70通过至少三个配重连接杆72与压环30连接，且至少三个配重连接杆72沿配重环70的圆周方向均匀分布；如此设计，既可以保证压环30受到的驱动力均衡，又可以保证压环30压在工件20上时受到配重环70的重力均衡，从而可以使工件20受到压环30的压紧力均匀；此外，还可以使配重环70面向压环30的端面低于放置在卡盘主体10上工件的上表面，从而可以避免配重环70影响工件20上方的气体流动，进而可以进一步提闻提闻等尚子刻蚀的质量。
[0063]为了调整压环30对工件20施加的压紧力，优选地，在配重环70和压环30之间设有至少一个圆环形配重块，且每个配重块套装在配重连接杆72上。请继续参阅图4，在本实施例中，在三个配重连接杆72上套装有配重块73和配重块74，如此设计，可以调整压环30对工件20施加的压紧力，进一步改善工件20与卡盘主体10之间的间隙。
[0064]请继续参阅图4，在配重环70靠近压环30的端面或配重块靠近压环30的端面设有配重保护环82，以完全覆盖配重环70或配重块靠近压环30的端面。在配重环70与反应腔室60之间设有第一绝缘环80，在每个驱动连接杆75靠近压环30的一端设有第二绝缘环81，在配重连接杆72与卡盘主体10之间设有第三绝缘环83。通过在配重环70、配重块、驱动连接杆75和配重连接杆72位置设置绝缘隔离件，即在配重与反应腔室之间添加绝缘隔离件，目的是为了防止配重与反应腔室之间因似接非接而导致电位不稳定所引起的刻蚀结果不稳定的情况。
[0065]在上述各实施方式中，因配重环70、配重块位于反应腔室60内，为了防止配重环70、配重块被腐蚀，配重环70、配重块通常采用比重大、耐高温、耐腐蚀的金属材料制成，如不锈钢等；此外，为了防止在配重环70处产生悬浮电位，优选地，对配重环70表面进行处理，如在配重环70表面进行喷涂陶瓷处理。
[0066]在上述实施例中，压环30和配重环70是由三个驱动连接杆75带动的，而三个驱动连接杆75与驱动装置的连接方式有多种，请参阅图4、图7和图8，优选地，驱动装置为气缸40，传动组件还包括:位于反应腔室60外且与反应腔室60固定连接的腔室连接环46，位于腔室连接环46的下方并与腔室连接环46固定连接的气缸固定环44，位于气缸固定环44的下方并与气缸固定环44活动连接的气缸轴连接环45，与气缸固定环44固定连接用于固定支撑气缸40的气缸固定板42，分别与气缸40的气缸轴41和气缸轴连接环45固定连接的气缸轴连接板43 ;其中，腔室连接环46的轴心、气缸固定环44的轴心、气缸轴连接环45的轴心和配重环70的轴心位于同一条直线上，气缸轴连接环45与三个驱动连接杆75的一段固定连接，且腔室连接环46和气缸固定环44上各设有三个分别供三个驱动连接杆75穿过的导向孔。值得一提的是，在上述压环压紧机构中，驱动装置还可以为液压缸或伺服电机。
[0067]在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0068]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种压环压紧机构，用于将待加工工件固定于基座上，其特征在于，包括: 位于反应腔室内的压环和配重环，所述配重环位于所述压环的下方且与所述压环连接，所述配重环的轴心与所述压环的轴心位于同一条直线上； 位于所述反应腔室外的驱动装置，以及一端与所述驱动装置连接、另一端可与所述配重环接触或分离的传动组件，所述驱动装置通过所述传动组件驱动所述压环和配重环上升或下降，且在所述压环下降的过程中，当所述压环与所述基座上的待加工工件接触后所述传动组件继续下降至与所述配重环分离。2.根据权利要求1所述的压环压紧机构，其特征在于，所述传动组件包括:位于所述配重环的下方、并沿所述配重环的圆周方向均匀分布的至少三个驱动连接杆，所述驱动连接杆的一端可分别与所述配重环接触、另一端伸出所述反应腔室外并分别与所述驱动装置连接。3.根据权利要求2所述的压环压紧机构，其特征在于，所述配重环上设有沿径向指向所述配重环的轴心、并沿所述配重环的圆周方向均匀分布的至少三个伸出部，且所述伸出部分别与所述驱动连接杆面向所述压环的一端一一正对。4.根据权利要求3所述的压环压紧机构，其特征在于，在所述反应腔室内固设有至少三个沿所述配重环的圆周方向均匀分布的半圆环形的配重环定位套，所述配重环定位套的开口与所述伸出部一一相对，且在竖直方向上每个所述配重环定位套远离所述压环的一端内侧设有与水平面呈55°?75°角的半圆形坡面，当所述传动组件下降至与所述配重环分离后，所述配重环通过所述伸出部和分别对应的所述半圆形坡面的配合，自动调整所述配重环的中心位置。5.根据权利要求4所述的压环压紧机构，其特征在于，所述基座设有至少三个沿所述配重环的圆周方向均匀分布的半圆形凹槽，所述凹槽与所述配重环定位套一一相对，且在竖直方向上所述配重环定位套靠近所述压环的一端外侧设有延伸部，以将所述配重环定位套固定于所述基座上。6.根据权利要求1所述的压环压紧机构，其特征在于，所述配重环通过至少三个配重连接杆与所述压环连接，且所述配重连接杆沿所述配重环的圆周方向均匀分布。7.根据权利要求6所述的压环压紧机构，其特征在于，在所述配重环和所述压环之间设有至少一个圆环形配重块，且所述配重块套装在所述配重连接杆上。8.根据权利要求6所述的压环压紧机构，其特征在于，在所述配重环与所述反应腔室之间设有第一绝缘环，在所述驱动连接杆靠近所述压环的一端设有第二绝缘环，在所述配重连接杆与所述基座之间设有第三绝缘环。9.根据权利要求6所述的压环压紧机构，其特征在于，在所述配重环靠近所述压环的端面或所述配重块靠近所述压环的端面设有配重保护环，以完全覆盖所述配重环或所述配重块靠近所述压环的端面。10.根据权利要求1所述的压环压紧机构，其特征在于，所述驱动装置为气缸，所述传动组件还包括:位于所述反应腔室外且与所述反应腔室固定连接的腔室连接环，位于所述腔室连接环的下方并与所述腔室连接环固定连接的气缸固定环，位于所述气缸固定环的下方并与所述气缸固定环活动连接的气缸轴连接环，且所述气缸轴连接环分别与三个所述驱动连接杆的一端固定连接，与所述气缸固定环固定连接用于固定支撑所述气缸的气缸固定板，以及分别与所述气缸的气缸轴和所述气缸轴连接环固定连接的气缸轴连接板；其中， 所述腔室连接环的轴心、气缸固定环的轴心、气缸轴连接环的轴心和配重环的轴心位于同一条直线上，且所述腔室连接环和所述气缸固定环上各设有三个分别供三个所述驱动连接杆穿过的导向孔。
【专利摘要】本发明公开了一种压环压紧机构，涉及半导体制造设备技术领域，为解决待加工工件与基座之间的间隙不均匀的问题。所述压环压紧机构包括：位于反应腔室内的压环和配重环，配重环位于压环的下方且与压环连接，配重环的轴心与压环的轴心位于同一条直线上；位于反应腔室外的驱动装置，以及一端与驱动装置连接、另一端可与配重环接触或分离的传动组件，驱动装置通过传动组件驱动压环和配重环上升或下降，且在压环下降的过程中，当压环与基座上的待加工工件接触后传动组件继续下降至与配重环分离。采用上述压环压紧机构固定待加工工件时，工件的受力均匀，从而使得工件与基座之间的间隙均匀。
【IPC分类】H01L21/687
【公开号】CN105390430
【申请号】CN201410456764
【发明人】王伟
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2014年9月9日