配的程度。
[0024]匹配模块110将RF输出分别施加至在等离子体室106内实现的等离子体电极。将RF输出施加至等离子体电极可以在例如薄膜沉积系统、薄膜蚀刻系统或其他适合的系统中被执行。RF输出还可以被用于其他适合的系统中。
[0025]RF产生器模块102可以包括输出控制模块140、用户界面模块144、公用激励(CEX)模块148和RF产生模块152。RF产生器模块102还可以包括传感器模块156和匹配控制模块160。
[0026]输出控制模块140接收由RF产生模块152 (P设置)产生并被传递至等离子体电极的RF输出的输入功率设定值。输入功率设定值可以由例如用户界面模块144或另一个适合的源提供。输入功率设定值的另一个适合的源可以包括例如经由通用标准(US) 232连接、经由以太网连接、经由无线连接、或经由前面板输入提供的诊断或用户输入。外部源(未示出)可以输入可被输出控制模块140使用的RF信号(CEX In)。RF信号还可以被CEX模块148 (CEX Out)输出或供输入或输出之用。仅举例而言，RF信号可以被输出至针对一个或多个其他等离子体室(未示出)产生RF输出的一个或多个其他RF产生器模块。
[0027]传感器模块156可以测量由RF产生模块152产生的RF输出的电压和电流。传感器模块156可以将指示电压和电流的信号分别提供至输出控制模块140。仅举例而言，传感器模块156可以包括定向耦合器或VI探针，或另一种适合的传感器。在其他实施方式中，传感器模块156可以输出与RF输出关联的指示第一正向功率和第二正向功率以及反向功率的信号。正向功率可以指离开RF产生器模块152的功率量。反向功率可以指反射回RF产生器模块152的功率量。传感器模块156的输出可以被称作反馈信号。反馈信号可以是数字信号或模拟信号。
[0028]基于来自传感器模块156的反馈信号，输出控制模块140可以确定用于RF输出的正向功率。输出控制模块HO还可以基于传感器模块156输出的反馈信号确定反射系数。
[0029]输出控制模块HO使用基于第一正向功率和第二正向功率以及第一反射系数和第二反射系数的反馈方法分别控制第一 RF输出和第二 RF输出的产生。更具体地说，输出控制模块140将一个或多个干线电压设定值和/或一个或多个驱动器控制信号提供至RF产生模块152。RF产生模块152基于干线电压设定值控制一个或多个干线电压(即，从RF产生模块152输出并输入至功率放大器的电压)，并基于驱动器控制信号控制功率放大器的驱动。
[0030]RF产生模块152根据本公开的原理实现RF脉冲边沿整形。例如，RF产生模块152可以接收一个或多个输入，包括但不限于，干线电压设定值和驱动器控制信号、脉冲图形、各种脉冲源的输出，和/或何时在第一脉冲状态和第二脉冲状态之间转换的指示。RF产生模块152接收(和/或，产生)多个输入功率设定值和频率设定值。仅举例而言，RF产生模块152根据一个或多个输入(例如，何时在第一脉冲状态和第二脉冲状态之间转换的指示)、输入功率设定值和频率设定值产生输出。
[0031]现在参见图2、3A、3B和3C，示例RF产生模块200产生包括诸如统称为脉冲208的脉冲208-1,208-2和208-3的输出204。RF产生模块200将脉冲208从第一状态(例如，状态O)转换至第二状态(例如，状态I)和从第二状态转换至第一状态。脉冲208可以包括第一状态和第二状态之间的一个或多个中间状态(例如，状态η)。第一状态可以与第一输入功率设定值(例如，PDEL(O))和对应的第一频率设定值(例如，f(0))相对应。相反，第二状态可以与第二输入功率设定值(例如，PDEL(I))和对应的第二频率设定值(例如，f(l))相对应。
[0032]在第一状态和第二状态之间的第一转换时段212，输入功率设定值可以从PDEL(O)被调节(例如，逐步地)至I3DEL (I)。例如，输入功率设定值在第一转换时段212可以根据增量偏移(即，PDEL(O)和TOEL⑴之间的多个中间设定值)来调节。类似地，频率设定值可以在第一转换时段212通过多个中间设定值从f(0)被逐步调节至f(l)。相反，输入功率设定值和频率设定值可以在第二转换时段216通过多个中间设定值分别从TOEL(I)被调节至TOEL(O)和从f(l)被调节至f(0)。第一转换时段212和216可以相同或不同，并且针对不同的脉冲类型可以相同或不同。
[0033]以这种方式递增地调节输入功率和频率设定值允许RF产生模块200整形脉冲208的边沿。例如，脉冲208-1被控制为具有指数脉冲边沿。脉冲208-2被控制为具有线性脉冲边沿。脉冲208-3被控制为具有圆形脉冲边沿。各种其他脉冲边沿形状可以使用RF产生模块200来控制。仅举例而言，在不改变脉冲208的整个宽度的情况下，调节输入功率设定值和频率设定值改变脉冲208的脉冲边沿形状(即，斜坡)。
[0034]脉冲图形控制模块220确定针对输出204的期望的脉冲频率(例如，整个脉冲频率)和对应于例如期望的脉冲图形的占空比。期望的脉冲频率和占空比提供何时从第一状态向第二状态转换和从第二状态向第一状态转换的指示。脉冲图形控制模块220可以与主脉冲源模块224、一个或多个从脉冲源模块228和/或其他脉冲源模块232通信。仅举例而言，脉冲图形控制模块220和脉冲源模块224、228和232可以部分地根据从输出控制模块140接收的输入来操作。
[0035]脉冲状态控制模块236产生第一状态和第二状态中的输出204的期望振幅的输出指示，以及何时在第一状态和第二状态之间转换的指示。功率控制模块240从脉冲状态控制模块236接收输出，以及从功率设定值模块244接收指示输入功率设定值的一个或多个信号。仅举例而言，功率设定值模块244可以存储预定的输入功率设定值，和/或可以实现用户界面以接收用户选择的输入功率设定值。仅举例而言，功率控制模块240还可以接收与图3A、3B和3C中所示的脉冲中的一个相对应的期望的脉冲形状(例如，从脉冲状态控制模块236)的指示。期望的脉冲形状可以确定从功率设定值模块244接收的输入功率设定值。
[0036]功率控制模块240基于例如期望振幅和期望的脉冲形状将输入功率设定值的指示传递至频率控制模块248和脉冲整形模块252。仅举例而言，从功率控制模块240传递的指示可以包括与第一状态(例如，PDEL(O))相对应的功率设定值、与第二状态(例如，PDEL(I))相对应的功率设定值以及与第一状态和第二状态之间的中间设定值的每一个之间的增量偏移相对应的步长。
[0037]相反，频率控制模块248可以确定与输入功率设定值相对应的频率设定值。或者，频率控制模块248可以存储与各个输入功率设定值相对应的预定的频率设定值。频率控制模块248将频率设定值的指示传递至脉冲整形模块252。仅举例而言，从频率控制模块248传递的指示可以包括与第一状态(例如，f(0))相对应的频率设定值、与第二状态(例如，f(l))相对应的功率设定值以及与第一状态和第二状态之间的中间设定值的每一个之间的增量偏移相对应的步长。脉冲整形模块252基于脉冲状态控制模块236、功率控制模块240和频率控制模块248的输出产生具有期望类型的脉冲的输出204。
[0038]现在参见图4，示