MEMS设备、声换能器、形成MEMS设备的方法以及操作MEMS设备的方法与流程

技术总结
公开了电容式MEMS设备、电容式MEMS声换能器、用于形成电容式MEMS设备的方法以及操作电容式MEMS设备的方法。在实施例中，电容式MEMS设备包括：第一电极结构，包括第一导电层；以及第二电极结构，包括第二导电层，其中所述第二导电层至少部分地与第一导电层相对，并且其中第一导电层包括在第二导电层的至少三个部分之间提供电隔离的多分段。

技术研发人员：A·德厄
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2018.03.01
技术公布日：2018.09.14