用于差分信号器件的静电放电保护器件的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种具有鲁棒性的静电放电(ESD)保护器件。在一个实例中，ESD保护器件被配置为包括三个节点。当与差分信号器件一起使用时，第一节点和第二节点可以分别连接至差分信号器件的BP和BM信号线，并且第三节点可以连接至电源电压。这允许单个ESD保护器件用于保护差分信号器件的信号线，因此与使用三个双节点ESD保护器件来完成基本相同的保护机制的传统的方法相比显著节省了衬底面积。而且，如FlexRay标准所要求的，ESD保护器件可以在结构上设计为处理高压ESD事件。
【专利说明】
用于差分信号器件的静电放电保护器件
技术领域
[0001]本发明总体涉及电子电路，更具体地，涉及静电放电(ESD)保护器件。
【背景技术】
[0002]静电放电(ESD)是通过带电物体的接触、电短路、绝缘击穿和其他的因素而导致的突然的电流。如果不适当地控制，ESD可以损坏其流经的物体(例如，集成电路)和/或扰乱电子通信信号。
[0003]由于某些器件的设计和/或它们工作的环境，它们更容易受到ESD事件的影响。例如，交通工具上的组件没有电接地并且通常工作在高温和低湿度的条件下，因此为静电电荷的累积创造了良好的环境。交通工具很容易受到ESD事件的影响，再加上交通工具越来越复杂的集成电路并且越来越依赖于集成电路(例如，用于刹车、加速、转弯、稳定控制、巡航控制等)，使得ESD保护在交通工具设计中尤为重要。作为一个实例，由FlexRay联盟开发的用于汽车的FlexRay通信标准包括对于ESD保护的具体要求。例如，对于总线驱动器和通信控制器的输入/输出必须能承受高达+/— 60V的电压并且通过6kV HMM(人体金属模型)的ESD应力测试。
[0004]例如，FlexRay标准下的无线电收发机使用两条差分信号线(正总线(BP)和负总线(BM))来通信。更加具体地，比特位是O还是I取决于BP — BM是负的还是正的。为了保护BP和BM免受ESD事件的影响，通常使用三个ESD来保护器件，每一个ESD保护器件都具有两个节点。典型的配置是，在BP与Vss(负电源电压)之间放置第一 ESD保护器件，在BM与Vss之间放置第二ESD保护器件，以及在BP与BM之间放置第三ESD保护器件。三个双节点ESD保护器件占据了衬底上的大量的空间，而这并不是所期望的。
【发明内容】
[0005]根据本发明的一个方面，提供了一种用于差分信号器件的静电放电保护器件，包括:衬底，具有第一导电类型;掩埋层材料，具有第二导电类型，掩埋层材料形成在衬底的表面上方并且与衬底的表面接触;具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱，具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱形成在掩埋层材料的表面上方并且与掩埋层材料的表面接触;第一、第二、第三和第四浅阱区域，具有第一导电类型，第一、第二、第三和第四浅阱区域分别形成在具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱上方并且分别与具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱接触;第一、第二、第三和第四掺杂区域，具有第一导电类型，第一、第二、第三和第四掺杂区域分别形成在第一、第二、第三和第四浅阱区域上方并且与第一、第二、第三和第四浅阱区域接触;具有第二导电类型的第一、第二和第三高压阱，具有第二导电类型的第一、第二和第三高压阱形成在掩埋层材料的表面上方并且与掩埋层材料的表面接触，其中，具有第二导电类型的第一高压阱位于具有第一导电类型的第一高压阱与具有第一导电类型的第二高压阱之间并且与具有第一导电类型的第一高压阱和具有第一导电类型的第二高压阱接触，具有第二导电类型的第二高压阱位于具有第一导电类型的第二高压阱与具有第一导电类型的第三高压阱之间并且与具有第一导电类型的第二高压阱和具有第一导电类型的第三高压阱接触，以及具有第二导电类型的第三高压阱位于具有第一导电类型的第三高压阱与具有第一导电类型的第四高压阱之间并且与具有第一导电类型的第三高压阱和具有第一导电类型的第四高压阱接触;其中，具有第一导电类型的第一掺杂区域和第四掺杂区域连接至电源电压;其中，具有第一导电类型的第二掺杂区域连接至差分数据总线的第一信号线；以及其中，具有第一导电类型的第三掺杂区域连接至差分数据总线的第二信号线。
[0006]优选地，第二掺杂区域和第三掺杂区域位于第一掺杂区域与第四掺杂区域之间。
[0007]优选地，第一导电类型是P型，而第二导电类型是N型。
[0008]优选地，电源电压是Vss。
[0009]优选地，第一信号线和第二信号线传输极性相反的信号。
[0010]优选地，差分数据总线遵守FlexRay标准。
[0011]优选地，差分数据总线连接至无线电收发机。
[0012]根据本发明的另一方面，提供了一种用于差分信号器件的静电放电保护器件，包括:第一节点，连接至差分信号器件的第一信号线;第二节点，连接至差分信号器件的第二信号线;第三节点，连接至差分信号器件的电源电压;其中，第一节点、第二节点和第三节点电连接至衬底的区域；以及其中，衬底的区域被配置为允许电流从第一节点、第二节点和第三节点中的任何一个节点流至其他两个节点中的至少一个节点。
[0013]优选地，差分信号器件是FlexRay无线电收发机。
[0014]优选地，第一信号线是正总线，并且第二信号线是负总线，差分信号器件被配置为使用正总线上的第一信号和负总线上的第二信号来确定数字信号的值。
[0015]优选地，电源电压是Vss。
[0016]优选地，衬底的区域掺杂有具有第一导电类型的杂质。
[0017]优选地，该区域形成在具有第一导电类型的高压阱之上并且与具有第一导电类型的高压阱接触。
[0018]优选地，衬底包括:第一区域、第二区域、第三区域和第四区域，具有一导电类型的杂质且杂质的浓度基本相等，其中，第二区域和第三区域位于第一区域与第四区域之间，第三节点电连接至第一区域和第四区域，第一节点电连接至第二区域，并且第二节点电连接至第三区域。
[0019]根据本发明的又一方面，提供了一种静电放电保护器件，包括:第一、第二、第三和第四高压阱，形成在衬底上并且具有第一导电类型，其中，第二高压阱和第三高压阱位于第一高压阱与第四高压阱之间；第一节点，电连接至第一高压阱和第四高压阱；第二节点，电连接至第二高压阱；第三节点，电连接至第三高压阱；其中，第一、第二、第三和第四高压阱被配置为允许电流从第一节点、第二节点和第三节点中的任何一个节点流至其他两个节点中的至少一个节点。
[0020]优选地，通过具有第二导电类型的高压阱，将具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱分隔。
[0021]优选地，第一导电类型是P型，而第二导电类型是N型。
[0022]优选地，第一节点连接至具有第一导电类型的掺杂区域，掺杂区域形成在具有第一导电类型的浅阱区域之上并且与具有第一导电类型的浅阱区域接触，浅阱区域形成在第一高压阱之上并且与第一高压阱接触。
[0023]优选地，第一节点连接至差分信号器件的电源电压，第二节点连接至差分信号器件的第一信号线，以及第三节点连接至差分信号器件的第二信号线。
[0024]优选地，差分信号器件被配置为使用第一信号线上的第一信号和第二信号线上的第二信号来确定数字信号的值。
【附图说明】
[0025]当结合附图进行阅读时，根据下面详细的描述可以更好地理解本发明的各个方面。应该强调的是，根据工业中的标准实践，各种部件没有按比例绘制。实际上，为了清楚的讨论，各种部件的尺寸可以被任意增加或减少。
[0026]图1是示出了根据一些实施例的保护差分信号无线电收发机的信号线的三节点ESD保护器件的结构。
[0027]图2是根据一些实施例的ESD保护器件的截面图。
[0028]图3A和图3B是根据一些实施例的示出了在多种施加的电压下的电流泄漏的实验结果图。
[0029]图4A和图4B是根据一些实施例的示出了在多种施加的电压下的传输线脉冲的实验结果图。
【具体实施方式】
[0030]以下公开内容提供了许多不同实施例或实例，用于实现所提供主题的不同特征。以下将描述组件和布置的特定实例以简化本发明。当然，这些仅是实例并且不旨在限制本发明。例如，在以下描述中，在第二部件上方或上形成第一部件可以包括第一部件和第二部件直接接触的实施例，也可以包括形成在第一部件和第二部件之间的附加部件使得第一部件和第二部件不直接接触的实施例。另外，本发明可以在多个实例中重复参考标号和/或字符。这种重复是为了简化和清楚的目的，并且其本身不指示所讨论的各个实施例和/或配置之间的关系。
[0031 ]在一个实施例中，提供了具有足够的鲁棒性的三节点ESD保护器件来处理高ESD电流。图1是示出了用于保护差分信号无线电收发机的信号线的这种三节点ESD保护器件的示例性配置的框图。差分信号无线电收发机100(可以是接收机(RX)或发射机(TX))电连接至源极电压110(即，Vss)和漏极电压120(即，Vdd)。无线电收发机100包括两条信号线，BP 130和BM 140(它们的差分值确定信号是O还是I)。如上所述，保护BP和BM免受ESD影响的传统方法使用三个双节点ESD保护器件:第一双节点ESD保护器件位于BP与BM之间；第二双节点ESD保护器件位于BP与Vss之间；以及第三双节点ESD保护器件位于BM与Vss之间。与该传统的配置相反，图1所示的实施例示出了使用单个三节点ESD保护器件150以实现对于BP 130和BM140的基本相同的ESD保护。具体地，ESD保护器件150的三个节点连接至BP 130,BM 140和Vss110。该配置允许单个ESD保护器件150保护BP 130和BM 140免受ESD事件的影响:提供BP130与BM 140之间的ESD事件的保护(通常通过上面提及的第一双节点ESD保护器件来提供该功能)；提供BP 130与Vss 110之间的ESD事件的保护(通常通过第二双节点ESD保护器件来提供该功能)；以及提供BM 140与VSS 110之间的ESD事件的保护(通常通过第三双节点ESD保护器件来提供该功能)。通过仅使用一个三节点ESD保护器件150来实现通常由三个双节点ESD保护器件所提供的相同的ESD保护，可以节省大量的衬底面积。可以观察到，三节点ESD保护器件150需要的面积比三个传统的双节点ESD保护器件总共需要的面积约少50%。
[0032]图2示出了根据一个实施例的三节点ESD保护器件150的截面图。示出的器件150可以是集成电路器件的一部分，而该集成电路器件的剩余部分未被示出。在该实施例中，ESD保护器件150形成在轻掺杂有P型杂质的衬底200(例如，诸如硅的半导体材料)上(S卩，衬底200具有P型的导电类型)J型掩埋层(NBL)210形成在P型衬底200的顶面上方，使NBL 210的底面和两个侧面与P型衬底200接触。例如，可以通过将N型杂质注入P型衬底200来形成NBL2101型衬底200和NBL 210有效地形成具有中间NBL 210区域的表面215，其中中间NBL 210区域的侧面与P型衬底200区域相接。
[0033]然后，高压阱区域形成在表面215上。图2示出了具有交替的导电类型的一行高压阱区域。高压P型阱(HVPW)220、230形成在表面215的由P型衬底200形成的部分之上并且与其接触。介于HVPW 220与HVPW 230之间的是具有交替的导电类型的高压阱区域，这些高压阱区域形成在表面215的由NBL 210形成的部分之上并且与其接触。具体地，图2示出了示例性实施例，其中，高压N型阱(HVNW)221、HVPW 222、HVNW 223、HVPW 224、HVNW 225^HVPff226,HVNff 227,HVPff 228,HVNff 229依次相邻。在一些实施方式中，可以通过下列步骤形成这些高压阱区域:在表面215之上生长外延层；以及利用期望的掺杂剂注入该外延层，以形成期望的P型和N型区域。
[0034]然后，浅阱区域(S卩，浅P型区域(SHP)或浅N型区域(SHN))形成在所选择的高压阱区域上。在图2所示的实例中，SHP区域240、242、243、245分别形成在NBL 210之上的四个HVPW区域222、224、226、228之上并且分别与HVPW区域222、224、226、228接触。SHN区域241和244分别形成在HVNW区域223和227之上并且分别与HVNW区域223和227接触。在一些实施方式中，浅阱区域的掺杂浓度大于下面的高压阱区域的掺杂浓度。在一些实施方式中，每一个浅阱区域的底面都延伸至相关的高压阱区域的顶面的下方。
[0035]然后，形成重掺杂区域(P型(P+)或N型(N+))。如图2所示，在一个实施例中，分离的P+区域(B卩，262、263、264、266、267和268)形成在每一个浅阱区域(S卩，240至245)之上并且与每一个浅阱区域(即，240至245)接触。另外，分离的P+区域(S卩，260和270)形成在直接位于P型衬底200之上并且与P型衬底200接触的HVPW区域(S卩，220和230)之上。N+区域(SP，261、265和269)形成在不具有浅阱区域的HVNW区域(S卩，221、225和229)之上并且与这些HVNW区域接触。在一些实施方式中，可以通过将P型或N型杂质注入外延层或衬底来执行该工艺。
[0036]在图2所示的实施例中，例如，使用浅沟槽隔离(STI)来形成隔离区域250。可以通过蚀刻用于形成高压阱区域、浅阱区域和重掺杂区域的外延层或衬底并且利用介电材料来填充形成的凹槽，以形成STI区域250 ATI区域隔离重掺杂区域(S卩，260至270)，使每一个重掺杂区域的侧面都与STI区域接触，并且每一个重掺杂区域的底面都与相关的浅阱区域或高压阱区域(重掺杂区域在这些区域的上方形成)接触。
[0037]如上所述，ESD保护器件150至少支持三节点。在图2所示的示例性实施例中，第一节点将Vss 110电连接至形成在SHP区域上方的两个外部P+区域262和268。介于该P+区域262与268之间的是形成在SHP区域上方的两个附加的P+区域264和266。在所示出的实施例中，第二节点将差分信号器件的BP信号线130连接至P+264，而第三节点将差分信号器件的BM信号线140连接至P+266。在另一个示例性实施例(未示出)中，BP 130连接至P+266，而BM 140连接至P+264。
[0038]应该注意，虽然图2示出了形成在P型衬底上的ESD保护器件150的实施例，但是本领域的技术人员会意识到，可以使用N型衬底来代替。在使用N型衬底的实施例中，本文中参考图2所述的掩埋层、高压阱区域、浅阱区域和重掺杂区域的导电类型都要变化(invert)。例如，使用N型衬底的实施例将具有P型掩埋层，而不是具有图2所示的N型掩埋层。
[0039]多节点ESD保护器件150(诸如图2所示的器件)的结构提供了足够的电流通道，以免受如FlexRay标准所规定(S卩，高达+/— 60V的电压并且通过6kV HMM(人体金属模型)应力测试)的高电平ESD事件的影响。例如，当ESD事件使BP 130相对于Vss具有正电压时，电子将从最近的Vss(即，通过262)流至BP 130。电子还会从其他的Vss端(S卩，通过268)流至BP 130，但是由于相对较高的电阻(由于较长的距离)，所以有较小的电流流经该路径。类似地，如果ESD事件使BM 140相对于Vss具有正电压，则电流会从较近的Vss端(S卩，通过268)流至BM140，而电流从其他的Vss端(S卩，通过262)流至BM 140的程度较小。如果ESD事件使BP 130相对于BM 140具有正电压，则电流会从BM 140流至BP 130。如果BP 130与BM 140之间的相对电压颠倒，则相反地，电流会从BP 130流至BM 140。图2所示的结构使电流路径长度最小化，因此使信号线BP 130与BM 140之间的电阻以及信号线BP 130和BM 140各自与Vss 110(通过262和268)之间的电阻最小化。具体地，通过单个HVNW区域的宽度将HVPW 224(与BP 130相关)与HVPW 222(与Vss 110相关)和HVPW 226(与BM 140相关)中的每一个分离;类似地，通过单个HVNW区域的宽度将HVPW 226(与BM 140相关)与HVPW 228(与Vss 110相关)和HVPW 224(与BP 130相关)中的每一个分离。
[0040]图3A和图3B示出了使用ESD保护器件150的电流泄漏测试结果。图3A示出了由施加于BP或BM且范围为一 60V至+60V (相对于Vss)的模拟ESD事件而得到的电流泄漏。如图3A所示，在+/ — 60V的范围内，泄漏电流基本保持在OA，这符合FI exRay标准的要求。图3B示出了将OV至接近于12V(相对于BP)的模拟ESD事件施加于BM而得到的电流泄漏。当施加的电压介于OV与约1V之间时，电流泄漏基本保持在0A，然后在较高的电压下泄漏电流显著增大。由于BM和BP上的ESD的强度(magnitude)(通常小于5V)通常比与Vss相关的ESD小得多，所以该结果符合FlexRay的性能要求。
[0041]图4A和图4B示出了使用ESD保护器件150的传输线脉冲(TLP)测试结果。图4A示出了将一 60V至+60V(相对于Vss)范围内的模拟ESD事件施加于BP或BM时的TLP电流的测量。同样，在模拟ESD事件处于+/— 60V的范围内时，TLP线电流基本保持在0A。图4B示出了在将从OV至大约60V(相对于BM)范围内的模拟ESD事件施加于BP时的TLP电流的测量。这时，可以观察到，直到施加的电压达到约15V之前，TLP线电流基本保持在0A。该结果又一次示出ESD保护器件150提供了足够的鲁棒保护，以免受预期的ESD行为的影响，在BP与BM之间，该ESD行为通常小于5V。
[0042]如图3A至图3B以及图4A至图4B所示，三节点ESD保护器件对差分信号器件(例如，无线电收发机)提供了足够的ESD保护，以符合FlexRay标准的严格要求。三节点ESD保护器件的结构允许单个ESD保护器件保护无线电收发机的BP和BM信号线。与使用三个双节点ESD保护器件来完成相同的任务的传统方法相比，本文描述的单个三节点ESD保护器件显著地节省了面积。可以观察到，在一些实施方式中，与三个双节点ESD保护器件所占的面积相比，单个三节点ESD保护器件节省了约50 %的面积。此外，三节点ESD保护器件的结构使三个节点之间的距离最小化，因此相应地使节点之间的电阻最小化，以确保有效的电流。
[0043]此外，为了便于描述，本文中可以使用诸如“在…下方”、“在…下面”、“下部”、“在…上面”、“上部”等空间关系术语以描述如图所示的一个元件或部件与另一元件或部件的关系。除图中所示的方位之外，空间关系术语旨在包括使用或操作过程中的器件的不同的方位。装置可以以其它方式定位(旋转90度或在其他方位)，并且在本文中使用的空间关系描述符可同样地作出相应地解释。
[0044]本文所描述的是用于差分信号器件的静电放电保护器件的实施例。ESD保护器件包括具有第一导电类型(例如，P型)的衬底。具有第二导电类型(例如，N型)的掩埋层材料形成在衬底的表面上方并且与衬底的表面接触。具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱形成在掩埋层材料的表面上方并且与掩埋层材料的表面接触。具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四浅阱区域分别形成在具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱上方并且分别与具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱接触。具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四掺杂区域分别形成在第一、第二、第三和第四浅阱区域上方并且分别与第一、第二、第三和第四浅阱区域接触。具有第二导电类型的第一、第二和第三高压阱形成在掩埋层材料的表面上方并且与掩埋层材料的表面接触。具有第二导电类型的第一高压阱位于具有第一导电类型的第一高压阱与第二高压阱之间并且与具有第一导电类型的第一高压阱和第二高压阱接触，具有第二导电类型的第二高压阱位于具有第一导电类型的第二高压阱与第三高压阱之间并且与具有第一导电类型的第二高压阱和第三高压阱接触，以及具有第二导电类型的第三高压阱位于具有第一导电类型的第三高压阱与第四高压阱之间并且与具有第一导电类型的第三高压阱和第四高压阱接触。具有第一导电类型的第一掺杂区域和第四掺杂区域连接至电源电压，具有第一导电类型的第二掺杂区域连接至差分数据总线的第一信号线，以及具有第一导电类型的第三掺杂区域连接至差分数据总线的第二信号线。
[0045]在一个实施例中，提供一种用于差分信号器件的静电放电保护器件。静电放电保护器件具有:第一节点，连接至差分信号器件的第一信号线;第二节点，连接至差分信号器件的第二信号线；以及第三节点，连接至差分信号器件的电源电压。第一节点、第二节点和第三节点电连接至衬底的区域，该区域被配置为允许电流从第一节点、第二节点和第三节点中的任何一个节点流至其他两个节点中的至少一个节点。
[0046]在另一个实施例中，提供了一种静电放电保护器件。该器件包括形成在衬底上的具有第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱，其中第二高压阱和第三高压阱位于第一高压阱与第四高压阱之间。该器件还具有:第一节点，电连接至第一高压阱和第四高压阱；第二节点，电连接至第二高压阱；以及第三节点，电连接至第三高压阱。第一、第二、第三和第四高压阱被配置为允许电流从第一节点、第二节点和第三节点中的任何一个节点流至其他两个节点中的至少一个节点。
[0047]上面论述了若干实施例的部件，使得本领域普通技术人员可以更好地理解本发明的各个方面。本领域普通技术人员应该理解，可以很容易地使用本发明作为基础来设计或更改其他用于达到与这里所介绍实施例相同的目的和/或实现相同优点的处理和结构。本领域普通技术人员也应该意识到，这种等效构造并不背离本发明的精神和范围，并且在不背离本发明的精神和范围的情况下，可以进行多种变化、替换以及改变。
【主权项】
1.一种用于差分信号器件的静电放电保护器件，包括: 衬底，具有第一导电类型； 掩埋层材料，具有第二导电类型，所述掩埋层材料形成在所述衬底的表面上方并且与所述衬底的表面接触； 具有所述第一导电类型的第一、第二、第三和第四高压阱，具有所述第一导电类型的所述第一、所述第二、所述第三和所述第四高压阱形成在所述掩埋层材料的表面上方并且与所述掩埋层材料的表面接触； 第一、第二、第三和第四浅阱区域，具有所述第一导电类型，所述第一、所述第二、所述第三和所述第四浅阱区域分别形成在具有所述第一导电类型的所述第一、所述第二、所述第三和所述第四高压阱上方并且分别与具有所述第一导电类型的所述第一、所述第二、所述第三和所述第四高压阱接触； 第一、第二、第三和第四掺杂区域，具有所述第一导电类型，所述第一、所述第二、所述第三和所述第四掺杂区域分别形成在所述第一、所述第二、所述第三和所述第四浅阱区域上方并且与所述第一、所述第二、所述第三和所述第四浅阱区域接触； 具有所述第二导电类型的第一、第二和第三高压阱，具有所述第二导电类型的所述第一、所述第二和所述第三高压阱形成在所述掩埋层材料的表面上方并且与所述掩埋层材料的表面接触，其中，具有所述第二导电类型的所述第一高压阱位于具有所述第一导电类型的所述第一高压阱与具有所述第一导电类型的所述第二高压阱之间并且与具有所述第一导电类型的所述第一高压阱和具有所述第一导电类型的所述第二高压阱接触，具有所述第二导电类型的所述第二高压阱位于具有所述第一导电类型的所述第二高压阱与具有所述第一导电类型的所述第三高压阱之间并且与具有所述第一导电类型的所述第二高压阱和具有所述第一导电类型的所述第三高压阱接触，以及具有所述第二导电类型的所述第三高压阱位于具有所述第一导电类型的所述第三高压阱与具有所述第一导电类型的所述第四高压阱之间并且与具有所述第一导电类型的所述第三高压阱和具有所述第一导电类型的所述第四高压阱接触； 其中，具有所述第一导电类型的所述第一掺杂区域和所述第四掺杂区域连接至电源电压； 其中，具有所述第一导电类型的所述第二掺杂区域连接至差分数据总线的第一信号线；以及 其中，具有所述第一导电类型的所述第三掺杂区域连接至所述差分数据总线的第二信号线。2.根据权利要求1所述的静电放电保护器件，其中，所述第二掺杂区域和所述第三掺杂区域位于所述第一掺杂区域与所述第四掺杂区域之间。3.根据权利要求1所述的静电放电保护器件，其中，所述第一导电类型是P型，而所述第二导电类型是N型。4.根据权利要求1所述的静电放电保护器件，其中，所述电源电压是Vss。5.根据权利要求1所述的静电放电保护器件，其中，所述第一信号线和所述第二信号线传输极性相反的信号。6.根据权利要求1所述的静电放电保护器件，其中，所述差分数据总线遵守FlexRay标准。7.—种用于差分信号器件的静电放电保护器件，包括: 第一节点，连接至所述差分信号器件的第一信号线； 第二节点，连接至所述差分信号器件的第二信号线； 第三节点，连接至所述差分信号器件的电源电压； 其中，所述第一节点、所述第二节点和所述第三节点电连接至衬底的区域；以及其中，所述衬底的所述区域被配置为允许电流从所述第一节点、所述第二节点和所述第三节点中的任何一个节点流至其他所述两个节点中的至少一个节点。8.根据权利要求7所述的静电放电保护器件，其中，所述差分信号器件是FlexRay无线电收发机。9.一种静电放电保护器件，包括: 第一、第二、第三和第四高压阱，形成在衬底上并且具有第一导电类型，其中，所述第二高压阱和所述第三高压阱位于所述第一高压阱与所述第四高压阱之间； 第一节点，电连接至所述第一高压阱和所述第四高压阱； 第二节点，电连接至所述第二高压阱； 第三节点，电连接至所述第三高压阱； 其中，所述第一、所述第二、所述第三和所述第四高压阱被配置为允许电流从所述第一节点、所述第二节点和所述第三节点中的任何一个节点流至其他所述两个节点中的至少一个节点。10.根据权利要求9所述的静电放电保护器件，其中，通过具有第二导电类型的高压阱，将具有所述第一导电类型的所述第一、所述第二、所述第三和所述第四高压阱分隔。
【文档编号】H01L27/10GK105977251SQ201510938252
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2015年12月16日
【发明人】李介文
【申请人】台湾积体电路制造股份有限公司