通第2基底基板11而与电极焊盘14导通的第2贯通电极、以及设置在第I基底基板10与第2基底基板之间并电连接第I贯通电极和第2贯通电极的连接布线。电连接电极焊盘15和外部电极19的第2布线是与第I布线同样的结构。第I布线和第2布线的结构能够适当变更。
[0046][压电振动片]
接着，对于本实施方式的压电振动片50进行说明。
[0047]图2及图3是示出本实施方式的压电振动片50的图。图2是平面图(XY面图)。图3是图2中的II1-1II截面图。
[0048]压电振动片50是在石英、钽酸锂、铌酸锂等压电体形成有作为电极或者布线起作用的导电膜图案等附带物的板状部件。本实施方式的压电振动片50是所谓的中央臂型压电振动片。
[0049]如图2所示，压电振动片50具备:在宽度方向(Y轴向)并排地配置的一对振动臂部20(振动臂部23、24)、在一对振动臂部20之间配置的支撑臂部21、连接一对振动臂部20和支撑臂部21的基部22、设置于支撑臂部21的装配部16、17。在本实施方式中，一对振动臂部20、支撑臂部21以及基部22 —体形成，邻接的各部没有界面地连续。在图2中，为了示出各部的范围，将各部的基端或者前端用双点划线示出。
[0050]基部22连接支撑臂部21和振动臂部20 (振动臂部23、24)。
[0051]如图2所示，基部22沿与支撑臂部21的长度方向相交的方向(Y轴向)延伸。基部22在俯视(XY面视图)时外形为矩形。
[0052]在基部22的图示右侧(+ X侧)中的图示上侧(+ Y侧)的端部连接有振动臂部23。在基部22的图示右侧(+X侧)中的图示下侧(一 Y侧)的端部连接有振动臂部24。在基部22的图示右侧(+ X侧)中的中央部连接有支撑臂部21。
[0053]如图2所示，一对振动臂部20包含振动臂部23和振动臂部24。
[0054]振动臂部23、24分别在长度方向的一侧(一 X侦D的端部与基部22连接。振动臂部23和振动臂部24相对于通过压电振动片50的宽度方向(Y轴向)上的中心、并在长度方向(X轴向)上平行的线而线对称地设置。由于振动臂部23与振动臂部24的形状及尺寸相同，所以在以下的说明中，有时候作为代表、仅关于振动臂部23进行说明。
[0055]振动臂部23具备:以大致均匀的宽度直线地延伸的带状部25、以及宽度(Y轴向长度)比带状部25更宽的锤部26。同样如此，振动臂部24具备带状部29以及锤部30。此夕卜，在此，对于振动臂部23具有锤部30的结构进行说明，但是本发明的实施方式不限于此，也可以是不具有锤部的类型。
[0056]振动臂部23的带状部25从基部22沿着压电振动器I的长度方向(X轴向)，在与支撑臂部21相同侧(+ X侧)直线地延伸。即，带状部25 (振动臂部23)的长度方向与压电振动器I的长度方向(X轴向)大致平行，也与支撑臂部21的长度方向(X轴向)大致平行。
[0057]在带状部25形成有槽部(振动臂部的槽部)27。槽部27与振动臂部23的长度方向(X轴向)大致平行地延伸。如图3所示，槽部27在压电振动片50的表面(+ Z侧表面、另一个面)50a及背面(一 Z侧表面、一个面)50b形成，其深度方向与压电振动片50的厚度方向(Z轴向)大致平行。同样如此，在振动臂部24的带状部29形成有槽部(第2槽部)28。
[0058]锤部26设置于与带状部25中的与基部22连接的侧相反的侧(+ X侧)的端部。同样如此，锤部30设置于与带状部29中的基部22连接的侧相反的侧(+ X侧)的端部。
[0059]如图3所示，在振动臂部23的表面形成有激振电极32以及激振电极33。
[0060]激振电极32与槽部27中的振动臂部23的表面以及槽部27的周围的振动臂部23的表面连续地形成。激振电极32经由设置于基部22及支撑臂部21的引出电极(未图示)，与后述的形成于装配部16的装配电极电连接。即，激振电极32与图1所示的外部电极18电连接。
[0061]激振电极33与激振电极32不连续地形成，与激振电极32绝缘。激振电极33在振动臂部23之中、与压电振动片50的表面50a、与压电振动片50的表面50a相交的侧面(与Y轴向垂直的面)、以及压电振动片50的背面50b连续地形成。
[0062]激振电极33经由设置于基部22及支撑臂部21的引出电极(未图示)，与后述的形成于装配部17的装配电极电连接。即，激振电极33与图1所示的外部电极19电连接。
[0063]激振电极32及激振电极33从外部电极18及外部电极19接受电力供给,并向构成振动臂部23的压电体施加电场。当从激振电极32及激振电极33向振动臂部23施加电场时，在与支撑臂部21接近的方向和远离的方向，以与基部22的连接端为起点进行振动。
[0064]在振动臂部24的表面形成有激振电极34和激振电极35。
[0065]激振电极34形成于振动臂部23中的与激振电极33对应的位置。激振电极34经由设置于基部22及支撑臂部21的引出电极(未图示)，与后述的形成于装配部16的装配电极电连接。
[0066]激振电极35形成于振动臂部23中的与激振电极32对应的位置。激振电极35经由设置于基部22及支撑臂部21的引出电极(未图示)，与后述的形成于装配部17的装配电极电连接。
[0067]振动臂部24与振动臂部23相同，利用从外部电极18及外部电极19供给的电力，从激振电极32及激振电极33向构成振动臂部的压电体施加电场，在与支撑臂部21接近的方向和远离的方向，以与基部22的连接端为起点进行振动。
[0068]支撑臂部21的外形为俯视(XY面视图)时矩形，其长度方向与压电振动器I的长度方向(X轴向)大致平行。支撑臂部21从基部22沿着压电振动器I的长度方向(X轴向)，在与振动臂部20相同侧(+X侧)直线地延伸。在本实施方式中，支撑臂部21的质量为一对振动臂部20之中的一个振动臂部23、24的质量以上。在本实施方式中，由于振动臂部23和振动臂部24形状及尺寸相同，所以质量相同。因此，支撑臂部21的质量为振动臂部23、24的任一个的质量以上。
[0069]如图3所示，在支撑臂部21，形成有表面槽部(槽部)40a和背面槽部(槽部)40b。此外，在此，对于在表面和背面这两面具有槽部的方式进行说明，但是槽部存在于表面和背面的任一个即可。
[0070]如图2所示，表面槽部40a和背面槽部40b，在支撑臂部21的长度方向(X轴向)的装配部16 (装配部17)与基部22之间形成。在本实施方式中，表面槽部40a和背面槽部40b在支撑臂部21中的基部22侧(一 X侧)的端部附近(根部附近)形成。
[0071]在此，表面槽部40a及背面槽部40b在支撑臂部21的长度方向(X轴向)的装配部16与基部22之间形成意味着,关于支撑臂部21中的、支撑臂部21的长度方向(X轴向),至少在装配部16与基部22之间形成槽，也容许该槽延伸到支撑臂部21的长度方向(X轴向)的装配部16与基部22之间以外的范围。
[0072]S卩，表面槽部40a及背面槽部40b在支撑臂部21的长度方向(X轴向)的装配部16与基部22之间形成还包含，例如，表面槽部40a及背面槽部40b从支撑臂部21的长度方向(X轴向)中的比装配部16、17更靠近基部22侧(一 X侧)形成到比装配部16、17更靠近前端侧(+X侧)那样的情况。
[0073]表面槽部40a形成于压电振动片50的表面50a。背面槽部40b形成于压电振动片50的背面50b。在本实施方式中，表面槽部40a和背面槽部40b在俯视(XY面视图)时为矩形，并互相重叠地设置。表面槽部40a及背面槽部40b的俯视(XY面视图)时的大小未特别限定。
[0074]如图3所示，在本实施方式中，表面槽部40a和背面槽部40b的深度T2，与在振动臂部20形成的槽部27、28的深度Tl相同。
[0075]在此，在本说明书中“相同”，也可以不是精确相同，例如，包含深度TI和深度T2的比为0.9以上、1.1以下程度的比率的范围。关于其他各种尺寸，也同样如此。
[0076]例如，在压电振动片50的厚度为90 μ m以上、150 μ m以下的程度的情况下，作为表面槽部40a及背面槽部40b的深度，为30 μ m以上、72 μ m以下的程度。
[0077]如图2所示，装配部16、17是在支撑臂部21中的背面50b侧沿着支撑臂部21的长度方向(X轴向)而并排地设置。装配部16设置得比装配部17更靠基部22侧(一 X侧)。
[0078]在装配部16形成有装配电极(未图示)。在装配部16形成的装配电极，与图1所示的电极焊盘14电连接。例如，通过装配部16经由导电性粘接剂而与电极焊盘14接触，形成于装配部16的装配电极与电极焊盘14导通。
[0079]同样如此，在装配部17形成有装配电极(未图示)。与装配部16相同，形成于装配部17的装配电极与电极焊盘15电连接。
[0080]此外，装配部16也可以不经由导电性粘接剂而直接接触电极焊盘14。另外，装配部16与电极焊盘14的电连接，也可以使用凸点电极以外的连接方法。
[0081 ][压电振动片的制造方法]
接着，对于本实施方式的压