一种新型石英晶片的制作方法

文档序号:15902247发布日期:2018-11-09 21:56阅读:392来源:国知局

本实用新型涉及石英晶体谐振器晶片技术领域,具体涉及一种新型石英晶片。



背景技术:

石英晶体谐振器是利用石英晶体的压电效应而制成的谐振元件,随着科技的发展和生活水平的提高,客户对产品的电性参数、可靠性能要求越来越高。行业竞争日益激烈,制造更高可靠性谐振器是产业必要的趋势。

石英晶体谐振器的石英晶片通过导电胶固定在基座上,就目前通过导电胶直接粘固得到的石英晶体谐振器,因晶片与导电胶的粘合度不高,使得最终得到的石英晶体谐振器其频率稳定性较差,合格率较低。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种参数稳定、可靠性更强的新型石英晶体。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:一种新型石英晶片,其特征在于,包括晶片基板、电极、镂空圆孔A和镂空圆孔B,所述的晶片基板上表面镀有所述的电极,所述的电极为镀金属膜电极,所述的晶片基板右上角均匀开设有镂空圆孔A,所述的镂空圆孔A上镀有所述的电极,所述的晶片基板右下角均匀开设有镂空圆孔B。

进一步地,所述的电极由从下往上依次为镀铬膜层、镀银膜层和镀金膜层组成。

进一步地,所述的镂空圆孔A和镂空圆孔B是通过激光刻蚀的方法制成,呈有序排列,所述的镂空圆孔A和镂空圆孔B的直径均为8~12um。

进一步地,所述的晶片基板还包括寄生抑制点,所述的寄生抑制点设置在晶片基板两侧,所述的寄生抑制点关于所述晶片基板中心轴线对称布置,所述的寄生抑制点的直径为10mm。

本实用新型的有益效果是:采用在增设了镂空圆孔的晶片,可以使晶片与银胶结合度更强,从而提高谐振器的频率稳定性,同时也提高的产品的合格率,生产效益高且使用寿命长。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为图1的A-A剖视图;

图3为图1的B-B剖视图;

图中,1-晶片基板,2-电极,3-寄生抑制点,4-镂空圆孔A,5-镂空圆孔B。

具体实施方式

下面结合具体实施例进一步详细描述本实用新型的技术方案,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

如图1-3所示,一种新型石英晶片,其特征在于,包括晶片基板1、电极2、镂空圆孔A4和镂空圆孔B5,所述的晶片基板1上表面镀有所述的电极2,所述的电极2为镀金属膜电极,所述的晶片基板右上角均匀开设有镂空圆孔A4,所述的镂空圆孔A4上镀有所述的电极2,所述的晶片基板1右下角均匀开设有镂空圆孔B5。

进一步地,所述的电极2由从下往上依次为镀铬膜层、镀银膜层和镀金膜层组成。主电极层采用银膜,吸附层采用铬膜,与传统的重金属膜相比,具有生产成本低、化学性质稳定、频率稳定度高的优点;在银膜上镀设金膜,提高了晶片的的抗老化性能。

进一步地,所述的镂空圆孔A4和镂空圆孔B5是通过激光刻蚀的方法制成,呈有序排列,所述的镂空圆孔A4和镂空圆孔B5的直径均为8~12um。

进一步地,所述的晶片基板1还包括寄生抑制点3,所述的寄生抑制点3设置在晶片基板1两侧,所述的寄生抑制点3关于所述晶片基板1中心轴线对称布置,所述的寄生抑制点3的直径为10mm。所述的寄生抑制点3为含吸有波材料的银胶。在晶片基板1上镀上寄生抑制点3,提高对寄生响应起到抑制的作用,和电参数的一致性。

本实用新型的制作过程如下:将腐蚀完成的晶片基板1放置在特制的夹具中,然后使用激光刻蚀的方法刻蚀出镂空圆孔A和镂空圆孔B。将增加镂空圆孔A和镂空圆孔B的晶片基板1以不同的速率通过石英晶片多层镀膜机,完成对石英晶体表面铬、银、金膜的镀设,然后寄生抑制点3通过点胶的方式直接点涂在晶片基板1的固定位置。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式,不应看作是对其他实施例的排除,而可用于各种其他组合、修改和环境,并能够在本文所述构想范围内,通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围,则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。

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