包括以下步骤：（1）内衬片加工：按照电子倍增器的打拿极外壳的平面图纸加工内衬片，在内衬片上划出折叠线，保证内衬片折叠后与所述打拿极外壳的结构对应；（2）清洗内衬片；（3）在内衬片表面上镀制具有二次电子发射功能薄膜，制成打拿极外壳片结构；（4）电子倍增打拿极外壳成型：将打拿极外壳片结构，按照事先设计好的折叠线折叠成打拿极外壳。本发明能够满足电子倍增器打拿极的镀膜要求，有效解决打拿极镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题。
【IPC分类】H01J9/24
【公开号】CN105206486
【申请号】CN201510576617
【发明人】李晨, 李得天, 王多书, 曹生珠, 张玲, 丁磊
【申请人】兰州空间技术物理研究所
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年9月11日