二极管端面泵浦全固态激光器的制造方法_2

文档序号:8788356阅读:来源:国知局
的绿光脉冲13和剩余的基波脉冲在三次谐波晶体10内发生和频,产生偏振态与基波偏振态(S偏振)一致的三次谐波紫外激光脉冲12。第二输出镜7为355nm输出镜,其将绿光脉冲13与紫外激光脉冲12分离,紫外激光脉冲12从第二输出镜7处输出,绿光脉冲13由第一输出镜6 (532nm输出镜)处输出。同时可以通过调节二次谐波晶体11和三倍频晶体10的控制温度调节绿光脉冲13与紫外激光脉冲12的功率分配。
[0048]实施例2:
[0049]本实施例提供了一种二极管端面泵浦全固态激光器,请参见图2所示,该激光器包括:泵浦光源1、光学耦合系统2、激光谐振腔,布置于激光谐振腔内的激光晶体8、Q调制元件9、第一倍频晶体11、第二倍频晶体10、第一输出镜6和第二输出镜7。
[0050]其中,光学耦合系统2设置于泵浦光源I和激光谐振腔之间,在本实施例中,光学耦合系统2设置于泵浦光源I和第一折叠镜5之间;激光谐振腔由第一全反镜4、第二全反镜3和第一折叠镜5组成;激光谐振腔被构造为V型,激光晶体8和Q调制元件9依次设于第一折叠镜5和第一全反镜4之间;第一输出镜6、第二输出镜7、第一倍频晶体11和第二倍频晶体10依次设于第一折叠镜5和第二全反镜3之间。
[0051]泵浦光源I通过泵浦光照射激光晶体8泵浦激光晶体8以产生激光14 ;激光晶体8产生的激光14在激光谐振腔内震荡并通过第一倍频晶体11和第二倍频晶体10进行倍频以产生两个不同波长的输出激光分别经第一输出镜6和第二输出镜7射出。
[0052]其中,激光晶体8选自Nd:YV04或Nd = YAG或Nd:YLF或Nd:Glass。第一倍频晶体11为二次谐波晶体,第二倍频晶体10为三次谐波晶体,进一步地,二次谐波晶体选自磷酸二氢钾或三硼酸锂或硼酸铋或磷酸氧钛钾或偏硼酸钡非线性光学晶体,所述三次谐波晶体选自三硼酸锂或三硼酸铯或硼酸铯锂或偏硼酸钡非线性光学晶体。另外,Q调制元件9为声光调Q器件、电光调Q器件或被动调Q器件。第一全反镜4或第二全反镜3为平面镜、平-凹镜或平-凸镜。
[0053]在本实施例中,泵浦光源I为二极管激光器,二极管激光器I输出的泵浦激光14经光学耦合系统2准直聚焦后进入激光晶体8,由于泵浦激光14波长处于Nd掺杂的激光增益介质的吸收峰,激光晶体8吸收泵浦光后受激辐射,经过由第一全反镜4、第二全反镜3和第一折叠镜5组成的激光谐振腔的选模作用,产生高光束质量的线偏基频光(S偏振),由于调Q作用得到很高峰值功率的基频脉冲光。线偏振的基频光经过二次谐波晶体11时,产生垂直基频偏振态(P偏振)的倍频绿光脉冲13。相互垂直偏振态的绿光脉冲13和剩余的基波脉冲在三次谐波晶体10内发生和频,产生偏振态与基波偏振态(S偏振)一致的三次谐波紫外激光脉冲12。第二输出镜7为355nm输出镜,其将绿光脉冲13与紫外激光脉冲12分离,紫外激光脉冲12从第二输出镜7处输出,绿光脉冲13由第一输出镜6 (532nm输出镜)处输出。同时可以通过调节二次谐波晶体11和三倍频晶体10的控制温度调节绿光脉冲13与紫外激光脉冲12的功率分配。
[0054]实施例3:
[0055]本实施例提供了一种二极管端面泵浦全固态激光器,请参见图3所示,该激光器包括:泵浦光源1、光学耦合系统2、激光谐振腔,布置于激光谐振腔内的激光晶体8、Q调制元件9、第一倍频晶体11、第二倍频晶体10、第一输出镜6和第二输出镜7。
[0056]其中,光学耦合系统2设置于泵浦光源I和激光谐振腔之间,在本实施例中,光学耦合系统2设置于泵浦光源I和第一折叠镜5之间;激光谐振腔由第一全反镜4、第二全反镜3、第一折叠镜5和第二折叠镜15组成,激光谐振腔被构造为Z型,激光谐振腔包括两个折叠镜,所述Q调制元件9设于第一折叠镜5和第一全反镜3之间,所述激光晶体8设于第一折叠镜5和第二折叠镜15之间,第一输出镜13、第二输出镜12、第一倍频晶体11和第二倍频晶体10依次设于所述第二折叠镜15和所述第二全反镜4之间。
[0057]在本实施例中,泵浦光源I为二极管激光器,二极管激光器I输出的泵浦激光14经光学耦合系统2准直聚焦后进入激光晶体8,由于泵浦激光14波长处于Nd掺杂的激光增益介质的吸收峰,激光晶体8吸收泵浦光后受激辐射,经过由第一全反镜4、第二全反镜3、第一折叠镜5和第二折叠镜15组成的激光谐振腔的选模作用,产生高光束质量的线偏基频光(S偏振),由于调Q作用得到很高峰值功率的基频脉冲光。线偏振的基频光经过二次谐波晶体11时,产生垂直基频偏振态(P偏振)的倍频绿光脉冲13。相互垂直偏振态的绿光脉冲13和剩余的基波脉冲在三次谐波晶体10内发生和频,产生偏振态与基波偏振态(S偏振)一致的三次谐波紫外激光脉冲12。第二输出镜7为355nm输出镜,其将绿光脉冲13与紫外激光脉冲12分离,紫外激光脉冲12从第二输出镜7处输出,绿光脉冲13由第一输出镜6 (532nm输出镜)处输出。同时可以通过调节二次谐波晶体11和三倍频晶体10的控制温度调节绿光脉冲13与紫外激光脉冲12的功率分配。
[0058]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,该激光器包括: 激光谐振腔,由第一全反镜、第二全反镜和至少一个折叠镜组成; 布置于所述激光谐振腔内的激光晶体; 布置于所述激光谐振腔内的第一倍频晶体和第二倍频晶体; 布置于所述激光谐振腔内的第一输出镜和第二输出镜; 泵浦光源,所述泵浦光源通过泵浦光照射所述激光晶体泵浦所述激光晶体以产生激光;以及 至少一个光学耦合系统,所述光学耦合系统设置于泵浦光源和激光谐振腔之间; 其中,激光晶体产生的激光在激光谐振腔内震荡并通过第一倍频晶体和第二倍频晶体进行倍频以产生两个不同波长的输出激光分别经第一输出镜和第二输出镜射出。
2.根据权利要求1所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述激光谐振腔还包括一 Q调制元件。
3.根据权利要求2所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述激光谐振腔被构造为L型,所述激光晶体和所述Q调制元件依次设于所述折叠镜和所述第一全反镜之间,第一输出镜、第二输出镜、第一倍频晶体和第二倍频晶体依次设于所述折叠镜和所述第二全反镜之间。
4.根据权利要求2所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述激光谐振腔被构造为V型,所述激光晶体和所述Q调制元件依次设于所述折叠镜和所述第一全反镜之间,第一输出镜、第二输出镜、第一倍频晶体和第二倍频晶体依次设于所述折叠镜和所述第二全反镜之间。
5.根据权利要求2所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述激光谐振腔被构造为Z型,所述激光谐振腔包括两个折叠镜,所述Q调制元件设于第一折叠镜和第一全反镜之间,所述激光晶体设于第一折叠镜和第二折叠镜之间,第一输出镜、第二输出镜、第一倍频晶体和第二倍频晶体依次设于所述第二折叠镜和所述第二全反镜之间。
6.根据权利要求3至5任一项所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述激光晶体选自:YLF或Nd:Glass。
7.根据权利要求3至5任一项所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述第一倍频晶体为二次谐波晶体,所述第二倍频晶体为三次谐波晶体。
8.根据权利要求7所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述二次谐波晶体选自磷酸二氢钾或三硼酸锂或硼酸铋或磷酸氧钛钾或偏硼酸钡非线性光学晶体;所述三次谐波晶体选自三硼酸锂或三硼酸铯或硼酸铯锂或偏硼酸钡非线性光学晶体。
9.根据权利要求3至5任一项所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述Q调制元件为声光调Q器件、电光调Q器件或被动调Q器件。
10.根据权利要求3至5任一项所述的二极管端面泵浦全固态激光器,其特征在于,所述第一全反镜或第二全反镜为平面镜、平-凹镜或平-凸镜。
【专利摘要】本实用新型涉及一种二极管端面泵浦全固态激光器,包括:激光谐振腔,由第一全反镜、第二全反镜和至少一个折叠镜组成;布置于所述激光谐振腔内的激光晶体、第一倍频晶体、第二倍频晶体、第一输出镜和第二输出镜;还包括泵浦光源以及至少一个光学耦合系统;其中,激光晶体产生的激光在激光谐振腔内震荡并通过第一倍频晶体和第二倍频晶体进行倍频以产生两个不同波长的输出激光分别经第一输出镜和第二输出镜射出。本实用新型的激光器设有两个输出镜分别输出波长不同的两种激光,无需使用单透射双反射膜,减小镜片的损伤;另外,该激光器设置了两个倍频晶体,通过调节倍频晶体实现对输出激光功率的调节,在满足不同材料选择性加工的同时降低调节难度。
【IPC分类】H01S3-109, H01S3-0941
【公开号】CN204497562
【申请号】CN201520090922
【发明人】东芳, 李扬, 朱忆龙, 陈义红, 陈义兵, 易光纯, 贺谊
【申请人】武汉新特光电技术有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年2月10日
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