可以是耐高温的工程塑料的阻挡件。
[0043]常见的硅片的形状是圆形，方形，其中方形包括正方形和长方形。根据硅片的形状，只要设置每个限位组件的阻挡件的位置使放置在阻挡件之间的硅片不能沿基板的第一表面从阻挡件之间移出即可，每个限位组件的阻挡件的数量和具体设置位置可以根据实际需要进行设置。
[0044]如图3所示，当硅片是方形时，限位组件的阻挡件200是四个且阻挡件分别设置在方形片状元件的每个边的外侧。
[0045]这样，方形的硅片可以放置在限位组件的四个阻挡件之间，四个阻挡件从上下左右四个方向阻挡硅片沿基板的第一表面从限位组件的四个阻挡件之间移出。
[0046]进一步的，如图3所示，限位组件的四个阻挡件200两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。这样，在限位组件的阻挡件之间放置和抓取硅片时，相邻边上的阻挡件之间的间隔相同，便于外部的机械手对片状元件的放置和抓取;同时，也便于托盘的加工制造。
[0047]需要说明的是，在本实施例中，是以片状元件是方形片状元件，限位组件的四个阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧为例进行说明的，但不限于此，如果片状元件是其他多边形，多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件即可。
[0048]进一步的，如图3所示，两两相对的阻挡件200之间的距离略大于方形硅片的边长，这样，可以方便外部的机械手对片状元件的放置和抓取。
[0049]进一步的，如图4所示，限位组件是多个且呈阵列排布。多个限位组件是按照阵列排布，即限位组件是按规律排列的，外部的机械手按照排列的规律，精确得到片状元件的位置，为实现片状元件放置，抓取和翻面的自动化提供了条件，保证了太阳能电池的制备工艺的连续性和一致性；同时，可以简化托盘的制造工艺。
[0050]为了减少阻挡件的数量，同时，有效提高基板第一表面的利用率，作为一种优选的方式，阵列排布的限位组件可以采用如图4所示的，相邻行的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件，相邻列的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件。
[0051]这样，减少了阻挡件的数量，节约了基板第一表面的空间。在第一基板的尺寸不变的条件下，可以设置更多的限位组件，即可以放置更多的片状元件，最大化的利用了基板第一表面。由于在托盘进入PECVD设备后，镀膜是针对托盘的整个上表面进行的，片状元件之间的间隔越小，对PECVD设备中镀膜材料的浪费越小，因此，提高了 PECVD设备中镀膜材料的利用率。
[0052]阻挡件的形状可以是多种形状的，作为一种优选的方式，如图3所示，阻挡件可以是长条形阻挡件;长片形阻挡件的一个长条形的底面与基板的第一表面固定;每个长条形阻挡件的长边朝向限位组件的阻挡件之间内。优选的，通过合理设置长条形阻挡件的尺寸，尤其是减小长条形阻挡件的厚度，减少PECVD工艺中的扰射，从而提高太阳能电池的性能，如长条形阻挡件的厚度小于1mm。具体的，长条形阻挡件的尺寸长X宽可以是10_X 10mm，20mm X 10mm，30mm X 1 0mm , 40mm X 10mm，厚度为0.2mm?1mm之间的任一值。厚度在0.2mm?1mm之间任一值的阻挡件，一方面，厚度足够大，可以有效的阻挡片状元件，另一方面，厚度适宜，减少PECVD工艺中的扰射，从而提高太阳能电池的性能。作为一种优选的阻挡件厚度，还可以是0.7mm。
[0053]每个长条形阻挡件的长边朝向限位组件的阻挡件之间，长条形阻挡件的长边是与片状元件的边缘相对的，对片状元件的固定和限位作用更好；同时，相邻的片状元件之间的间隔较小。
[0054]作为一种优选的方式，阻挡件的边缘为倒边或阻挡件的端部是倒角。这样，可以减少阻挡件将片状元件划伤风险。
[0055]具体的，阻挡件和基板第一表面可以通过粘接剂固定。粘接剂的主要作用是粘贴阻挡件，托盘要在PECVD设备中工作，因此还需要耐200°C以上的高温、耐化学腐蚀，且能耐等离子体化学冲击在PECVD工艺不会发生化学反应的粘结剂，如可以是耐200°C以上的高温、耐化学腐蚀的硅胶。
[0056]实施例二
[0057]本实用新型实施例二提供的一种用于放置制备太阳能电池用硅片的托盘，与实施例一的区别在于:
[0058]当硅片是圆形时，限位组件的阻挡件200位于同一个圆的圆周且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角小于180度。
[0059]具体的，可以是如图6所示，限位组件的阻挡件最少是三个且任意相邻两个阻挡件所在弧的圆心角为120度。这样，限位组件的阻挡件的数量最少，减少了托盘制作工艺的复杂程度。此时，实施例一中的特征“阵列排布的限位组件的相邻行的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件，相邻列的限位组件在相邻的位置共用一个阻挡件”不适用。
[0060]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种用于放置片状元件的托盘，其特征在于，包括: 基板； 固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。2.根据权利要求1所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件的阻挡件之间用于放置圆形片状元件时，所述限位组件的阻挡件位于同一个圆的圆周上且任意两个相邻的阻挡件所在弧的圆心角小于180度。3.根据权利要求1所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件的阻挡件之间用于放置多边形片状元件时，所述多边形片状元件每个边的外侧对应至少一个所述阻挡件。4.根据权利要求3所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述多边形片状元件是方形片状元件，所述限位组件的阻挡件至少为四个且分别设置在所述方形片状元件的四个边的外侧。5.根据权利要求4所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，四个所述阻挡件两两相对设置且每个阻挡件设置在与之对应的所述方形片状元件的每个边的中间位置的外侧。6.根据权利要求3或4或5所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述限位组件是多个且呈阵列排布。7.根据权利要求6所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，相邻行的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件，相邻列的所述限位组件在相邻的位置共用一个所述阻挡件。8.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的边缘为倒边或所述阻挡件的端部是倒角。9.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件和所述基板第一表面通过粘接剂固定。10.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件和所述基板第一表面通过硅胶固定。11.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的厚度是0.2mm?1mm之间的任一值。12.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述阻挡件的厚度是0.7mm。13.根据权利要求1至5任一所述的用于放置片状元件的托盘，其特征在于，所述基板是玻璃基板，所述阻挡件是玻璃阻挡件或陶瓷阻挡件。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于放置片状元件的托盘，包括：基板；固定在所述基板第一表面的限位组件，所述限位组件包括至少三个分离的阻挡件且每个所述阻挡件凸出固定在所述基板第一表面，所述限位组件的阻挡件之间用于放置片状元件且所述阻挡件用于阻挡放置在所述阻挡件之间的片状元件沿所述基板第一表面移出所述阻挡件之间。本实用新型的用于放置片状元件的托盘，与现有技术相比，解决了外部的机械手将片状元件放置在托盘上和从托盘上抓取时效率低且托盘易被损坏的技术问题。
【IPC分类】H01L21/687, H01L31/18, H01L21/673
【公开号】CN205081103
【申请号】CN201520915321
【发明人】代智杰, 房现飞, 周广福, 王晓娜, 张武科, 刘春岐, 孟原, 郭铁
【申请人】新奥光伏能源有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年11月17日