1.一种压电元件，其特征在于，
所述压电元件把压电体以及以面方位为[111]的单晶硅作为振动用材料的振动板进行层叠而得。
2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，
所述压电元件包括接合于所述振动板的支承基板，
从所述支承基板的厚度方向看的俯视观察中，所述支承基板在与所述压电体重合的位置具有空腔部。
3.根据权利要求2所述的压电元件，其特征在于，
在所述压电体和所述振动板之间设置有氧化锆层及氧化硅层。
4.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于发送超声波。
5.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于接收超声波。
6.一种超声波探头，其特征在于，
所述超声波探头具备权利要求1所述的压电元件，用于发送和接收超声波。
7.一种超声波测量装置，其特征在于，
所述超声波测量装置具备权利要求4所述的超声波探头。
8.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括：
从面方位为[111]的单晶硅晶圆切出用于振动板的振动用材料的工序；以及
层叠压电体和所述振动板的工序。