1.一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：本装置包括二段式阶梯套筒状的外壳体(10)以及用于封闭外壳体(10)的大口径段筒口的外壳盖(20)，所述外壳盖(20)与外壳体(10)大口径段筒壁共同围合形成用于容纳旋转靶片(40)组件的容纳空间；所述旋转靶片(40)组件包括阶梯套筒状的旋转腔体(30)以及螺纹固接于旋转腔体(30)大直径段筒口处的靶片(40)，所述旋转腔体(30)同轴套设于外壳体(10)内且旋转腔体(30)上设置有用于配合外壳体(10)处小口径段(11)的小直径段(31)，小直径段(31)处套设空气轴承(50)从而与小口径段(11)间构成同轴回转配合；本装置还包括回转轴(60)，回转轴(60)以简支梁方式并通过滚动轴承(70)而同轴回转配合于外壳盖(20)处，回转轴(60)轴端沿靶片(40)轴线向靶片(40)靶面处延伸并与靶片(40)靶面间形成固接配合；所述回转轴(60)轴径小于旋转腔体(30)的小直径段(31)外径；本装置还包括用于驱动旋转靶片(40)组件转动的驱动部。
2.根据权利要求1所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：旋转腔体(30)为直径径逐渐减小的四段式阶梯套筒状构造，相对的外径最小的一段筒腔构成上述小直径段(31)；以旋转腔体(30)上的与小直径段(31)相邻的直径段为第二直径段(32)，所述第二直径段(32)上箍设有转子(81)，外壳体(10)处小口径段(11)的孔壁处布置有与转子(81)间构成配合的定子(82)；所述定子(82)与转子(81)构成用于驱动旋转腔体(30)转动的驱动部。
3.根据权利要求2所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：所述空气轴承(50)的一端面抵靠于小直径段(31)与第二直径段(32)衔接处的轴肩处，空气轴承(50)的另一端面处设置用于端面密封小直径段(31)及小口径段(11)的干气密封(90)，所述干气密封(90)的进气路径与空气轴承(50)进气路径均径向贯穿外壳体(10)壳壁。
4.根据权利要求3所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：沿回转轴(60)的轴向由靶片(40)所在轴端向另一轴端方向,在回转轴(60)的轴身处依次箍设有接触式机械密封(100)、深沟球轴承(71)以及圆柱滚子轴承(72)；深沟球轴承(71)与圆柱滚子轴承(72)共同构成托撑回转轴(60)的简支梁式支承结构。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：所述外壳盖(20)的朝向靶片(40)的一面沿径向均布有多个安装孔，安装孔内安设有雾化喷头(110)，所述雾化喷头(110)的喷口指向靶片(40)靶面处。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：所述回转轴(60)轴径小于65mm，旋转腔体(30)的小直径段(31)外径大于65mm。
7.根据权利要求1或2或3或4所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：所述靶片(40)上的用于配合回转轴(60)轴端的靶面处内凹有沉孔部，沉孔部的孔腔内同轴凸设有定位圆环(41)，回转轴(60)的轴端面处内凹有用于卡嵌定位圆环(41)的环形凹槽(61)；所述定位圆环(41)的内环面处布置内螺纹，环形凹槽(61)上的与上述内螺纹配合的内侧槽面处布置外螺纹，两者间构成螺纹固接配合。
8.根据权利要求7所述的一种一体式高速旋转冷却机，其特征在于：沉孔部的孔壁处沿其轴线方向开设有键槽，回转轴(60)轴端的外壁处凹设有相配合的定位槽，花键(120)穿入定位槽与键槽围合形成的区域内从而形成回转轴(60)与靶片(40)间的键连接式传动配合。