1.一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：包括pecvd设备框架、石墨舟和储料架，所述储料架上设有用于放置石墨舟的储舟位，所述储舟位上还设有用于为石墨舟散热的散热装置，所述散热装置设置在石墨舟的底部，所述散热装置包括一个散热箱，所述散热箱上还设有用于吸风散热的吸风通道。
2.根据权利要求1所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述散热箱上还设有出风通道，所述散热箱内对应出风通道的位置设有散热风机，所述出风通道与散热风机均设置多个。
3.根据权利要求2所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述储料架还包括立柱和设置在立柱上的连接装置，所述立柱设有多个，每个立柱上对应的水平位置设置一组连接装置，所述连接装置设有多排，每两个立柱之间的连接装置形成一个储舟位。
4.根据权利要求3所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述储舟位设有两竖列，每竖列设有六个储舟位。
5.根据权利要求1至4任一所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述石墨舟设有多层，所述散热装置设置在首层以下石墨舟的底部。
6.根据权利要求1所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述pecvd设备框架上还设有便于操作的前门，所述前门设置在pecvd设备框架上，所述前门的位置与储料架的位置对应。
7.根据权利要求6所述一种扩散和cvd用储舟位并行散热系统，其特征在于：所述前门上还设有散热结构，所述散热结构为对应吸风通道设置的进风孔。