一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路的制作方法

文档序号:11146725阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于高能离子注入机射频信号的相位锁定电路,该方法主要用于射频加速的高能离子注入机射频信号的相位调控;其特征是,该控制电路主要包括鉴相器(1),放大电路(2),压控振荡器(3),与非门(4)和环路滤波器(5);鉴相器(1)输入信号相位差和输出电压有线性关系,发现输入信号和反馈信号的相位差别,然后通过对应电压表示出这个差别;压控振荡器(3)作为一个受控部件,其输出频率和输入控制电压存在对应关系。

2.根据权利要求1的基于高能离子注入机射频信号相位控制电路,其特征是,鉴相器(1)是一种模拟鉴相器,射频输入信号的频率是13.56MHz,射频输入和环路反馈的正弦信号分别加于鉴相器,其相位差即为对应的输出电压,鉴相器的输出电压经过放大电路作为压控振荡器的输入控制电压。

3.根据权利要求1的基于高能离子注入机射频信号相位控制电路,其特征是,压控振荡器(3)的类型为LC压控振荡器,其输入控制电压是误差信号电压,压控振荡器是环路中的一个受控部件;压控振荡器的中心频率为13.56MHz,其调节输出频率的变化范围,即振荡器的最大调谐频率和最小调谐频率的差值为10KHz。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1