一种用于放置片状元件的托盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及到一种用于放置片状元件的托盘。
【背景技术】
[0002]异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。在异质结太阳能电池的制备工艺中，包括清洗制绒、PECVD、物理气相沉积、丝网印刷、退火等工艺步骤;其中，等离子体增强化学气相沉积工艺(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposit1n，简称PECVD)是最核心的工艺之一。在PECVD工艺过程中需要用到承载硅片的托盘，如图1和图2所示，包括基板10，基板的表面设置有若干用于承载硅片的凹槽20。在PECVD工艺过程中，首先，机械手将硅片放置在托盘的凹槽20内；之后，将托盘传送至PECVD设备内对硅片的上表面进行镀膜;然后，将硅片翻面，对硅片的上表面进行镀膜;在镀膜工艺完成后，托盘被传出PECVD设备，由机械手将硅片从托盘上抓取至传送带，进行下一工艺。在这个过程中，机械手需要多次将硅片放置在托盘的凹槽内，多次从托盘的凹槽内抓取硅片。由于凹槽槽壁的存在，机械手会与凹槽槽壁多次接触，一方面，导致机械手对硅片放置和抓取的效率低，另一方面，导致托盘容易损坏。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供了一种用于放置片状元件的托盘，与现有技术相比，解决了外部的机械手将片状元件放置在托盘上和从托盘上抓取时效率低且托盘易被损坏的技术问题。
[0004]本实用新型公开了以下技术方案:
[0005]—种用于放置片状元件的托盘，包括:
[0006]基板；
[0007]固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。
[0008]优选的，所述限位组件的阻挡件之间用于放置圆形片状元件时，所述限位组件的阻挡件位于同一个圆的圆周上且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角小于180度。
[0009]优选的，所述限位组件的阻挡件之间用于放置多边形片状元件时，所述多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件。
[0010]优选的，所述多边形片状元件是方形片状元件，所述限位组件的阻挡件至少为四个且分别设置在所述方形片状元件的四个边的外侧。
[0011 ]优选的，四个所述阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。
[0012]优选的，所述限位组件是多个且呈阵列排布。
[0013]优选的，相邻行的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件，相邻列的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件。
[0014]优选的，所述阻挡件的边缘为倒边或所述阻挡件的端部是倒角。
[0015]优选的，所述阻挡件和所述基板第一表面通过粘接剂固定。
[0016]优选的，所述阻挡件和所述基板第一表面通过硅胶固定。
[0017]优选的，所述阻挡件的厚度是之间的任一值。
[0018]优选的，所述阻挡件的厚度是0.7mm。
[0019]优选的，所述基板是玻璃基板，所述阻挡件是玻璃阻挡件或陶瓷阻挡件。
[0020]本实用新型的用于放置片状元件的托盘，包括基板和固定在基板第一表面的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，每个所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。这样，外部的机械手可以自上而下在每个限位组件的阻挡件之间放置片状元件，可以自下而上从每个限位组件的阻挡件之间取出片状元件，当片状元件放置在限位组件的阻挡件之间时，由于阻挡件的存在，可以阻挡片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间，即每个所述限位组件的阻挡件之间可以对片状元件进行限位；由于所述限位组件的阻挡件之间是分离设置的，即阻挡件之间是有存在间隔的，这样，在外部的机械手对片状元件放置和抓取的过程中，外部的机械手可以通过阻挡件之间间隔进行放置和抓取，减少了机械手与托盘的接触，提高了外部的机械手放置和抓取片状元件的效率，同时，托盘不容易损坏，提高了托盘的使用寿命ο
【附图说明】
[0021]图1为现有的托盘的俯视图；
[0022]图2为图1托盘的Α-Α剖视图；
[0023]图3是本实用新型的放置了正方形片状元件的托盘的局部示意图；
[0024]图4是本实用新型的放置了正方形片状元件的托盘的俯视图；
[0025]图5是图4所示放置了正方形片状元件的托盘的Β-Β剖视图；
[0026]图6是本实用新型的放置了圆形片状元件的托盘的局部示意图。
[0027]附图标记:
[0028]10基板，20凹槽；
[0029]100基板，110基板第一表面，
[0030]200 阻挡件，
[0031]300片状元件。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0033]实施例一
[0034]本实用新型实施例一提供的一种用于放置制备太阳能电池用片状元件300如硅片的托盘，如图3，图4和图5所示，包括:
[0035]基板100;
[0036]固定在基板第一表面110的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件200且每个阻挡件200凸出固定在基板第一表面110，限位组件的阻挡件200之间用于放置片状元件300且阻挡件200用于阻挡放置在阻挡件200之间的片状元件300沿基板第一表面110移出阻挡件200之间。
[0037]需要说明的是，在本实施例中，是以用于放置制备太阳能电池用硅片的托盘为例进行说明的，但是不限于硅片，只要是片状元件且需要采用机械手进行放置和抓取，都可以采用本实施例结构的托盘，如可以是片形的瓷砖，玻璃板，木板，金属板等等。
[0038]本实施例的托盘，包括基板和固定在基板第一表面的限位组件，限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个阻挡件凸出固定在基板第一表面，每个限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且阻挡件用于阻挡放置在阻挡件之间的片状元件沿基板第一表面移出阻挡件之间。这样，外部的机械手可以自上而下在每个限位组件的阻挡件之间放置片状元件，可以自下而上从每个限位组件的阻挡件之间取出片状元件，当片状元件放置在限位组件的阻挡件之间时，由于阻挡件的存在，可以阻挡片状元件沿基板第一表面移出阻挡件之间，即每个限位组件的阻挡件之间可以对片状元件进行限位；由于限位组件的阻挡件之间是分离设置的，即阻挡件之间是有存在间隔的，这样，在外部的机械手对片状元件放置和抓取的过程中，外部的机械手可以通过阻挡件之间间隔进行放置和抓取，减少了机械手与托盘的接触，提高了外部的机械手放置和抓取片状元件的效率，同时，托盘不容易损坏，提高了托盘的使用寿命。
[0039]同时，阻挡件的存在，外部的机械手可以通过阻挡件的位置，精确得到片状元件的位置，为实现片状元件放置、抓取和翻面的自动化提供了条件，保证了太阳能电池的制备工艺的连续性和一致性，提高了制备太阳能电池的效率。
[0040]具体的，基板可以是采用玻璃基板。选用玻璃基板作为基板，是为了满足太阳能电池的制备工艺中对基板耐高温、不易变形、不影响产品性能、成本低的需求，同时，玻璃基板与太阳能电池的制备工艺中的其他设备的兼容性好，重复使用率高，稳定性好，清洗工艺简单。作为一种优选的尺寸，基板的尺寸为2600mmX 2200mm，厚度为3?4mm。基板太薄会影响托盘强度和耐高温的脆性，太厚会导致托盘重量加重，影响托盘的正常运输，也会影响产品的电池性能。
[0041 ]具体的，阻挡件优选采用玻璃阻挡件，如可以直接采用载玻片作为阻挡件。这样，玻璃阻挡件与玻璃基板之间的粘接固定更容易实现且更牢固。
[0042]阻挡件还可以是耐高温的陶瓷阻挡件，还