双工器的制作方法

本发明涉及具有WLP(WaferLevelPackage)构造的双工器。
背景技术：
：以往，具有WLP构造的弹性波滤波器装置被广泛应用为移动电话机的频带滤波器等。下述的专利文献1中公开了WLP构造的弹性波滤波器装置的一例。专利文献1的弹性波滤波器装置中，在压电基板上形成支承层，以使得包围构成于压电基板的弹性波滤波器电极部。在支承层上设置有盖体构件，以便将支承层的开口部密封。多个过孔电极被设置为贯通支承层及盖体构件。弹性波滤波器电极部具有与接地电位连接的多个接地端，多个接地端与多个过孔电极电连接。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2011-172190号公报技术实现要素：-发明所要解决的技术问题-然而，专利文献1所述的弹性波滤波器装置中，因多个过孔电极而在该接地端与接地电位之间具有大的电感。由此，不能充分地增大隔离特性。再有，在以往的不平衡输入-不平衡输出的弹性波滤波器装置中，尤其不能充分地提高隔离特性。本发明的目的在于，提供一种能改善隔离特性的双工器。-用于解决技术问题的手段-本发明涉及的双工器是具备发送滤波器与接收滤波器的双工器，其中所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方具备：压电基板；弹性波滤波器电极部，为了构成弹性波滤波器而被设置在上述压电基板上，且具有被连接于接地电位的多个接地端；支承层，具有将上述弹性波滤波器电极部包围的开口部且被形成于上述压电基板上；盖体构件，被设置在上述支承层上，以便将上述支承层的上述开口部密封；和多个过孔电极，被形成为贯通上述支承层及上述盖体构件且具有第1端部、第2端部。上述多个接地端在上述压电基板被公共连接，且上述多个接地端分别电连接于上述多个过孔电极的上述第1端部。是上述多个过孔电极的上述第2端部在外部连接于接地电位的弹性波滤波器。本发明涉及的双工器的某一特定的方面中，上述接收滤波器是上述弹性波滤波器。本发明涉及的双工器的其他特定的方面中，分别在上述多个过孔电极的第2端部接合凸块。本发明涉及的双工器的另一特定的方面中，上述弹性波滤波器电极部具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本发明涉及的双工器的又一特定的方面中，上述纵耦合谐振器型弹性波滤波器是具有不平衡输入端子与不平衡输出端子的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本发明涉及的双工器的再一特定的方面中，上述纵耦合谐振器型弹性波滤波器是1级构成的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本发明涉及的双工器的再一特定的方面中，还具备：输入端子及输出端子，被形成于上述压电基板上；第1并联臂谐振器，一端被连接于上述输入端子与上述弹性波滤波器电极部之间的连接点，另一端与上述过孔电极连接；和第2并联臂谐振器，一端被连接于上述弹性波滤波器电极部的上述输出端子侧的端部，另一端与上述过孔电极连接。-发明效果-根据本发明，能够提供能改善隔离特性的双工器。附图说明图1是表示本发明的第1实施方式涉及的双工器所采用的压电基板和压电基板上的电极构造的示意性俯视图。图2是相当于沿着图1的I-I线的剖面的部分的双工器的示意性剖视图。图3是本发明的第1实施方式涉及的双工器被安装到电路基板的状态下的电路图。图4是本发明的双工器的比较例被安装到电路基板的状态下的电路图。图5是表示本发明的第1实施方式涉及的双工器及比较例的衰减量的频率特性的图。具体实施方式以下，参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，由此使本发明清楚明了。图1是表示本发明的第1实施方式涉及的双工器所采用的压电基板和压电基板上的电极构造的示意性俯视图。图2是相当于沿着图1的I-I线的剖面的部分的双工器的示意性剖视图。双工器1具有压电基板2。压电基板2由LiNbO3或LiTaO3等压电单晶体构成。其中，压电基板2也可以由压电陶瓷构成。如图2所示，在压电基板2上，为了构成弹性波滤波器而设置有弹性波滤波器电极部3。弹性波滤波器电极部3具有包含后述的串联臂谐振器S1及并联臂谐振器P1的多个弹性波谐振器。各弹性波谐振器具有IDT电极及反射器。在声表面波的传播方向中的IDT电极的两侧形成有反射器。上述IDT电极及反射器由适宜的金属或合金构成。压电基板2上形成有支承层4，以使得具有将弹性波滤波器电极部3包围的开口部4A。支承层4由适宜的树脂构成。支承层4例如能够通过光刻法来形成。在支承层4上设置有盖体构件5，以便将支承层4的开口部4A密封。盖体构件5由适宜的树脂构成。第1、第4过孔电极6A、6D被形成为贯通支承层4及盖体构件5。第1、第4过孔电极6A、6D由适宜的金属或合金构成。在第1、第4过孔电极6A、6D的形成之际，首先通过激光照射在支承层4及盖体构件5形成过孔。接着，通过电解镀覆法等将导体填充于上述过孔。第1过孔电极6A具有第1端部、第2端部6A1、6A2。第4过孔电极6D具有第1端部、第2端部6D1、6D2。第1端部6A1、6D1是位于压电基板2侧的端部。第2端部6A2、6D2是位于盖体构件5侧的端部。在第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D的第2端部6A2、6D2分别接合有第1凸块、第4凸块7A、7D。第1凸块、第4凸块7A、7D由适宜的钎焊用金属构成。另外，虽然并未示出于图2，但本实施方式的双工器1中，除了第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D以外还形成有包含第2、第3过孔电极的多个过孔电极。上述多个过孔电极也与第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D同样地具有第1端部、第2端部。在包含第2过孔电极、第3过孔电极的多个过孔电极的第2端部分别接合着包含第2凸块、第3凸块的多个凸块。返回至图1，双工器1是具有第1带通型滤波器1A、和通带与第1带通型滤波器1A不同的第2带通型滤波器1B的双工器。图2中示意性地示出的弹性波滤波器电极部3，构成图1所示的第1带通型滤波器、第2带通型滤波器1A、1B。在此，第1带通型滤波器1A为接收滤波器、第2带通型滤波器1B为发送滤波器。图3是本发明的第1实施方式的双工器被安装到电路基板的状态下的电路图。双工器1的第1带通型滤波器1A具有输入端子8、输出端子10及作为多个接地端的接地端子12A～12D。输入端子8与输出端子10之间串联连接着串联臂谐振器S1、S2及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9。在串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点、和接地端子12A之间，连接着第1并联臂谐振器P1。在纵耦合谐振器型弹性波滤波器9与输出端子10之间的连接点、和接地端子12D之间，连接着第2并联臂谐振器P2。纵耦合谐振器型弹性波滤波器9具有第1～第5IDT电极9a～9e。第1～第5IDT电极9a～9e分别具有一对汇流条。该一对汇流条分别公共连接着多根电极指的一端。一方的汇流条所连接着的多根电极指与另一方的汇流条所连接着的多根电极指相互插合。第1～第5IDT电极9a～9e各自的一方的汇流条被连接于高压侧，另一方的汇流条被连接于接地侧。更具体的是，第1IDT电极、第3IDT电极、第5IDT电极9a、9c、9e的一方的汇流条被公共连接于串联臂谐振器S2，另一方的汇流条被连接于接地端子。因而，第1IDT电极、第3IDT电极、第5IDT电极9a、9c、9e经由串联臂谐振器S2及串联臂谐振器S1而与输入端子8公共连接。第2IDT电极、第4IDT电极9b、9d的一方的汇流条被公共连接于输出端子10，另一方的汇流条被连接于接地端子。纵耦合谐振器型弹性波滤波器9是具有不平衡输入端子及不平衡输出端子的不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。接地端子12A～12D分别连接于第1～第4电感器L1～L4。第1～第4电感器L1～L4被公共连接于外部的电感器L5。外部的电感器L5与接地电位相连接。另外，第1～第4电感器L1～L4通过第1～第4过孔电极及第1～第4凸块的电感分量而形成。双工器1的第2带通型滤波器1B是梯子型滤波器。第2带通型滤波器1B具有输入端子13及输出端子14。另外，第2带通型滤波器1B的输出端子14也是第1带通型滤波器1A的输入端子8。输入端子13与输出端子14之间串联连接着串联臂谐振器S11～S15。在串联臂谐振器S11与串联臂谐振器S12之间的连接点、和接地电位之间，连接着并联臂谐振器P11。并联臂谐振器P11经由电感器L11而与接地电位连接。在串联臂谐振器S12与串联臂谐振器S13之间的连接点、和接地电位之间，连接着并联臂谐振器P12。在串联臂谐振器S13与串联臂谐振器S14之间的连接点、和接地电位之间，连接着并联臂谐振器P13。在串联臂谐振器S14与串联臂谐振器S15之间的连接点、和接地电位之间，连接着并联臂谐振器P14。并联臂谐振器P12～P14经由电感器L12而被公共连接于接地电位。在此，返回至图1，压电基板2上形成有输入端子8、13、输出端子10、14及接地端子12A～12D。再有，压电基板2上构成有串联臂谐振器S1、S2、S11～S15、第1、第2并联臂谐振器P1、P2、并联臂谐振器P11～P14及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9。在接地端子12A～12D中的虚线A～D的部分分别接合有上述第1～第4过孔电极的第1端部。接地端子12A～12D分别电连接于第1～第4过孔电极。再有，在输入端子8、输出端子10及其另一端子中的虚线的部分也分别接合有多个过孔电极的第1端部。压电基板2上形成有连接布线15a、15c、15d及未被图示的连接布线。未被图示的连接布线被俯视中的层间绝缘膜11a遮盖。接地端子12A与接地端子12B通过连接布线15a而被连接。接地端子12B与接地端子12C通过未被图示的连接布线而被连接。接地端子12C与接地端子12D通过连接布线15c而被连接。连接纵耦合谐振器型弹性波滤波器9与输出端子10的各布线、连接布线15a、15c及上述未被图示的连接布线，并未通过层间绝缘膜11a而进行接触。接地端子12D与接地端子12A通过连接布线15d而被连接。连接纵耦合谐振器型弹性波滤波器9与串联臂谐振器S2的各布线、和连接布线15d并未通过层间绝缘膜11b而进行接触。这样，接地端子12A～12D在压电基板2中被电气地公共连接。本实施方式的特征在于，接地端子12A～12D在压电基板2被电气地公共连接。由此，能够改善隔离特性。关于此在以下进行说明。其中，隔离特性表示输入端子13与输出端子10间的衰减特性。图3示出的第1、第4电感器L1、L4由图2所示的第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D及第1凸块、第4凸块7A、7D的电感分量形成。第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D及第1凸块、第4凸块7A、7D的沿着厚度方向的尺寸要比支承层4及盖体构件5的沿着厚度方向的尺寸更大。为此，第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D及第1凸块、第4凸块7A、7D作为具有大电感的电感器起作用。图3的第2电感器、第3电感器L2、L3也同样地由第2过孔电极、第3过孔电极及第2凸块、第3凸块的电感分量形成。本实施方式的双工器1被安装于电路基板。即，经由上述第1～第4凸块而被接合于电路基板的接地端子。图3所示的外部的电感器L5由电路基板的接地端子及接地布线等的电感分量形成。第1～第4电感器L1～L4的未与接地端子12A～12D连接的一侧的端部，被公共连接于外部的电感器L5。再有，通过将接地端子12A～12D公共连接，从而第1～第4电感器L1～L4相互并联地连接。图4是本发明的双工器的比较例被安装到电路基板的状态下的电路图。根据图4能够清楚，比较例的双工器101的第1～第4电感器L1～L4并未相互并联地连接。为此，第1～第4电感器L1～L4的电感的合计值会增大。与之相对，由于本实施方式的第1～第4电感器L1～L4相互并联地连接，故能够减小电感的合计值。例如，在第1～第4电感器L1～L4的电感相等的情况下，第1～第4电感器L1～L4的电感的合计值在本实施方式中变成比较例的1/16。这样，能够大幅地减小接地端子12A～12D所连接着的多个电感器的电感的合计值。接着，本申请发明人制作本实施方式的双工器及用于比较的双工器，对衰减量进行了研讨。图3所示的纵耦合谐振器型弹性波滤波器9的第1～第5IDT电极9a～9e、串联臂谐振器S1、S2及第1、第2并联臂谐振器P1、P2的电极指的对数、交叉宽度如下述的表1所述。各反射器的电极指的根数如表1所述。第1～第5IDT电极9a～9e、串联臂谐振器S1、S2、第1并联臂谐振器、第2并联臂谐振器P1、P2及各反射器的占空比如表1所述。再有，由第1～第5IDT电极9a～9e、串联臂谐振器S1、S2、第1并联臂谐振器、第2并联臂谐振器P1、P2及各反射器分别规定的波长如表1。将由反射器规定的波长设为λR，纵耦合谐振器型弹性波滤波器9的各IDT电极彼此的间隔如下述的表2所述。[表1][表2]间隔第1IDT电极9a与第2IDT电极9b0.33λR第2IDT电极9b与第3IDT电极9c0.30λR第31DT电极9c与第41DT电极9d0.30λR第4lDT电极9d与第5IDT电极9e0.33λR再有，用于比较的双工器采用与图4所示的双工器101同样的电路构成。即，除了第1～第4电感器L1～L4未被相互并联地连接以外，为与本实施方式的双工器同样的电路构成。图5是表示本发明的第1实施方式涉及的双工器及比较例的衰减量的频率特性的图。实线表示第1实施方式的衰减量的频率特性、虚线表示比较例的衰减量的频率特性。如图5所示，本实施方式中，可知能更进一步提高通信频带的低频侧即发送频带中的隔离特性。比较例中，如上所述，接地电位所连接的电感器的电感的合计值较大。因此，发送滤波器的接地电流会从接地的路径被传输至接收滤波器，因该影响导致隔离特性劣化。与之相对，本实施方式中，能够更进一步减小接地电位所连接的电感器的电感的合计值。由此，能够更进一步改善隔离特性。另外，图1所示的纵耦合谐振器型弹性波滤波器9也可以由多级构成。可是，本发明如本实施方式所说明的，在纵耦合谐振器型弹性波滤波器9为1级构成的情况下，能够更优选地适用。再有，本实施方式中，图1所示的第1带通型滤波器1A为接收滤波器。可是，第1带通型滤波器1A也可以是发送滤波器。即便通过在发送滤波器中应用本发明，也能够有效地改善隔离特性。如上所述，以往在不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器中是不能提高隔离特性的。然而，在本实施方式的不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器中，能够更进一步减小接地电位所连接的电感器的电感的合计值。由此，能够有效地提高不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器的隔离特性。另外，纵耦合谐振器型弹性波滤波器9未被限于不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。可是，本发明在不平衡输入-不平衡输出的纵耦合谐振器型弹性波滤波器中是更有效的。-符号说明-1...双工器1A、1B...第1带通型滤波器、第2带通型滤波器2...压电基板3...弹性波滤波器电极部4...支承层4A...开口部5...盖体构件6A、6D...第1过孔电极、第4过孔电极6A1、6A2...第1端部、第2端部6D1、6D2...第1端部、第2端部7A、7D...第1凸块、第4凸块8...输入端子9...纵耦合谐振器型弹性波滤波器9a～9e...第1～第5IDT电极10...输出端子11a、11b...层间绝缘膜12A～12D...接地端子13...输入端子14...输出端子15a、15c、15d...连接布线101...双工器S1、S2、S11～S15...串联臂谐振器P1、P2...第1并联臂谐振器、第2并联臂谐振器P11～P14...并联臂谐振器L1～L4...第1～第4电感器L5...外部的电感器L11、L12...电感器当前第1页1 2 3