互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统的制作方法

文档序号:9080833阅读:453来源:国知局
互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种高压生成电路及采用该电路的静电消除系统,尤其是一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
【背景技术】
[0002]当前,无论是电子行业、液晶行业还是精密制造行业,均对静电防护提出了越来越高的要求,这就意味着,防静电设备,如各种静电消除器要持续提高自己的性能,拥有更宽的管控范围、更低的参与电压以及更快的静电消除时间。
[0003]现有技术中的直流式静电消除器所采用的升压电路往往是交替变换正、负电压,以使放电电极生成正电荷离子或负电荷离子,而无法实现对称放电,同时生成正、负电荷离子,因此静电消除效率相对较低,容易出现平衡电压波动。
[0004]同时,现有的单点式风机、风棒及风蛇等多种多样的静电消除器,如申请号为201220321850.8的实用新型专利及申请号为201110453355.2的实用新型专利中所揭示的静电消除器,对于车间或安装点周围局部区域的静电管控是可以达标的,但由于其单点安装,仅能覆盖局部的特性,总会在防静电保护区内留下静电防护死角,从而造成一些静电损伤问题,存在隐患。
[0005]另一方面,当前应用的风机、风棒都有较强的风力吹出,如专利号为
[0006]CN201220501244所述的交流离子风机,当应用在无尘室环境下,可能会造成无尘室的气流紊乱,影响无尘室的洁净度;而无风力吹出的静电消除器,其离子飞行距离较有风机的静电消除器飞行距离更短,也就更难以覆盖整个室内,因此无论是有风机静电消除或无风机静电消除器,它们都存在一定的缺陷。
[0007]因此急需研究一种结构简单,且能够综合解决上述多种技术问题的高高压生成电路及相应的静电消除系统。

【发明内容】

[0008]本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供了一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
[0009]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
[0010]一种互锁式高压生成电路,包括高压电源、静电放电单元以及连通所述高压电源和静电放电单元并使所述静电放电单元对称放电的高压生成电路,所述高压生成电路至少包括
[0011]第一高压生成单元,用于同时生成一对正、负极性高压;所述第一高压生成单元包括第一开关电路,用于控制所述第一高压生成单元的接通/关闭;
[0012]第二高压生成单元,用于同时生成另一对正、负极性高压;所述第二高压生成单元包括第二开关电路,用于控制所述第二高压生成单元的接通/关闭;
[0013]主控单元,用于发出互锁式信号控制所述第一开关电路或第二开关电路的接通/关闭以及调整占空比;以及
[0014]静电状态监测器,与所述主控单元连接;
[0015]所述第一开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接;
[0016]所述第二开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接。
[0017]优选的,所述的互锁式高压生成电路,其中:
[0018]所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源,所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元,所述电源调节单元用于调整占空比,其电性连接到所述主控单元并在其控制下工作;
[0019]所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路,所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源,所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源,所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开;
[0020]所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路,所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源,所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源,所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开;
[0021]所述第一正高压回路驱动电路和第一负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元;
[0022]所述第二正高压回路驱动电路和第二负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元。
[0023]优选的,所述的互锁式高压生成电路,其中:所述正高压供给电源连接有第一高压包,所述负高压供给电源连接有第二高压包,所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。
[0024]优选的,所述的互锁式高压生成电路,其中:还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路,所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第一高压包,所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第二高压包。
[0025]—种静电消除系统,包括互锁式高压生成电路,所述互锁式高压生成电路包括高压电源、静电放电单元、高压生成电路、主控单元及与所述主控单元连接的静电状态监测器;
[0026]所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源,所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元,所述电源调节单元用于调整占空比,其电性连接到所述主控单元并在其控制下工作;
[0027]偶数个静电放电单元通过所述高压生成电路连接到所述高压电源;
[0028]所述高压生成电路包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元,所述第一高压生成单元包括第一开关电路,所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路,所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源,所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源,所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元;
[0029]所述高压生成电路还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元,所述第二高压生成单元包括第二开关电路,所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路,所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源,所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源,所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元;
[0030]所述主控单元,用于控制所述第一开关电路和第二开关电路的接通/关闭,且在一个时间段时只导通第一开关电路或第二开关电路,有选择的形成对称电极。
[0031]优选的,所述的静电消除系统,其中:还包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口及静电状态监测器,每个所述FFU出风口的下方设置有所述偶数个静电放电单元,所述静电状态监测器设置在工位处并通过通讯电路电性连接到所述主控单元,所述主控单元根据所述静电状态监测器监测得到的数据进行策略控制。
[0032]优选的,所述的静电消除系统,其中:所述静电放电单元的数量为二个,且它们间隙设置,其中一个所述静电放电单元电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路,另一个所述静电放电单元电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0033]优选的,所述的静电消除系统,其中:每个所述FFU出风口的下方设置有四个所述静电放电单元,所述四个静电放电单元呈正方形或矩形分布,它们间隙设置且它们之间的间隙距离可调。
[0034]优选的,所述的静电消除系统,其中:每个所述静电放电单元连接到一条高压回路驱动电路上或任意相邻的两个静电放电单元均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路,另外两个所述静电放电单元均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0035]本实用新型技术方案的优点主要体现在:
[0036]本实用新型设计精巧,结构合理,本实用新型的互锁式高压生成电路,摒弃了现有交流升压变压器的技术,使频率可调,这样保证了不同作用距离内的适用性;并且,能够程控式地生成互锁的正负高压交替信号,有选择的生成对称电极,形成对称放电,同时生成正、负电荷离子,在保证了精度的基础上,相比交流升压变压器的技术,能够加速正、负电荷离子的传射速度,提高静电消除效率,同时不会造成平衡电压的大幅波动。
[0037]通过在配合的高压包内设置防烧电阻,可以有效提高其耐用性,并保证了操作人员的安全。
[0038]采用互锁式高压生成电路的静电消除系统,借助FFU的风力可以扩大离子的输送范围,在每
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