压电执行器装置以及配备有该压电执行器装置的阀门的制作方法_3

文档序号:9621171阅读:来源:国知局
部分电极。
[0049]必要时存在的、压电非活性衬底17导电地构造是有利的,因为该衬底17于是能够直接自身被用作单一电极23。在该情况下,免除相应电极的分开的应用。在图1和2的实施例中情况如此。
[0050]不过,容易地存在除了压电非活性衬底17之外设置第二电极13的可能性。在图3的实施例中存在这种结构形式。在此情况下第二电极13适宜地被布置在压电体4和压电非活性衬底17之间。在第二电极13也与第一电极12 —样以多个单独的部分电极13a的形式实现时,该结构形式尤其是特别有意义的。
[0051]压电体4适宜地单件地以及尤其整体地被构造。
[0052]尤其与被构造为弯曲转换器的压电转换器2有关地,适宜的是,带状地以纵向形状来构造多个以及尤其全体的单独的部分电极12a、13a并且布置在压电体4上,使得所述部分电极在纵轴8的轴向上伸展并且以横向间隔在纵向侧并排地布置。这适用于两个实施例。
[0053]自身的电流限制电阻25a、25b、25c与每个部分电极对18串联,使得每个电流限制电阻25a、25b、25c尤其在电荷流入到部分电极对18的情况下、优选地但是也在电荷流出该部分电极对18的情况下由电流流过。以这种方式,对于部分电容来说进行到以下程度的对电流强度的限制,所述程度允许压电执行器装置1也在有爆炸危险的区域中的使用。电流限制电阻25a、25b、25c中的每个是纯欧姆电阻。因此也可以谈及阻性电流限制。对于每个电流限制电阻25a、25b、25c来说,电阻值适宜地为几千欧。
[0054]不范性地,每个部分电极对18与用于电荷传输的自身的电连接导体26a、26b、26c接触,所分配的电流限制电阻25a、25b、25c被接通到所述电连接导体的走向中并且所述电连接导体是已经提到的电导体装置15的组成部件。这些电连接导体26a、26b、26c适宜地共同地连接到电压源16上。因此所有的部分电极对18连接到相同的电压源16上。通过电压源16是能够切换的,存在将全体部分电极对18同时施加到操控电压上或从该操控电压分离的可能性。执行器装置1优选地被运行,使得将相同的操控电压分别同时地施加到全体部分电极对18上。
【主权项】
1.一种压电执行器装置,具有至少一个压电转换器(2),所述压电转换器拥有至少一个压电体(4)以及被分配给该压电体(4)的、由两个被布置在所述压电体(4)的彼此相对的侧上的电极(12、13)构成的以及具有总电容的电极单元(14),其特征在于,所述电极单元(14)的两个电极(12、13)中的至少一个被细分成多个彼此间隔的单独的部分电极(12a、13a),所述部分电极与位于对面的电极(13、12)形成多个分别定义所述总电容的部分电容的部分电极对(18),其中在电荷流动时有效的自身的电流限制电阻(25a、25b、25c)与每个部分电极对(18)串联。2.根据权利要求1所述的压电执行器装置,其特征在于,所述电极单元(14)的两个电极(12)中仅仅一个被细分成多个彼此间隔的单独的部分电极(12a),而位于对面的另一电极(13)是单一电极(23)并且所述单一电极(23)的位于所述单独的部分电极(12a、13a)对面的电极区段(24)有助于分别形成部分电极对(18)。3.根据权利要求1所述的压电执行器装置,其特征在于,所述电极单元(14)的两个电极(12、13)被细分成多个彼此间隔的单独的部分电极(12a、13a),其中所述两个电极(12、13)的单独的部分电极(12、13)成对地彼此位于对面以形成部分电极对(18)。4.根据权利要求3所述的压电执行器装置,其特征在于,所述两个电极(12、13)被细分成同样大数目的单独的部分电极(12a、13a),其中一个电极(12、13)的每个单独的部分电极(12a、13a)位于另一电极(13、12)的单独的部分电极(13a、12a)对面以形成部分电极对(18)。5.根据权利要求3或4所述的压电执行器装置,其特征在于,在形成部分电极对(18)的情况下分别彼此位于对面的单独的部分电极(12a、13a)是同样大的。6.根据权利要求1至5之一所述的压电执行器装置,其特征在于,属于相同的电极(12,13)的单独的部分电极(12a、13a)位于共同的平面内。7.根据权利要求1至6之一所述的压电执行器装置,其特征在于,每个被细分成单独的部分电极(12a、13a)的电极(12、13)的多个以及适宜地全体的单独的部分电极(12a、13a)被带状地构造并且以横向间隔在纵向侧上并排地布置。8.根据权利要求1至7之一所述的压电执行器装置,其特征在于,所述压电转换器(2)被构造为具有纵向形状的弯曲转换器,其中每个被细分成单独的部分电极(12a、13a)的电极(12、13)的单独的部分电极(12a、13a)横向于所述弯曲转换器的纵向以间隔并排地布置。9.根据权利要求1至8之一所述的压电执行器装置,其特征在于,所述至少一个压电体(4)单件地以及尤其整体地被构造。10.根据权利要求1至9之一所述的压电执行器装置,其特征在于,所述压电体(4)被布置在压电非活性、适宜地有弹簧弹性的衬底(17 )上。11.根据权利要求10所述的压电执行器装置,其特征在于,所述压电非活性衬底(17)具有导电特性并且直接形成所述电极单元(14)的单一电极(23)。12.根据权利要求1至11之一所述的压电执行器装置,其特征在于,每个部分电极对(18 )与用于电荷传输的自身的电连接导体(26a、26b、26c )接触,所分配的串联的电流限制电阻(25a、25b、25c)接通到所述电连接导体的走向中。13.根据权利要求1至12之一所述的压电执行器装置,其特征在于,所述压电执行器装置具有用于提供用于操纵所述至少一个压电转换器(2)的操控电压的电压源(16),全体的部分电极对(18)与所述电压源同时连接或能够连接。14.根据权利要求13所述的压电执行器装置,其特征在于,全体的部分电极对(18)从相同的电压源(16)被供应电流,使得能够同时将相同的操控电压施加到所述全体的部分电极对(18)上。15.用于控制流体的阀门,所述阀门具有压电执行器装置(1),所述压电执行器装置包含至少一个压电转换器(2),所述压电转换器拥有至少一个压电体(4)以及被分配给该压电体(4)的、由两个被布置在所述压电体(4)的彼此相对的侧上的电极(12、13)构成的以及具有总电容的电极单元(14),其中所述压电转换器(2)形成阀门构件或者用于阀门构件的驱动元件,其特征在于,所述电极单元(14)的两个电极(12、13)中的至少一个被细分成多个彼此间隔的单独的部分电极(12a、13a),所述部分电极与位于对面的电极(13、12)形成多个分别定义所述总电容的部分电容的部分电极对(18 ),其中在电荷流动时有效的自身的电流限制电阻(25a、25b、25c)与每个部分电极对(18)串联。16.根据权利要求15所述的阀门,其特征在于,所述压电执行器装置(1)根据权利要求2至14的特征中的一个或多个来构造。
【专利摘要】提出一种压电执行器装置(1),所述压电执行器装置具有至少一个压电转换器(2),所述压电转换器拥有至少一个压电体(4)以及被分配给该压电体(4)的、由两个彼此位于对面的电极(12、13)构成的电极单元(14),所述电极单元具有总电容。所述两个电极(12、13)中的至少一个被细分成多个彼此间隔的单独的部分电极(12a、13a),所述部分电极与位于对面的电极(13、12)形成多个分别定义所述总电容的部分电极对(18)。在电荷流动时有效的自身的电流限制电阻(25a、25b、25c)与每个部分电极对(18)串联。此外提出配备有这种执行器装置(1)的、用于控制流体的阀门。
【IPC分类】H01L41/047, H01L41/04
【公开号】CN105378956
【申请号】CN201480032710
【发明人】G.帕勒莫, J.安德勒, H.维尔特尔, G.霍伊茨
【申请人】费斯托股份有限两合公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2014年5月22日
【公告号】DE102013009646A1, EP2984689A1, US20160118573, WO2014194986A1
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