专利名称：人工晶体称重装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及人工晶体称重装置，特别是用于人工晶体生长直径控制系统的称重装置。
三、技术内容针对上述现有技术存在的缺陷，本发明目的在于提供一种结构简单，制造安装方便，无振动传递，无速度丢失，使得籽晶始终处于铅垂状态的人工晶体称重装置。
实现本发明目的的技术方案是这样解决的，籽晶旋转电机通过过渡板与称重传感器相连接，旋转电机下面连接的旋转杆为柔性钢丝绳和刚性杆复合而成，在柔性钢丝绳和刚性杆之间有转矩传递套进行转速传递，刚性杆下端安装有旋转陀螺和籽晶调整座。本发明的改进之处在于旋转杆为柔性钢丝绳和刚性杆复合组成，在柔性钢丝绳和刚性杆之间有转矩传递套进行转速传递，刚性杆下端安装有旋转陀螺。
下面结合附图对本发明的内容作进一步说明参见
图1所示，称重传感器2安装在基座1上，籽晶旋转电机4通过连接板3与称重传感器2相连接，柔性钢丝绳8的上端固定在球头6上，并通过传递套7和过渡套5与籽晶旋转电机4相连接，柔性钢丝绳8的下端通过螺丝9与刚性杆10相连接，螺丝9的伸出部分为圆柱形，并与转矩传递套7的拨槽间隙配合，籽晶旋转电机4的旋转通过转矩传递套7传递给刚性杆10，而刚性杆10的铅垂度通过柔性钢丝绳8自动实现，刚性杆10下部安装有旋转陀螺11，旋转陀螺11除了起到让刚性杆10、旋转陀螺11和籽晶调整座12的铅垂度外，在称重杆系统旋转时可以起到稳定的作用。旋转陀螺11的下面连接有籽晶调整座12，籽晶调整座12上设有调整螺钉13，以便对籽晶14进行精密调整。
图2所示为本发明在密封高真空使用状态实施例，称重传感器2安装在称重基座1上，称重基座1安装固定在精密移动机构上，做精确的晶体生长提拉运动，籽晶旋转电机4通过连接板3与称重传感器2相连接，柔性钢丝绳8的上端有球头，通过转矩传递套7和过渡套与籽晶旋转电机54相连接，柔性钢丝绳8的下端通过螺丝9与刚性杆10相连，螺丝9的伸出部分为圆柱形，并与转矩传递套7的拨槽间隙配合，籽晶旋转电机4的旋转通过转矩传递套7传递给刚性杆10，而刚性杆10的铅垂度通过柔性钢丝绳8自动实现，刚性杆10下部安装有旋转陀螺11，旋转陀螺11除了起到让刚性杆10、旋转陀螺11和籽晶调整座12的铅垂度外，在称重杆系统旋转时可以起到稳定的作用。旋转陀螺11的下面连接有籽晶调整座12，籽晶调整座12上设有调整螺钉13，以便对籽晶进行精密调整。真空密封套15通过密封圈、压盖21、密封座22与工作室24实现密封。密封盖19通过密封圈20与称重基座1实现密封。真空密封套15下端设有阻尼环17，调整阻尼环17可以起到保护和稳定籽晶14的作用。压板21通过螺钉将阻尼环17压紧在过渡盘16上，过渡盘16连接在真空密封套15下端。籽晶14的微量调整由螺钉13实现。
本发明与现有技术相比，具有结构简单，制造安装方便，无振动传递，无速度丢失，使得籽晶始终处于铅垂状态的称重机构，广泛应用于各类人工晶体(如硅单晶、锗单晶、砷化镓单晶、蓝宝石、白宝石、钒酸钇、钽酸锂、铌酸锂等晶体)的自动生长控制。
权利要求
1.一种人工晶体称重装置，包括称重传感器(2)安装在基座(1)上，籽晶旋转电机(4)通过连接板(3)与称重传感器(2)相连接，其特征在于柔性钢丝绳(8)的上端固定在球头(6)上，并通过传递套(7)和过渡套(5)与籽晶旋转电机(4)相连接，柔性钢丝绳(8)的下端通过螺丝(9)与刚性杆(10)相连接，刚性杆(10)下部安装有旋转陀螺(11)，旋转陀螺(11)的下面连接有籽晶调整座(12)，籽晶调整座(12)上设有调整螺钉(13)。
2.根据权利要求1所述的人工晶体称重装置，其特征在于旋转杆为柔性钢丝绳和刚性杆复合组成。
3.根据权利要求1或2所述的人工晶体称重装置，其特征在于旋转杆的一端连接在球头上，另一端连接有旋转陀螺。
全文摘要
本发明是一种人工晶体生长直径控制系统的称重装置。旋转杆为柔性钢丝绳和刚性杆复合而成。在柔性钢丝绳和刚性杆之间有转矩传递套进行转速传递，刚性杆下端安装有旋转陀螺，从而实现旋转杆旋转时的稳定性和旋转杆的铅垂性。本发明具有结构简单，制造安装方便，无振动传递，无速度丢失，使得籽晶始终处于铅垂状态，广泛应用于硅单晶、锗单晶、砷化镓单晶、蓝宝石、白宝石、钒酸钇、钽酸锂、铌酸锂等各类人工晶体的自动生长控制。
文档编号C30B15/28GK1401827SQ0213944
公开日2003年3月12日 申请日期2002年9月26日 优先权日2002年9月26日
发明者李留臣 申请人:西安理工大学