技术总结
本实用新型公开了一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风。该麦克风芯片包括衬底、背极和振膜，背极和振膜分别构成电容器的两个电极，背极和振膜被悬置在衬底的上方，背极位于衬底和振膜之间，衬底具有背腔和支撑柱，支撑柱通过连接部与背腔的侧壁连接在一起，连接部具有贯穿于厚度方向的通孔或者缺口以使位于连接部的两侧的空间相互连通，支撑柱被配置为用于支撑背极。该MEMS麦克风芯片具有良好的抗吹气性能。该MEMS麦克风包括上述MEMS麦克风芯片。
技术研发人员：詹竣凱;李江龙;蔡孟錦
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
文档号码：201621321393
技术研发日：2016.12.05
技术公布日：2017.07.21